【外線照射装置で用いられる単位】 ■UV照度：mw/cm2（ミリワット／平方センチメートル）、μw/cm2（マイクロワット／平方センチメートル） ■UV光量：mj/cm2（ミリジュール／平方センチメートル） ■波長：nm（ナノメートル） ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 紫外線照射装置

仕　　用 　電源：1φ100V50/60Hz　12A　※200V対応可 　照射方法：棚番高さ調整（30ｍｍピッチ10段）、回転テーブル機構付 　照射面積：φ300ｍｍ、高さ200ｍｍ以下（WD460ｍｍにおいて） 　UVランプ：メタルハライドランプ標準、高圧水銀ランプも選択可 　UV強度：10mW/cm（メタルハライドランプ）（WD460ｍｍにおいて） 　低温対策：コールドミラーを装備し低温硬化を実現 　制御：タッチパネル採用により簡単に照射量が変更出来ます。 　　　 扉インターロックランプ異常、過熱異常検出、漏電遮断器（標準装備） 　オプション：棚板、コールドフィルターSP、（短波長カットタイプ）、排気フード

• その他半導体製造装置

入力電圧　単相200V、オゾン分解触媒装備 ■CUVD25U-03 装置外形：W400×D400×H280 試験台サイズ：ｗ150×ｄ150×ｈ20 装置重量（Kg）20 ランプ搭載本数（本）：3 消費電力：AC100V50/60Hz100W ■CUVD40U-04 装置外形：W500×D460×H280 試験台サイズ：ｗ200×ｄ200×ｈ20 装置重量（Kg）：25 ランプ搭載本数（本）：4 消費電力：AC100V50/60Hz200W ■CUVD50U-05 装置外形：W550×D550×H300 試験台サイズ：ｗ250×ｄ250×ｈ20 装置重量（Kg）：30 ランプ搭載本数（本）：5 消費電力：AC100V50/60Hz290W ※全機種引出トレーインターロック機構付 オプション ・電源ＡＣ200Ｖへの変更 ・ＵＶランプ不点灯検出機能 ・排気時間タイマー ※上記機種以外のサイズも対応可能です。ワーク（試料）サイズをお知らせください。 高照度タイプ（400W）、インライン用も製作可能です。

• ウエハー

【仕　様】 ■電　　源：3φ200V/60Hz　30A ■照射方法：標準-上面照射、下面照射タイプ、両面照射タイプも対応 ■照射面積：幅500mm、奥行き400mm、高さ150mm以下 ■UVランプ：メタルハイライドランプ標準、高圧水銀ランプも選択可能 ■U V 強 度：50mw/cm2（4kwタイプ）より高強度の6kwタイプも可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 紫外線照射装置

名称：コスモハンディ　CHU-01M（H）-V1 総重量：１６．６Kg（電源、照射器、ケーブル含む） 電源：１Φ１００V　１５A　５０／６０Hz　（共用） 安定器：電子安定器内臓 照射器：高純度アルミミラー仕様 ランプ電力：１０００W 本体寸法：２４０（W）✕４８０（D）✕４８５（H）

• その他塗装機械

【その他の特長】 ■低温化対策：コールドミラー、コールドフィルター、冷却風吹付けを装備 ■制御：タッチパネルに採用により簡単に照射量が変更可能 ■扉ロック機構、ランプ異常、過熱異常検出など標準にて装備 ■紫外線照度計、窒素パージ付加、予熱処理などに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 紫外線照射装置

構成 UV装置　　　　　　：　1台 安定器（4kW 水銀用安定器) 　：　4台 照射器 (アルミミラー仕様) ：　4台 UVランプ (高圧水銀ランプ) ：　4本 給気ブロアー (1kW) ：　1台 排気ブロアー (1kW 耐熱型) ：　1台 コンベアモーター(3Φ 200V 0.2kW) ： 1台 付属品：給気フィルター☐500×250mm ※個数はUV照射装置1台あたりの数量です。 　お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他塗装機械