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【用途】 ■半導体前工程のプロセス装置、特に真空チャンバでの異物トラブルの多いプロセス ■半導体中工程のプロセス装置全般 ■手作業ではクリーニング困難な狭小なステージを持つ装置 ※詳しくはPDFをダウンロードいただく、お問い合わせください。
輸送品質を高める衝撃検知ツール。１２／２０までサンプル進呈
検査、搬送、位置決め工程などの自動化に。提案例の紹介資料進呈
吊り下げ搬送の自由度UP。後退や加速が容易なコンベアの資料進呈
