用途　有機溶剤ディップコーティング 機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理 ＤＩＰ処理装置とセットで納入 LD・有機処理槽・ULD 自動搬送ロボット・単独搖動 ストロークMAX400mm 速度可変 自動消火システム（オプション）

• 光学実験部品

〈ナノスプレーコーター〉 ・防爆仕様 ・塗布液：有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。 ・基板サイズ：２００ｍｍ□（ＭＡＸ） ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能) ・ノズル圧力：0.5Ｍｐａ ・塗布膜厚：１～５µｍ ・膜厚精度：±３％ ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル

• 光学実験部品

〈ディップコーター〉 ・光学レンズ・シリコンウエハー・ガラス基材を両面コートする開発向け設備 ・基材サイズ：Φ２５ｍｍ～３７０×４７０ｍｍ ・上下、撹拌搬送駆動 ・左右搬送駆動 ・処理槽内薬液循環システム ・装置内部、湿度管理システム

• 光学実験部品

〈精密スリットコーター〉 　・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター 　・塗布供給方式：シリンジポンプ（独自の社内開発品） 　・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） 　・低粘度～高粘度まで対応（数cps～10,000cps） 　　有機EL、フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、硬化樹脂ｅｔｃ

• 光学実験部品

・小型卓上スピンコーター　（型式：labo-coat-2） ・安価な価格設定、コンパクト設計　 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ　 ・基板吸着テーブル：材質 デルリン ＊本体標準付属品。形状・サイズは変更可能。 ・吸着方式：真空ポンプ による吸着 ＊真空ポンプは本体内蔵されてます。 ・独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。 　(操作ボタン２箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間 ＊装置機械操作が苦手な方も安心・簡単に設定可能になっておらます。 ※デモ機の貸出を可能でございます。

• 光学実験部品

・R＆D向け 小型卓上スピンコーター ・安価な価格設定、コンパクト設計　 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ　 ・基板吸着テーブル：材質デルリン 　※吸着テーブルは、本体標準装備品。(形状：サイズは要相談） 　・吸着方式：真空ポンプによる吸着　 　※真空ポンプは本体内蔵 ・独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。 　(操作ボタン２箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間 　※機械・装置操作が苦手な方でも簡単ボタン操作設定 ・使用電源1か所、本体のみ。AC１００電源 ２Ａ ・装置機種：２機種 　　labo-coat　（１インチ用 ２５ｍｍ□） 　　labo-coat-2（２インチ用 ５０ｍｍ□)　 　

• 光学実験部品