用途　有機溶剤ディップコーティング 機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理 ＤＩＰ処理装置とセットで納入 LD・有機処理槽・ULD 自動搬送ロボット・単独搖動 ストロークMAX400mm 速度可変 自動消火システム（オプション）

• 光学実験部品

〈ナノスプレーコーター〉 ・防爆仕様 ・塗布液：有機溶剤、レジスト、インク剤、塗装剤。 ・基板サイズ：２００ｍｍ□（ＭＡＸ） ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能) ・ノズル圧力：0.5Ｍｐａ ・塗布膜厚：１～５µｍ ・膜厚精度：±３％ ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル

• 光学実験部品

マイクロナノコーティング 機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理 装置構成 ・LD/ULD：自動タクト搬送 ・温湿度管理システム（±５０～７０％） ・DIPコーティング槽：単独／連結搖動　ストロークMAX400mm　速度可変 ・超音波処理槽：スイープ式　40kHz・75kHz・110kHz ・カスケード槽：3段カスケード・オーバーフローリンス ・シャワーリンス・温風乾燥

• 光学実験部品

装置仕様 ・ＭＡＸ１０，０００ｃｐｓ ・膜厚精度：±３．０％以内（基板端面５．０ｍｍ除外） ・塗布速度：１００ｍｍ／ＳＥＣ ・基板厚み確認：レーザーセンサー ・搬送駆動：リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター ・精密ステージ：石定盤（平坦度：10μｍ以下） ・プレディスペンス機構 ・スリットノズル洗浄機構

• 光学実験部品

装置仕様 ・本体サイズ：W１７０×D２０５×H１９５mm（安全蓋開放時：３７０ｍｍH） ・本体重量：3．４Kg ・回転数：２０００～８０００ｒｐｍ（ＭＡＸ） ・対象基板サイズ：MAX５０ｍｍ□・２インチウエハ 　※異形サイズは、吸着テーブルの形状を変更し対応することも可能です ・基板吸着方法：真空ポンプによる吸着　（本体内蔵タイプ） ・AC１００Ｖ・２A・コンセント ・カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます 　（安全インターロック制御） ・カップ：材質SUS３０４ ・吸着テーブル：材質　黒色デルリン

• 光学実験部品

装置仕様 ・本体サイズ：W１４０×D２０５×H１９５mm（安全蓋開放時：３３０ｍｍH） ・本体重量：３.３Kg ・回転数：２０００〜８０００ｒｐｍ（ＭＡＸ） ・対象基板サイズ：２５ｍｍ□・１インチウエハ ・基板吸着方法：真空ポンプによる吸着　（本体内蔵タイプ） ・AC１００Ｖ・２A・コンセント ・カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます 　（安全インターロッ制御） ・カップ：材質SUS３０４ ・吸着テーブル：材質　黒色デルリン

• 光学実験部品