当社では、MEMS向けに特化した各種構造体をご提供いたします。 主に3インチから300mmまでのSOI基板や、ダブル活性層のSOI基板など 特殊SOIの製作を行っております。また、常に1000種以上のSOIウェーハ 在庫があり、在庫SOIウェーハは1枚から承ります。 【仕様】 ■活性層：0.1μm～200μm ■埋め込み酸化膜：～4μm程度 ■支持基板：100μm～(ウェーハサイズによる) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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