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シリコン基板上にSiエピ+SiGeエピを多層成膜したウェーハ。 SiGeのGe含有量は任意に指定可能。
3D NANDフラッシュメモリ用テストパターンウェーハの製作をいたします。 SiO2/SiNを最大100対まで成膜いたします。 ベタ膜ウェーハ、パターンウェーハ等ご要望に応じて対応いたします。
当社では、MEMS向けに特化した各種構造体をご提供いたします。 活性層の厚さ公差は±0.1µmを達成しております。 SOIウェーハ製造技術の技術移転サービスも行っております。
静音・省メンテな搬送ラインを実現。発塵しにくい摩擦式コンベア