ティー・ケイ・エスの製品・サービス一覧

当社では、独FHR社の『Star.500-EOSS(R)』を取り扱っております。 『Star.500-EOSS(R)』は、光学フィルター成膜用として設計された マグネトロンスパッタシステムです。 成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。 200mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、 基板加熱機構も組み込みできます。 【特長とメリット】 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型スパッタカソードとスパッタアップとの組み合わせによる 　膜質の改善と欠陥の無い成膜 ■円筒型ターゲットによる長寿命ターゲットライフと 　成膜レート変動の最小化 ■完全に自動化されたプロセス制御　 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルターの安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソース搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜 など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。 特徴 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型カソードとスパッタアップとの組み合わせによる 　膜質の改善と欠陥の無い成膜 ■In-situモニタリングによる、成膜状態の連続監視 ■完全に自動化されたプロセス制御　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『DSUシリーズ』は、有機エレクトロニクス研究で蓄積されたプロセスデータから開発された “QUANTIpure Technology”を基にした高純度有機材料の昇華精製装置です。 昇華精製工程の再定義から生まれた独自の精製システムにより、高収率と超高純度の両立を実現しています。 原料投入以降はすべて自動制御で運転され、精製終了までオペレーターの操作は必要ありません。 5gの少量精製はもちろん、10kgの大量精製に対応できる機種もご用意。 オペレーター1名で運転準備と製品回収などのバックグラウンド作業のすべてが完結します。 【特長】 ■開発から量産まで幅広いニーズに対応 ■温度・圧力・重量検知によるオートプロセスコントロール制御 ■実験や開発に適した5gから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ■オペレータ１名ですべての作業が完結 ※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご覧いただけます。

『FHR.STAR-400x300SALD』は、200mmウェハあるいは 400x300mmまでの基板やテキスタイルの成膜に対応した 高速成膜ALD（Spacial ALD）装置です。 400x300の基板では10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能。 従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できるためデバイスの量産に 使用が可能でIn-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応する 設計となっていますのでより精度の高いプロセスコントロールができます。 クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、 その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の 他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能（400x300の基板） ■従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜できる ■デバイスの量産に使用可能 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

安定した成膜とコストダウンの両立を実現します。 アメリカオングストローム・サイエンス社製の高機能・高品質な「マグネトロンスパッタカソード」です。 特許技術のShaped Magnet採用により、ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく、安定した成膜とターゲット交換のためのコスト低減を実現しています。 【特長】 ■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現 ■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減 ■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減 ■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能 ■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能 ■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能 ■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

AVP Technology社製イオンビームエッチング装置はICPイオンソースを搭載した高均一・高エッチングレート、かつ稼働再現性・安定性に優れた製造装置です。 他社IBE装置に較べ卓越した制御システムにより、製造設備に必須である安定稼働を実現しています。 最新の駆動機構によりレイテンシー時間を最小限に押さえて生産性を改善しています。

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・希少なターゲットを用いる成膜工程でのコスト削減にも貢献します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 独立した制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体成膜、金属ターゲットとセラミックターゲットなどのCo-スパッタ、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 イオン供給量とスパッタレートの独立コントロール 　→スパッタレート、膜質、結晶構造の制御 　→ターゲット材のイオン化率の制御 直進性の高い成膜 　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い成膜 多連装ターゲット機構 　→幅広い多層膜成膜 複数ターゲットの独立制御 　→各ターゲットのスパッタレートを制御してのCo-スパッタ合金成膜 　→ターゲットを切り替えての多層成膜 基盤へのバイアス印加制御によるコンフォーマル成膜 　→ディープトレンチ、回り込みなどの悪条件下でもコンフォーマルな成膜

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。 従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。 研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。

HiTUSテクノロジー イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 独立した制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体成膜、金属ターゲットとセラミックターゲットなどのCo-スパッタ、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートいたします。

-TKSがご提供する 装置延命化サービス- 国内の半導体や電子デバイス製造には導入から20年を超えて使用されている装置が多く、生産には不可欠な装置も多々稼働中です。 ただ、装置に使用されているモジュールや部品などは既に生産中止になっているものも少なくありません。 消耗・劣化・故障したモジュールの修理・再生にあたり、現行品を使用することで装置の安定稼働につなげます。 また、安定供給やコスト削減を目的とした部品国産化もご相談ください。 -サーボモーター・ドライバー 換装による延命化- 稼働中の装置には多数のサーボモータが使用されていますが装置稼働中にもそのモータドライバとモータは数年ごとに更新され生産中止になります。 長年稼働中の装置に使用されているモータドライバもしくはモータが故障した場合、これまで中古品を探すか修理する以外に対応できませんでした。 この対応では「中古品がない！」「修理不可！」となった場合は稼働可能な範囲で装置を使用するか稼働停止や新規装置購入となりかねません。 弊社ではこのような問題を解決できるよう対応策を模索して実績までに至りました。

ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 従前の装置で成膜が難しい強磁性体、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜などの成膜を高レートで実現します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。特に、有機ELや有機半導体材料においては、不純物の混入が性能劣化の大きな要因となります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度99.99％、歩留まり98％(2回目の精製後)を実現し、半導体材料の高純度化という課題を解決します。 【活用シーン】 ・有機EL材料の精製 ・有機半導体材料の精製 ・高純度化が求められるその他半導体材料の精製 【導入の効果】 ・デバイス性能の向上 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・高品質な材料供給による競争力強化

ディスプレイ業界における薄膜化プロセスでは、高品質な表示性能を確保するために、有機材料の純度と歩留まりが重要です。特に、薄膜の均一性や耐久性を左右する有機材料の不純物は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、ディスプレイ製造における薄膜化プロセスを強力にサポートします。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ製造 ・有機薄膜太陽電池製造 ・高性能ディスプレイ材料開発 【導入の効果】 ・高純度材料の安定供給による歩留まり向上 ・材料コストの削減 ・高品質な薄膜形成による製品性能向上

太陽電池業界では、変換効率の向上が常に求められています。特に、有機太陽電池においては、材料の純度が性能を大きく左右します。不純物は、電荷の移動を阻害し、効率低下の原因となります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度有機材料を提供することで、太陽電池の効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機太陽電池の研究開発 ・太陽電池材料の製造プロセス ・高純度材料を用いた高性能太陽電池の製造 【導入の効果】 ・高純度材料による太陽電池の変換効率向上 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・省スペース化による設置面積の有効活用

有機ELディスプレイ業界では、発光材料の純度が製品の性能を大きく左右します。特に、色再現性や寿命といった要素は、材料の不純物の影響を受けやすく、高品質な製品を製造するためには、高純度な材料の確保が不可欠です。不純物は、デバイスの効率低下や劣化を早める原因にもなります。当社超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、発光材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ製造における発光材料の精製 ・研究開発段階での高純度材料の調達 ・歩留まり向上によるコスト削減 【導入の効果】 ・高純度材料によるデバイス性能の向上 ・高収率による材料コストの削減 ・省スペース設計による設置場所の最適化

医薬品業界では、高品質な医薬品を製造するために、原料の高度な精製が不可欠です。特に、不純物の混入は製品の品質を損ない、安全性にも影響を与える可能性があります。当社の超高純度有機材料昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、医薬品製造における精製プロセスを最適化します。 【活用シーン】 ・医薬品原薬の精製 ・中間体の精製 ・研究開発における少量精製 【導入の効果】 ・高品質な医薬品の製造 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・研究開発の効率化

香料業界では、製品の品質を左右する高純度な原料の確保が重要です。特に、香りの持続性や安全性を高めるためには、不純物の少ない原料が求められます。不純物は香りの劣化や変質を引き起こす可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度な香料原料の精製を可能にし、製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・香料の研究開発 ・香水、化粧品原料の精製 ・食品香料の製造 【導入の効果】 ・香料の品質向上 ・歩留まりの改善 ・コスト削減

化粧品業界では、製品の品質と安全性を確保するため、原料の純度と収率が重要です。特に、天然由来成分や高機能成分を抽出する際には、不純物の混入を防ぎ、有効成分を最大限に回収することが求められます。不適切な精製は、製品の品質低下やコスト増につながる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化粧品原料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・天然由来成分、高機能成分の抽出 ・研究開発における少量精製 ・量産体制での高純度原料確保 【導入の効果】 ・高品質な化粧品原料の安定供給 ・原料コストの削減 ・研究開発の効率化

電子材料業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。特に、半導体や有機EL材料においては、不純物の混入が製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、電子材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

光学部品業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の純度が重要です。特に、光の透過率に影響を与える不純物の混入は、透明度の低下を招き、製品の品質を損なう可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、光学部品の透明度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ ・ディスプレイ ・各種フィルター 【導入の効果】 ・材料純度の向上 ・透明度の改善 ・製品品質の向上

宇宙開発分野では、ロケットや人工衛星の軽量化が重要な課題です。軽量化は、打ち上げコストの削減や、より多くの機器の搭載を可能にします。そのため、高純度で軽量な有機材料の利用が求められています。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度有機材料の精製を可能にし、宇宙開発における軽量化に貢献します。 【活用シーン】 ・ロケット部品 ・人工衛星部品 ・宇宙ステーション部品 【導入の効果】 ・軽量化された高性能部品の製造 ・コスト削減 ・信頼性の向上

燃料電池業界では、触媒の性能が製品の効率と寿命を大きく左右します。特に、高純度な触媒材料の確保は、燃料電池の性能向上に不可欠です。不純物の混入は、触媒活性の低下や耐久性の劣化を引き起こす可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、燃料電池触媒の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・燃料電池触媒材料の研究開発 ・燃料電池触媒の量産 ・高純度触媒材料の品質管理 【導入の効果】 ・触媒性能の向上 ・燃料電池の効率アップ ・材料コストの削減

センサー業界では、高感度化を実現するために、材料の純度向上が不可欠です。特に、微弱な信号を捉えるセンサーにおいては、不純物の混入がノイズとなり、性能を低下させる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度有機材料を提供し、センサーの性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・高感度センサーの開発 ・有機ELディスプレイ材料の精製 ・光センサー材料の精製 【導入の効果】 ・センサーの感度向上 ・ノイズの低減 ・製品の信頼性向上

半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、半導体材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

ディスプレイ業界では、製品の性能を左右する薄膜材料の純度向上が不可欠です。特に、有機ELディスプレイにおいては、不純物の混入が製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、ディスプレイの品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ材料の精製 ・薄膜材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

太陽電池業界では、変換効率の向上が常に求められています。太陽光を効率的に電気エネルギーに変換するためには、材料の純度を高め、不純物の混入を極力抑えることが重要です。不純物は、太陽電池の性能を低下させる要因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、太陽電池の効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽電池材料の精製 ・高効率太陽電池の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による変換効率の改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

LED業界では、製品の発光効率を高めるために、材料の純度向上が求められます。特に、LEDの性能を左右する材料においては、不純物の混入が発光効率の低下につながるため、高品質な材料の安定供給が不可欠です。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、LEDの発光効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・LED材料の精製 ・高輝度LEDの開発 ・LEDディスプレイ 【導入の効果】 ・材料純度の向上による発光効率の改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

光ファイバー業界では、伝送損失を最小限に抑えるために、材料の高純度が求められます。特に、光信号の減衰を抑制するためには、不純物の混入を極限まで抑えることが重要です。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、光ファイバーの低損失化に貢献します。 【活用シーン】 ・光ファイバー材料の精製 ・光通信システムの性能向上 【導入の効果】 ・材料純度の向上による伝送損失の低減 ・高品質材料の安定供給によるシステム性能の向上 ・長期的なコスト削減

センサー業界では、高感度化を実現するために、材料の純度向上が不可欠です。特に、微小な信号を捉えるセンサーにおいては、不純物の混入がノイズとなり、性能を低下させる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を通じて、センサーの高感度化に貢献します。 【活用シーン】 ・高感度センサー材料の精製 ・微小信号検出センサーの開発 ・環境計測センサーの製造 【導入の効果】 ・材料純度の向上によるセンサー性能の向上 ・高品質材料の安定供給による歩留まりの改善 ・ノイズの低減による高精度な測定の実現

蓄電池業界では、製品の長寿命化が重要な課題です。特に、充放電を繰り返す中で、電極材料の劣化や電解液の分解が性能低下につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度材料の供給により、蓄電池の長寿命化に貢献します。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池材料の精製 ・全固体電池材料の開発 ・次世代蓄電池材料の研究 【導入の効果】 ・材料純度の向上による電池性能の向上 ・高品質材料の安定供給による電池寿命の延長 ・電池材料の劣化抑制

化合物半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化合物半導体の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

有機ELディスプレイ業界では、高輝度で長寿命な製品が求められています。特に、有機EL材料の純度は、輝度や寿命に大きく影響するため、高品質な材料の安定供給が不可欠です。不純物の混入は、輝度低下や劣化を早める原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料を提供し、有機ELディスプレイの高輝度化に貢献します。 【活用シーン】 ・有機EL材料の精製 ・高輝度ディスプレイの開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による輝度改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能向上 ・材料コストの削減

量子ドットディスプレイ業界では、鮮やかな色再現性と高い表示品質が求められます。特に、量子ドット材料の純度は、色再現性に大きく影響し、不純物の混入は、色純度の低下や表示ムラの原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、量子ドットディスプレイの色再現性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・量子ドットディスプレイ製造 ・色再現性評価 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・色純度の向上 ・表示品質の向上 ・歩留まりの改善