ティー・ケイ・エスの製品ラインアップ

量子ドットディスプレイ業界では、鮮やかな色再現性と高い表示品質が求められます。特に、量子ドット材料の純度は、色再現性に大きく影響し、不純物の混入は、色純度の低下や表示ムラの原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、量子ドットディスプレイの色再現性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・量子ドットディスプレイ製造 ・色再現性評価 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・色純度の向上 ・表示品質の向上 ・歩留まりの改善

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

有機ELディスプレイ業界では、高輝度で長寿命な製品が求められています。特に、有機EL材料の純度は、輝度や寿命に大きく影響するため、高品質な材料の安定供給が不可欠です。不純物の混入は、輝度低下や劣化を早める原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料を提供し、有機ELディスプレイの高輝度化に貢献します。 【活用シーン】 ・有機EL材料の精製 ・高輝度ディスプレイの開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による輝度改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

化合物半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化合物半導体の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

蓄電池業界では、製品の長寿命化が重要な課題です。特に、充放電を繰り返す中で、電極材料の劣化や電解液の分解が性能低下につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度材料の供給により、蓄電池の長寿命化に貢献します。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池材料の精製 ・全固体電池材料の開発 ・次世代蓄電池材料の研究 【導入の効果】 ・材料純度の向上による電池性能の向上 ・高品質材料の安定供給による電池寿命の延長 ・電池材料の劣化抑制

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

センサー業界では、高感度化を実現するために、材料の純度向上が不可欠です。特に、微小な信号を捉えるセンサーにおいては、不純物の混入がノイズとなり、性能を低下させる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を通じて、センサーの高感度化に貢献します。 【活用シーン】 ・高感度センサー材料の精製 ・微小信号検出センサーの開発 ・環境計測センサーの製造 【導入の効果】 ・材料純度の向上によるセンサー性能の向上 ・高品質材料の安定供給による歩留まりの改善 ・ノイズの低減による高精度な測定の実現

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

光ファイバー業界では、伝送損失を最小限に抑えるために、材料の高純度が求められます。特に、光信号の減衰を抑制するためには、不純物の混入を極限まで抑えることが重要です。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、光ファイバーの低損失化に貢献します。 【活用シーン】 ・光ファイバー材料の精製 ・光通信システムの性能向上 【導入の効果】 ・材料純度の向上による伝送損失の低減 ・高品質材料の安定供給によるシステム性能の向上 ・長期的なコスト削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

LED業界では、製品の発光効率を高めるために、材料の純度向上が求められます。特に、LEDの性能を左右する材料においては、不純物の混入が発光効率の低下につながるため、高品質な材料の安定供給が不可欠です。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、LEDの発光効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・LED材料の精製 ・高輝度LEDの開発 ・LEDディスプレイ 【導入の効果】 ・材料純度の向上による発光効率の改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

太陽電池業界では、変換効率の向上が常に求められています。太陽光を効率的に電気エネルギーに変換するためには、材料の純度を高め、不純物の混入を極力抑えることが重要です。不純物は、太陽電池の性能を低下させる要因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、太陽電池の効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・太陽電池材料の精製 ・高効率太陽電池の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による変換効率の改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

ディスプレイ業界では、製品の性能を左右する薄膜材料の純度向上が不可欠です。特に、有機ELディスプレイにおいては、不純物の混入が製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、ディスプレイの品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ材料の精製 ・薄膜材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、半導体材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

食品業界では、異物混入は重大な問題であり、企業の信頼を失墜させるだけでなく、消費者の健康を害する可能性もあります。HACCPやPIC/S GMP Annex1などの厳しい衛生基準への準拠が求められています。継ぎ目のない金属ベルトコンベアシステムは、ベルト由来の微粒子発生を防ぎ、清浄な環境を維持することで、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・食品製造ライン ・包装ライン ・クリーンルーム環境 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減 ・清浄度の高い環境の実現 ・HACCP等、各種レギュレーションへの適合

• コンベヤコンポーネント
• 医薬品包装機械
• 医薬品関連工場設備

細胞培養業界では、コンタミネーションのリスクを最小限に抑え、培養環境の清浄度を維持することが重要です。特に、細胞の増殖や品質に影響を与える微粒子や異物の混入は厳しく管理されています。PureSteel金属ベルトは、継ぎ目のない構造により、微粒子の発生を抑制し、オートクレーブ滅菌にも対応することで、清浄度を高いレベルで維持します。 【活用シーン】 ・細胞培養プロセスにおける培地や細胞の搬送 ・クリーンルーム環境下での細胞製品の移動 ・無菌状態が求められる培養容器の搬送 【導入の効果】 ・コンタミネーションリスクの低減 ・培養環境の安定化 ・製品品質の向上

• コンベヤコンポーネント
• 医薬品包装機械
• 医薬品関連工場設備

製薬業界の無菌充填プロセスでは、製品の品質と安全性を確保するために、コンタミネーションのリスクを最小限に抑えることが不可欠です。特に、無菌環境下での搬送システムは、微粒子や異物の混入を防ぎ、厳格な衛生管理基準を満たす必要があります。継ぎ目のない金属ベルトは、これらの要求に応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・無菌充填ライン ・医薬品製造プロセス ・バイオテクノロジー分野 【導入の効果】 ・微粒子発生を抑制し、製品の汚染リスクを低減 ・洗浄が容易で、清浄度を維持 ・高い耐久性により、長期間安定した運用を実現

• コンベヤコンポーネント
• 医薬品包装機械
• 医薬品関連工場設備

センサー業界では、高感度化を実現するために、材料の純度向上が不可欠です。特に、微弱な信号を捉えるセンサーにおいては、不純物の混入がノイズとなり、性能を低下させる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度有機材料を提供し、センサーの性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・高感度センサーの開発 ・有機ELディスプレイ材料の精製 ・光センサー材料の精製 【導入の効果】 ・センサーの感度向上 ・ノイズの低減 ・製品の信頼性向上

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

燃料電池業界では、触媒の性能が製品の効率と寿命を大きく左右します。特に、高純度な触媒材料の確保は、燃料電池の性能向上に不可欠です。不純物の混入は、触媒活性の低下や耐久性の劣化を引き起こす可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、燃料電池触媒の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・燃料電池触媒材料の研究開発 ・燃料電池触媒の量産 ・高純度触媒材料の品質管理 【導入の効果】 ・触媒性能の向上 ・燃料電池の効率アップ ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

宇宙開発分野では、ロケットや人工衛星の軽量化が重要な課題です。軽量化は、打ち上げコストの削減や、より多くの機器の搭載を可能にします。そのため、高純度で軽量な有機材料の利用が求められています。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度有機材料の精製を可能にし、宇宙開発における軽量化に貢献します。 【活用シーン】 ・ロケット部品 ・人工衛星部品 ・宇宙ステーション部品 【導入の効果】 ・軽量化された高性能部品の製造 ・コスト削減 ・信頼性の向上

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

光学部品業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の純度が重要です。特に、光の透過率に影響を与える不純物の混入は、透明度の低下を招き、製品の品質を損なう可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、光学部品の透明度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ ・ディスプレイ ・各種フィルター 【導入の効果】 ・材料純度の向上 ・透明度の改善 ・製品品質の向上

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

電子材料業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。特に、半導体や有機EL材料においては、不純物の混入が製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、電子材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体材料の精製 ・有機EL材料の精製 ・高機能材料の開発 【導入の効果】 ・材料純度の向上による製品歩留まりの改善 ・高品質材料の安定供給による製品性能の向上 ・材料コストの削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

化粧品業界では、製品の品質と安全性を確保するため、原料の純度と収率が重要です。特に、天然由来成分や高機能成分を抽出する際には、不純物の混入を防ぎ、有効成分を最大限に回収することが求められます。不適切な精製は、製品の品質低下やコスト増につながる可能性があります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化粧品原料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・天然由来成分、高機能成分の抽出 ・研究開発における少量精製 ・量産体制での高純度原料確保 【導入の効果】 ・高品質な化粧品原料の安定供給 ・原料コストの削減 ・研究開発の効率化

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

香料業界では、製品の品質を左右する高純度な原料の確保が重要です。特に、香りの持続性や安全性を高めるためには、不純物の少ない原料が求められます。不純物は香りの劣化や変質を引き起こす可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度な香料原料の精製を可能にし、製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・香料の研究開発 ・香水、化粧品原料の精製 ・食品香料の製造 【導入の効果】 ・香料の品質向上 ・歩留まりの改善 ・コスト削減

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

医薬品業界では、高品質な医薬品を製造するために、原料の高度な精製が不可欠です。特に、不純物の混入は製品の品質を損ない、安全性にも影響を与える可能性があります。当社の超高純度有機材料昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、医薬品製造における精製プロセスを最適化します。 【活用シーン】 ・医薬品原薬の精製 ・中間体の精製 ・研究開発における少量精製 【導入の効果】 ・高品質な医薬品の製造 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・研究開発の効率化

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

有機ELディスプレイ業界では、発光材料の純度が製品の性能を大きく左右します。特に、色再現性や寿命といった要素は、材料の不純物の影響を受けやすく、高品質な製品を製造するためには、高純度な材料の確保が不可欠です。不純物は、デバイスの効率低下や劣化を早める原因にもなります。当社超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、発光材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ製造における発光材料の精製 ・研究開発段階での高純度材料の調達 ・歩留まり向上によるコスト削減 【導入の効果】 ・高純度材料によるデバイス性能の向上 ・高収率による材料コストの削減 ・省スペース設計による設置場所の最適化

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

太陽電池業界では、変換効率の向上が常に求められています。特に、有機太陽電池においては、材料の純度が性能を大きく左右します。不純物は、電荷の移動を阻害し、効率低下の原因となります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度有機材料を提供することで、太陽電池の効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・有機太陽電池の研究開発 ・太陽電池材料の製造プロセス ・高純度材料を用いた高性能太陽電池の製造 【導入の効果】 ・高純度材料による太陽電池の変換効率向上 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・省スペース化による設置面積の有効活用

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

ディスプレイ業界における薄膜化プロセスでは、高品質な表示性能を確保するために、有機材料の純度と歩留まりが重要です。特に、薄膜の均一性や耐久性を左右する有機材料の不純物は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、ディスプレイ製造における薄膜化プロセスを強力にサポートします。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ製造 ・有機薄膜太陽電池製造 ・高性能ディスプレイ材料開発 【導入の効果】 ・高純度材料の安定供給による歩留まり向上 ・材料コストの削減 ・高品質な薄膜形成による製品性能向上

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。特に、有機ELや有機半導体材料においては、不純物の混入が性能劣化の大きな要因となります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度99.99％、歩留まり98％(2回目の精製後)を実現し、半導体材料の高純度化という課題を解決します。 【活用シーン】 ・有機EL材料の精製 ・有機半導体材料の精製 ・高純度化が求められるその他半導体材料の精製 【導入の効果】 ・デバイス性能の向上 ・歩留まり向上によるコスト削減 ・高品質な材料供給による競争力強化

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

-サーボモーター・ドライバー 換装による延命化- -各種電源モジュールの再生- -機械駆動モジュール メカニカルモジュールの再生- 近年、稼働中の装置延命化のご依頼を多数頂戴いたしております。 特に、メーカーからの供給が終了したサーボモーター モータードライバ 各種高周波電源モジュールの修理・再生・代替モジュール化による延命化のご相談が増え続けております。 近年では装置並びに構成部品の高機能化により、修理対応も専門化が進みました。その専門化に伴い、修理対応は分業・専業化し総合的な診断と検証による「修理」の提供が難しくなってきております。 弊社は経験豊かなエンジニアが集い、お客様の設備を安定稼働させることを目的として設立した企業です。 本サービスセンターの開設により、確かな技術を持つ弊社エンジニアによる「装置の総合診断」と全国に点在するパートナーエンジニアの「専門技術の統合」を行い、ワンストップでの再生と延命化をご提供いたします。

• DCモータ
• サーボモータ
• その他モータ

ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 従前の装置で成膜が難しい強磁性体、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜などの成膜を高レートで実現します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

• スパッタリング装置

-金属ベルトの性質と性能- PureSteel金属ベルトはステンレススチールを使用しているため、過酷な状況下においても長期間使用でき、耐久性があります。ご使用環境や目的に応じて、化学物質、温度、腐食に対する耐性や要求に合わせた合金素材での供給も可能です。 -耐久性- PureSteel金属ベルトは過酷な温度、真空状態、有害・腐食性のある環境に耐性があります。また、長期間使用による摩耗及び伸びや反り等による表面剥離の影響を受けることもありません。 -清潔- PureSteel金属ベルトは潤滑を必要としません。他の素材（樹脂・繊維）などで発生する微粒子やガス放出もありません。オートクレーブでの滅菌、各種燻蒸やガス噴霧での滅菌が可能であるため、清浄度が最重要視される環境での使用に理想的です。 -正確- PureSteel金属ベルトには、他の一般的なベルト素材で発生する脈動がありません。これにより、制御システムの動作プロファイルを正確に伝達できます。非常に厳しい公差により滑らかなエッジと正確な寸法に加工されるため、他のベルト素材と比較して正確性・信頼性がある動作を実現いたします。

• コンベヤコンポーネント
• 医薬品包装機械
• 医薬品関連工場設備

-TKSがご提供する 装置延命化サービス- 国内の半導体や電子デバイス製造には導入から20年を超えて使用されている装置が多く、生産には不可欠な装置も多々稼働中です。 ただ、装置に使用されているモジュールや部品などは既に生産中止になっているものも少なくありません。 消耗・劣化・故障したモジュールの修理・再生にあたり、現行品を使用することで装置の安定稼働につなげます。 また、安定供給やコスト削減を目的とした部品国産化もご相談ください。 -サーボモーター・ドライバー 換装による延命化- 稼働中の装置には多数のサーボモータが使用されていますが装置稼働中にもそのモータドライバとモータは数年ごとに更新され生産中止になります。 長年稼働中の装置に使用されているモータドライバもしくはモータが故障した場合、これまで中古品を探すか修理する以外に対応できませんでした。 この対応では「中古品がない！」「修理不可！」となった場合は稼働可能な範囲で装置を使用するか稼働停止や新規装置購入となりかねません。 弊社ではこのような問題を解決できるよう対応策を模索して実績までに至りました。

• スパッタリング装置
• ソレノイド・アクチュエータ
• 搬送・ハンドリングロボット

HiTUSテクノロジー イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 独立した制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体成膜、金属ターゲットとセラミックターゲットなどのCo-スパッタ、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートいたします。

• その他金属材料
• 合金
• 表面処理受託サービス

-昇華- 物質が液相を経ずに、固体相から気体相に直接相転移する現象を指す言葉です。 逆に気体相から固体相に相転移する現象をも指しますが、これらは一般的に凝華・凝固・再結晶などと呼ばれています。 -昇華現象が出現する条件- 一般的な物質は温度変化によって固体・液体・気体の三態を持ちます。その境界温度はそれぞれの物質の「蒸気圧」によって定まります。　相変化温度が蒸気圧によって規定されることから、物質の設置環境（気圧）を変化（減圧）させることによって、多くの物質においても液相を経ずに昇華現象を生じさせることができます。 -昇華現象の応用と昇華精製装置- 多くの化合物はそれぞれ固有の昇華・凝固温度を持っています。この温度差を用いることによって混在する化合物を、有意に分離することができます。 この現象を応用したものが、昇華精製装置として応用されています。 固体相から気体相に直接相転移させられる特性を生かし、特に溶媒での溶解が難しい「難溶性」物質の高純度化に広く用いられています。

• 有機EL

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。 従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。 研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。

• スパッタリング装置

イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 独立した制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体成膜、金属ターゲットとセラミックターゲットなどのCo-スパッタ、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 イオン供給量とスパッタレートの独立コントロール 　→スパッタレート、膜質、結晶構造の制御 　→ターゲット材のイオン化率の制御 直進性の高い成膜 　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い成膜 多連装ターゲット機構 　→幅広い多層膜成膜 複数ターゲットの独立制御 　→各ターゲットのスパッタレートを制御してのCo-スパッタ合金成膜 　→ターゲットを切り替えての多層成膜 基盤へのバイアス印加制御によるコンフォーマル成膜 　→ディープトレンチ、回り込みなどの悪条件下でもコンフォーマルな成膜

• スパッタリング装置
• プラズマ発生装置
• その他表面処理装置

AVP Technology社製イオンビームエッチング装置はICPイオンソースを搭載した高均一・高エッチングレート、かつ稼働再現性・安定性に優れた製造装置です。 他社IBE装置に較べ卓越した制御システムにより、製造設備に必須である安定稼働を実現しています。 最新の駆動機構によりレイテンシー時間を最小限に押さえて生産性を改善しています。

• スパッタリング装置

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・希少なターゲットを用いる成膜工程でのコスト削減にも貢献します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

• スパッタリング装置

安定した成膜とコストダウンの両立を実現します。 アメリカオングストローム・サイエンス社製の高機能・高品質な「マグネトロンスパッタカソード」です。 特許技術のShaped Magnet採用により、ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく、安定した成膜とターゲット交換のためのコスト低減を実現しています。 【特長】 ■Shaped Magnet高効率テクノロジーカソード: 高い成膜効率と安定性を実現 ■継続使用可能なターゲット: お手持ちのターゲットを再利用可能で、コスト減 ■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減 ■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能 ■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能 ■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能 ■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション有 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• スパッタリング装置
• 真空機器
• その他金属材料

有機材料用蒸着源 MBraun Dresded DEシリーズ R&Dや少量生産用にデザインされた蒸着源エバポレーターです。 ・50℃から800℃まで広範囲の温度領域で安定した使用が可能 ・超高真空での使用も可能 ・既存の装置にも用意されたオプションで対応可能 （シャッター、水冷、各種フランジ、温度制御など） 詳細はお問合せください。 また複合型蒸着源についてもお問合せください。

• その他表面処理装置

このシステムには3つのスパッタリングソースと プレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシャッターが搭載されており、このシャッターを制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。 主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造 寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m 重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg 最大基板サイズ： 直径150 mm 最大基板キャリア：直径220 mm 対応プロセスガス: アルゴン、酸素、 その他 詳細はお問い合わせください。

• スパッタリング装置

FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロール型スパッタリング装置です。 特徴 １．装置構成の自由度が高い ２．高い温度安定性 ３．適正なシード層形成 ４．オプションでクロームフリーの接着層が可能 ５．高剥離強度を実現 詳しくはお問合せください。

• スパッタリング装置

『DSUシリーズ』は、有機エレクトロニクス研究で蓄積されたプロセスデータから開発された “QUANTIpure Technology”を基にした高純度有機材料の昇華精製装置です。 昇華精製工程の再定義から生まれた独自の精製システムにより、高収率と超高純度の両立を実現しています。 原料投入以降はすべて自動制御で運転され、精製終了までオペレーターの操作は必要ありません。 5gの少量精製はもちろん、10kgの大量精製に対応できる機種もご用意。 オペレーター1名で運転準備と製品回収などのバックグラウンド作業のすべてが完結します。 【特長】 ■開発から量産まで幅広いニーズに対応 ■温度・圧力・重量検知によるオートプロセスコントロール制御 ■実験や開発に適した5gから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ■オペレータ１名ですべての作業が完結 ※「PDFダウンロード」より製品資料をご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご覧いただけます。

• その他半導体製造装置
• 精製・抽出装置
• 有機EL

AVP Technology社製 HR-PVDスパッタリングモジュール ・ヘリコンプラズマイオンソースを用いたリモートプラズマソースによりICPソースと比べ高いイオン化効率を実現しています。 ・傾斜角方向からの優れた直進性により、膜厚均一性およびステップカバレッジにおいても優れた結果を得ています。 ・リモートプラズマにより、基盤を低温に保っての成膜を実現します。 ・ターゲット利用効率においても優れた結果が得られています。 ＊詳細はお問い合わせください。

• スパッタリング装置
• プラズマ発生装置

MBraun社はドイツ・ミュンヘンに本拠地を置く科学機器の専門メーカーです。 高品位なグローブボックス製品を主力として、真空昇華精製装置・真空蒸着源など製品は多岐に渡ります。 MBraunブランドは、高品質かつ高機能な製品の代名詞として世界各国の研究機関や開発企業で好評を博しています。 MBraun社は有機材料を昇華精製する設備のご提供のみならず、開発した装置・設備により受託精製サービスをご提供をいたしております。 極少量の試験昇華精製から量産スケールまで柔軟に対応いたします。 自社開発した先進の昇華精製装置により、超高純度と超高収率を両立した精製を実現しています。 従来とは一線を画す高収率により、原料物質のロスを極小に抑えた高純度化を実現し、コスト低減に力を発揮します。 サービスのご提供にあたってはNDAの締結をいたします。 先端素材の昇華精製にあたりましても、安心してご利用いただけます。 【ご用途の例】 ■有機エレクトロニクス材料の精製 ■高純度先端半導体原料の精製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 有機EL

MBraun社は独ドレスデンに拠点を置く、有機材料用プロセスの 専門メーカーです。 有機エレクトロニクス材料を成膜するためには組成分解のない 真空蒸着が好適です。 MBraun社はその有機材料に関するノウハウを元に実験用の 少量蒸着ソースから生産用の大型リニアソース並びに実験用の蒸着装置を ご提供いたします。 【概要】 ■有機材料用蒸着源（ポイント及びリニア型） ■メタル材料用蒸着源 ■有機材料成膜システム並びに使用コンポーネント製造 ■装置改造 ■開発並びにエンジニアリング業務受託 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

2023年、CreaPhys社はMBraun社との経営統合により事業部門となりました。MBraun社は全世界で研究実験設備などの製造販売を行うグローバル企業です。統合されるCreaPhys社はMBaun社がDresden大学Karl Leo教授門下の研究者に出資し、設立したグループ企業です。 有機エレクトロニクス分野において20年以上の歴史を有し、有機材料の 昇華精製装置、蒸着ソース、並びに評価装置をご提供しております。 【製品並びに受託サービス】 ■有機材料真空蒸着システム ■計測分析システム ■有機材料の精製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

当資料は、Belt Technologies社製の金属ベルトの設計および用途の基本を 解説しています。 「貴社の設計に金属ベルト導入を検討する理由」をはじめ、「金属ベルト、 駆動テープおよび各種用途」や「設計における考慮事項」などを掲載。 皆様に金属ベルトの多くのメリットをご理解いただく一助となり、必要な 基本事項としてお役に立てることを希望しております。 是非、ご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■貴社の設計に金属ベルト導入を検討する理由 ■金属ベルト、駆動テープおよび各種用途 ■プーリー ■表面処理 ■設計における考慮事項 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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