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『Zシリーズ』は、フォトマスク市場で長年培った独自の高分解能技術、 チャージ対策技術をさらに進化させてsub-10 nm先端デバイス用 マスク向けに開発したフォトマスク用CD-SEMです。 EUVマスク、NIL用Qzモールド、PETフィルムモールド、DSAフィルムなど 様々なサンプルに対応しております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■収差補正技術をさらに改良し、高SNRイメージを取得 ■低真空技術によるチャージフリーSEM画像を取得、高精度計測が可能 ■多彩なアプリケーション （多点計測・輪郭抽出・2D測定・欠陥レビュー・3D表示） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• 半導体検査/試験装置
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