【主な仕様】 ■走行速度（max）：～約60m/min（前後進）、横行30m/min ■誘導方式：自立走行方式（前進・後退・横行・スピンターン） ■停止精度：走行±10mm（走行単体）、移載±5mm以下（補正後） ■外形寸法：1,100×550×1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット） 　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット

• 搬送・ハンドリングロボット

【その他仕様】 ■真空槽：幅360*高さ400*奥行300（内寸、mm） ■排気系：ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ■到達圧力：1*10-4 Pa（基板なしのとき） ■真空計：ピラニゲージおよび広帯域電離真空計 ■ガス導入系：マスフローコントローラー（Ar、O2各1系統） ■操作系：手動操作 ■ユーティリティ：電源 3相200V*40A、 　　　　　　　　　冷却水 25°C以下15L/MIN 　　　　　　　　（2kgf/cm2、水圧が低い場合の昇圧ポンプはオプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

• 真空機器
• 真空成形機

【主な仕様】 ■走行速度（max）：～約60m/min（前後進）、横行30m/min ■誘導方式：自立走行方式（前進・後退・横行・スピンターン） ■停止精度：走行±10mm（走行単体）、移載±5mm以下（補正後） ■外形寸法：1,100×550×1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット） 　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

• 搬送・ハンドリングロボット
• その他搬送機械

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

• カッター
• リチウムイオン電池