試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置！
『ロールツーロール式真空成膜装置』は、ロールツーロールにて フィルム基板上に連続的に薄膜形成が可能な装置です。 コンパクトでエコノミーな装置なので、研究開発に好適。 フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能になります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【主な仕様】 ■成膜方式：DCマグネトロンスパッタリング（オプションにてRFに対応） ■基板搬送：ロールツーロール（張力制御付）、速度0.2~3.0m/min、 張力15~80N ■ローラー面長：140mm ■フィルム寸法：最大幅100mm、長さ100m（フィルム厚50μm） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【その他仕様】 ■真空槽：幅360*高さ400*奥行300（内寸、mm） ■排気系：ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ■到達圧力：1*10-4 Pa（基板なしのとき） ■真空計：ピラニゲージおよび広帯域電離真空計 ■ガス導入系：マスフローコントローラー（Ar、O2各1系統） ■操作系：手動操作 ■ユーティリティ：電源 3相200V*40A、 冷却水 25°C以下15L/MIN （2kgf/cm2、水圧が低い場合の昇圧ポンプはオプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社では、装置システム、制御システム、電子システムおよび ドキュメントサービスの広範囲な技術部門を擁し、多方面の業界で お客様から信頼・評価を頂いてまいりました。 これまで培ってきた技術を核として、様々な情報を駆使しスピードと 自己変革力を磨き、お客様と社会に貢献すべく、時代に適応した 総合エンジニアリング企業へと飛躍することを目指します。
