ファブアシストの製品ラインアップ

株式会社ファブアシストは、半導体製造装置に不可欠な消耗パーツの 製造・販売を行っております。 エッチャー、CVD、イオン注入装置など、高い加工精度が求められる 各種装置向けに、アルミ、石英、シリコン、高融点金属、樹脂といった 多彩な素材のパーツを提供。 特にセラミックパーツに強みがあり、高純度アルミナやジルコニアを 用いた耐熱・耐食性の高い部品製作に加え、既存パーツの材質変更に よるコストダウン提案も行っています。 【特長】 ■幅広い対応素材と高精度な加工技術 ■高機能セラミックによる長寿命化とコストダウン ■プロセス環境に最適化する多彩な表面処理 ■装置の長寿命化と発塵対策をトータルにサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他半導体製造装置

当社では、半導体製造装置用パーツ製作で培ったノウハウを活かし、 高品質な産業機器向けパーツを提供しています。 主なサービスとして、セラミックスや高融点金属(タングステン、 モリブデン、チタン等)の精密加工、フェライトコア加工、各種 表面処理(PFAコーティング等)に対応。 材料選定から加工、洗浄までの一貫した工程見直しにより、 耐摩耗性の向上や腐食対策など、装置のライフアップや 問題解決を実現します。 【特長】 ■高融点金属や精密なセラミックス加工、フェライトコア加工など、 　難削材にも高い精度で対応 ■材料選択から加工、表面処理、精密洗浄まで全工程をトータルで見直し ■パーツの耐摩耗性強化や腐食対策を実現し、装置全体の長寿命化に貢献 ■既存の設計概念を覆す代替提案が可能 ■材質変更や形状改善を通じた性能向上をサポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• セラミックス