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株式会社アプリクス

設立1984年4月
資本金3800万
従業員数8名
住所東京都八王子市四谷町663
電話042-620-7900
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2021/03/17
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オゾン水分解装置

オゾン水分解装置OZK-U85-S1-EVG200はオゾン水中に溶解しているオゾンを紫外線ランプにより分解するもので、主に半導体または液晶製造プロセスなどで使用される純オゾン水の分解用として使用されます。

オゾン水分解装置『OZK-U85-S1-EVG200』

分解塔と制御ユニットが別々で設置の自由度が高い!デモ機貸出し&資料進呈中!

『OZK-U85-S1-EVG200』は、装置から排出されるオゾン水を 紫外線ランプで分解するオゾン水分解装置。 分解塔と制御ユニットが別なので、分解塔は床下、制御ユニットは 別の装置に組み込むといったように、設置の自由度が高いのが特長です。 今なら期間限定でデモ機を無料貸出中のほか、 お問い合わせいただいた方には分解装置資料も進呈中です。 【特長】 ■紫外線照射方式を採用したオゾン水分解装置 ■温度過昇時のランプ出力遮断・表示ランプ点灯 ■ランプ不点時のランプ異常表示ランプ点灯 ■各異常発生時の外部接点出力 ■制御ボックス点灯スイッチ、または外部接点信号によるランプ点灯 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

紫外線照射式+活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が 一体となった小型オゾン水分解装置です。 分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ(254nm)の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理:紫外線照射式+活性炭式 分解対象液:純オゾン水 分解液温度:20~50℃(周囲温度:15~40℃、90%RH以下) 使用圧力範囲:0.4MPa以下 使用流量:20L/min以下(条件による) 分解後の濃度:5ppm以下(条件による) ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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  • 大型品の切削や低コストな複合加工に。ロボットシステムの資料進呈

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