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マーポス株式会社

設立1970年6月
住所東京都大田区南馬込5−34−1 マーポスビル
電話03-3772-7011
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2025/02/13
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半導体業界向け

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半導体製造プロセス制御のためのソリューションのご紹介です。

光干渉測定器『NCG』

サイクルタイムを短縮!汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または 機械内部で使用できます。 【特長】 ■目的の公差内の加工精度を保証 ■サイクルタイムを短縮 ■コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ■機械的な変動に対する補正 ■測定結果の履歴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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接触式/非接触式ハイブリッド厚さ測定アプリケーション『P3CF』

白色光を透過する様々な材料の非接触厚み測定を実現

P3CFは、従来の接触式プローブと、コンフォーカル(共焦点)技術による非接触式プローブを組み合わせた測定システム (ハイブリッド測定) です。 様々な素材の距離および白色光に対して透明な材料の厚さを直接測定することができます。 薄くてデリケートな材料(セラミック、半導体ウェハー、包装用エポキシ樹脂モールドコンパウンドなど)の厚さをは、仕上げ工程で正確な測定が 要求されますが、接触式では測りづらいことが課題です。共焦点技術を採用したP3CFは、基準面からワーク表面までを距離として厚さを非接触で測定します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クロマティックコンフォーカル技術、厚さ測定向け非接触式測定

デリケートなワークを傷つけず、破壊検査なしで高品質なワークを生産可能。ワークや環境の変動に強い完全同期システムです。

クロマティックコンフォーカル測定技術を使用したセンサー及びコントローラー。 お客様のワークや環境にあわせて各種ご提供します。世界の自動車・半導体・ガラス業界などで利用されています。 <利点> - 柔らかい素材や透明でない素材の測定に適した非接触技術 (例. アルミロール、銅ロール、リチウムイオン電池セパレーター) - 5µmから層の厚さを測定可能 - インラインでの使用に適した広い測定範囲 - 高感度、高精度 (実際のアプリケーションにおける総厚さの再現性範囲は1µm以内) - 測定フォークまたはゲージング機器一式の提供可能 - Quick-SPCソフトウェアオプションにより、統計処理とデータ転送が可能 下記の課題をお持ちのお客様はぜひ、PDFダウンロードの上、ご相談ください。 - ワークや環境の変動 - 複数のセンサーを使用した同期 - 機械的位置合わせ(傾斜またはずれ) - 測定の詳細把握 - カスタマイズが必要な特別なアプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光学式3D表面粗さ・形状測定機『VIKING(バイキング)』

様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現

SOLARIUS VIKING(ソラリウス・バイキング)は、小型で軽量な光学式3D表面粗さ・形状測定機です。 センサーを使用した測定により、顕微鏡とは異なる測定アプローチが可能です。 ウェーハ、リチウムイオン電池セパレーターなど、表面が薄く柔らかで傷がつきやすい素材の表面粗さ測定や厚さ測定に課題をお持ちのお客様にも好適です。 先端センサー技術を使用し、3D表面トポグラフィーマップおよび国際規格に準拠した測定結果を迅速に提供します。 また、コンパクトな設計で省スペースを実現。容易なセットアップと高い操作性により、3D光学検査プロセスをすばやく設定でき、作業者の負担軽減に寄与。短時間でより多くの測定が可能になります。 【このような課題をお持ちのお客様に好適です】 - 目視作業やマニュアル測定を改善したい - 誰にでも使いやすい機器がほしい - 機械的位置合わせ(傾斜またはずれ) - 測定の詳細把握やデータ管理をしたい - カスタマイズが必要な特別なアプリケーションを探している *サンプル測定のご相談も承っております。お気軽にお問い合わせください。

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プローブカード検査『AOP-PCI』

要求の厳しい複雑な表面測定に対応する高精度3D表面計測

AOP-PCI(プローブカード検査)は、プローブカードを総合的にチェックするための多機能、非接触、非破壊検査ツールです。 エアベアリングステージと最先端クラスのセンサーおよびビジョンシステムを組み合わせることで、フルサイズのスクエアダイレクト ドックプローブカードでも、プローブカードの先端、ヘッド形状、PCB表面の高精度データを取得できます。 さらに、専用の測定アルゴリズムにより、データ取得と分析の両方のルーチンをシームレスに実行可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ダイシングマシンセンサー『VBI』

チップ製造のサイクルタイム短縮と高品質を実現!ウェーハ切断中のブレード監視用センサー

『VBI』は、ウェーハ切断中にブレードを監視し、高い信頼性の確保と無駄を減らします。 ブレードの摩耗と形状をリアルタイムで測定することで、スクラップの削減を生産を止めることなく実現します。 インターフェースユニットは2つのセンサーが接続されます。同じ機能を2つで実行することも、2つの異なる機能を実行することも可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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CCDカメラ搭載非接触工具測定システム『VTS SF-45』

トップクラスの繰り返し精度と測定性能を維持しつつ、大幅な小型化を実現。金型加工機や微細加工機などの限られたスペースに設置可能

『VTS SF-45 Compact』は、限られたマシン内のスペースに適応する CNCマシン用非接触撮像式カメラツールセッターです。 これまでの測定性能を維持しながら大幅な小型化を実現しました。 エアシャッターが光学式レンズを覆って保護、過酷なマシン環境を想定した 設計となっています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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衝突モニタリングと機械保護モジュール『GEMCMS』

衝突が発生すると、1ms以内に停止信号を起動!損傷をできるだけ抑えます

『GEMCMS』は、衝突による損傷を最小限に抑えるための非常に効率的な ツールです。 クラッシュ検知時間を1ms以下にまで短縮。貴重な時間が得られ、 停止コマンドをより一層短時間に実行します。 また、特殊センサーにより、主軸の各軸に作用する力によって生じる マシン構造内のどんなわずかなμレンジの歪みも検知します。 【特長】 ■プログラム、セットアップ、動作のエラーによる後続の損傷を最小化 ■反応時間は1ms以下でどんなNCオーバーロード装置よりもスピーディー ■深刻な衝突でも非衝撃の(準静的)衝突でも検知が可能 ■マシンの寿命延長 ■マシン稼働率アップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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