マーポスの製品・サービス一覧

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または 機械内部で使用できます。 【特長】 ■目的の公差内の加工精度を保証 ■サイクルタイムを短縮 ■コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ■機械的な変動に対する補正 ■測定結果の履歴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

被測定物を損傷させることなく、高精度な非接触測定を実現します。 あらゆる種類の表面や材料（高反射面を含む）に対し、極めて高い解像度で厚さ測定が可能です。 専用の光学センサーを搭載したNCG-Rシステムは、高い保護性能（IP規格準拠の筐体など）を備えた設計により、製造工程後の検査から工程内検査まで、幅広い用途に対応可能です。 薄膜、コーティング、ナノ層などの厚さ測定は、NCG-Rシステムの最大の特徴であり、卓越した性能を発揮します。NCG-Rコントローラー（可視光タイプ）は、あらゆる種類のセンサーヘッドに対応しており、測定範囲や使用環境（作業距離やスポットサイズなど）に最適化された性能を実現しています。

光学センサーヘッドと連動して厚さや距離を測定するように設計されたコントローラーシリーズです。 インターフェロメトリック（干渉計）技術および専用のデータ処理用ソフトウェアパッケージを使用して、 対象部分に接触できない状況でも精度の高い測定を行うソリューションです。 サブミクロンレベルの高い精度と安定性で、繰り返し精度と正確性に優れた信頼性の高い測定を保証します。 また、リアルタイムモニタリングでインラインプロセス制御を支援し、生産効率の向上に寄与します。

『VBI』は、ウェーハ切断中にブレードを監視し、高い信頼性の確保と無駄を減らします。 ブレードの摩耗と形状をリアルタイムで測定することで、スクラップの削減を生産を止めることなく実現します。 インターフェースユニットは2つのセンサーが接続されます。同じ機能を2つで実行することも、2つの異なる機能を実行することも可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

P3CFは、従来の接触式プローブと、コンフォーカル（共焦点）技術による非接触式プローブを組み合わせた測定システム (ハイブリッド測定) です。 様々な素材の距離および白色光に対して透明な材料の厚さを直接測定することができます。 薄くてデリケートな材料（セラミック、半導体ウェハー、包装用エポキシ樹脂モールドコンパウンドなど）の厚さをは、仕上げ工程で正確な測定が 要求されますが、接触式では測りづらいことが課題です。共焦点技術を採用したP3CFは、基準面からワーク表面までを距離として厚さを非接触で測定します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

クロマティックコンフォーカル測定技術を使用したセンサー及びコントローラー。 お客様のワークや環境にあわせて各種ご提供します。世界の自動車・半導体・ガラス業界などで利用されています。 ＜利点＞ - 柔らかい素材や透明でない素材の測定に適した非接触技術 （例. アルミロール、銅ロール、リチウムイオン電池セパレーター） - 5µmから層の厚さを測定可能 - インラインでの使用に適した広い測定範囲 - 高感度、高精度 （実際のアプリケーションにおける総厚さの再現性範囲は1µm以内) - 測定フォークまたはゲージング機器一式の提供可能 - Quick-SPCソフトウェアオプションにより、統計処理とデータ転送が可能 下記の課題をお持ちのお客様はぜひ、PDFダウンロードの上、ご相談ください。 - ワークや環境の変動 - 複数のセンサーを使用した同期 - 機械的位置合わせ（傾斜またはずれ） - 測定の詳細把握 - カスタマイズが必要な特別なアプリケーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『GEMCMS』は、衝突による損傷を最小限に抑えるための非常に効率的な ツールです。 クラッシュ検知時間を1ms以下にまで短縮。貴重な時間が得られ、 停止コマンドをより一層短時間に実行します。 また、特殊センサーにより、主軸の各軸に作用する力によって生じる マシン構造内のどんなわずかなμレンジの歪みも検知します。 【特長】 ■プログラム、セットアップ、動作のエラーによる後続の損傷を最小化 ■反応時間は1ms以下でどんなNCオーバーロード装置よりもスピーディー ■深刻な衝突でも非衝撃の（準静的）衝突でも検知が可能 ■マシンの寿命延長 ■マシン稼働率アップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

AOP-PCI（プローブカード検査）は、プローブカードを総合的にチェックするための多機能、非接触、非破壊検査ツールです。 エアベアリングステージと最先端クラスのセンサーおよびビジョンシステムを組み合わせることで、フルサイズのスクエアダイレクト ドックプローブカードでも、プローブカードの先端、ヘッド形状、PCB表面の高精度データを取得できます。 さらに、専用の測定アルゴリズムにより、データ取得と分析の両方のルーチンをシームレスに実行可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

SOLARIUS VIKING（ソラリウス・バイキング）は、小型で軽量な光学式3D表面粗さ・形状測定機です。 センサーを使用した測定により、顕微鏡とは異なる測定アプローチが可能です。 ウェーハ、リチウムイオン電池セパレーターなど、表面が薄く柔らかで傷がつきやすい素材の表面粗さ測定や厚さ測定に課題をお持ちのお客様にも好適です。 先端センサー技術を使用し、3D表面トポグラフィーマップおよび国際規格に準拠した測定結果を迅速に提供します。 また、コンパクトな設計で省スペースを実現。容易なセットアップと高い操作性により、3D光学検査プロセスをすばやく設定でき、作業者の負担軽減に寄与。短時間でより多くの測定が可能になります。 【このような課題をお持ちのお客様に好適です】 - 目視作業やマニュアル測定を改善したい - 誰にでも使いやすい機器がほしい - 機械的位置合わせ（傾斜またはずれ） - 測定の詳細把握やデータ管理をしたい - カスタマイズが必要な特別なアプリケーションを探している ＊サンプル測定のご相談も承っております。お気軽にお問い合わせください。

『VTS SF-45 Compact』は、限られたマシン内のスペースに適応する CNCマシン用非接触撮像式カメラツールセッターです。 これまでの測定性能を維持しながら大幅な小型化を実現しました。 エアシャッターが光学式レンズを覆って保護、過酷なマシン環境を想定した 設計となっています。 当カメラツールセッターは、新たに工具表面摩耗検査機能を追加し、他のツールセッターでは 計測が難しかった複雑な形状の工具の計測にもご利用いただけます。 品質や加工精度を要求され、これまで自動化（無人化）が難しかった工具の計測や管理を実現し、 生産の効率化や省人化に貢献します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VTS WF（ワイドフィールド）』は、超高精度加工で重要になる 特殊ツール等の測定向けに最適化されたCNCマシン用非接触撮像式カメラツールセッターです。 高精度のターニングセンターや旋盤での用途に特化して設計しています。フレーム範囲のサイズにより、ダブル サイドは直径2.9 mmまで、シングルサイドの場合は直径80 mmまでのツールを計測できます。 エアシャッターが光学式レンズを覆って保護、過酷なマシン環境を想定した設計です。 当カメラツールセッターは、新たに工具表面摩耗検査機能を追加し、他のツールセッターでは 計測が難しかった複雑な形状の工具や、砥石などの研削工具の計測にもご利用いただけます。 品質や加工精度を要求され、これまで自動化（無人化）が難しかった工具の計測や管理を実現し、 生産の効率化や省人化に貢献します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。