インターフェロメトリック（干渉計）技術を使用し、透明、不透明のフィルムの厚さ測定が可能
光学センサーヘッドと連動して厚さや距離を測定するように設計されたコントローラーシリーズです。 インターフェロメトリック（干渉計）技術および専用のデータ処理用ソフトウェアパッケージを使用して、 対象部分に接触できない状況でも精度の高い測定を行うソリューションです。 サブミクロンレベルの高い精度と安定性で、繰り返し精度と正確性に優れた信頼性の高い測定を保証します。 また、リアルタイムモニタリングでインラインプロセス制御を支援し、生産効率の向上に寄与します。
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用途／実績例
用途例） 半導体製造業界 - シリコンウェハの厚さと反り測定 - ウェハ厚さ測定（SiC、GaNなど） - マスクの位置決め 等
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企業情報
マーポス株式会社は、イタリアに本社を置くマーポスグループの日本法人として1970年に設立されました。 「世界のものづくりのパートナー」を掲げ、50年以上日本の製造業を支えています。 当社は、製造工程における機械加工中・加工後の精密測定、検査、プロセス管理システムを提供しています。 ICE（内燃機関）およびEV（電気自動車）の分野では、大手自動車メーカーの主要サプライヤーとして採用されています。 また、自動車分野にとどまらず、半導体、航空宇宙、医療、エネルギー、家電など、幅広い業界で製品・サービスをご利用いただいています。 マーポスは、お客様の規模や業種を問わず、品質向上・合理化・柔軟な生産体制の構築・生産性向上に貢献してきました。 技術力と豊富なノウハウを活かし、課題解決に果敢に取り組み続けています。 さらに、企業理念に基づきトータル・クオリティの向上を追求し、ISO 9001:2015認証を取得。 日本国内でも設計・製造・組立を行い、高品質な製品とサービスを提供しています。 国内6拠点、海外2拠点のネットワークを活かし、地域に密着した迅速なサポート体制を構築しています。
