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ハースライナー
イオンビーム電子銃パーツ(EBガン)は高融点物質の蒸発が可能です。また、蒸発材料と反応しにくいため、純度の高い薄膜を形成することができます。イオンビーム電子銃では、ハースライナーに材料をチャージし、蒸発を行います。