真空装置

◆規格品装置 全自動アーク溶解炉/グローブボックス・ガス循環精製装置/マイクロ波プラズマCVD装置 スパッタ装置(自動式)/スパッタ装置/小型真空アーク溶解炉/陽極接合装置/高周波溶解炉 熱処理炉（メタルヒータ）/熱処理炉（カーボンヒータ）/ホットプレス/ガス量測定装置 真空乾燥器 ◆特殊装置 バルクアモルファス/炭素クラスター ◆一般装置 ホットプレス/LCD（液晶注入装置）/PDP排気装置/スパッタ装置/アルミナイザー