『iDS-mini』は、大幅なコーティング材料コストの低減ができる 小型生産機・研究開発機です。 新開発のアーク蒸発源はカソード材料をφ160×t12のサイズまで大型化し、 広い面積を効率よく消耗させるため、磁石を回転させる独自の構造と なっています。 これらによりカソード材料の長寿命化が達成され、カソード材料コストは 約4分の1まで低減させることができます。（当社従来比） 【特長】 ■磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を搭載 ■低コスト短サイクルのコーティング処理が可能 ■磁石を回転させる独自の構造(特許出願済み) ■カソード材料コストは約4分の1まで低減できる(当社従来比) ■大幅なサイクルタイム短縮を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『iDS500』は、磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を 搭載し、かつ各コンポーネントを高性能化したことにより、 低コスト短サイクルのコーティング処理を可能とした 次世代アークイオンプレーティング装置です。 真空ポンプをカバー内部に収納することで、設置環境の静粛性を向上。 また、アーク蒸発源の荷電部や配線類をカバーで覆い、インターロックを 付与することで安全性も向上しました。 【特長】 ■大幅なコーティング材料コストの低減 ■大幅なサイクルタイム短縮を実現 ■ダスト対策（オプション） ■フルカバースタイルで静粛性・安全性を向上 ■低コスト短サイクル(当社従来比)のコーティング処理が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。