【成膜可能な膜種】 ■単層膜 　・TiN,TiCN,TiAlN,TiSiN,その他Ti系被膜 ■積層膜 　・CrN,AlCrN,その他Cr系被膜 ■超多層膜 　・その他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■装置型式：iDS500 ■推奨コーティングゾーン：φ500×H500[mm] ■蒸発源数：3units、6units、9units（標準）、12units（最大） ■付属治具テーブル：8軸自公転治具 ■成膜方式：陰極アーク式イオンプレーティング ■基材エッチング方式：ガスボンバード、メタルボンバード ■カソードサイズ：φ160×t12[mm] ■扉数：2ドア ■ガス系統：標準4系統 ■ヒーター：標準装備 ■温度モニター：標準装備（熱電対計測2か所） ■主排気ポンプ：ターボ分子ポンプ ■制御システム：全自動 ■推奨設置スペース：W5500×D5800×H3000 [mm] ■重量 　・装置本体：約3.6t 　・電源盤、制御盤：約2.1t ■主なオプションシステム 　・ダスト飛散防止ブース 　・蒸発源シャッター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。