エキシマの製品・サービス一覧

株式会社エキシマは材料、素材や半導体ウェハー表面の清浄度や濡れ性、撥水性、均一性など定量的に評価する全自動接触角計“FA100 ※１　/　FA300※2 　/　FAW300※3”を新発表いたします。 これまで、測定バラツキの要因であった作業者毎による手動操作や設置環境の明るさの影響をワンタッチ自動計測と暗室筐体の採用により省力化とばらつき誤差の削減を実現いたしました。また、自社オリジナルのWindows,Android OSを用いた画像計測技術をベースに革新的なWindows機構制御を採用しシンプルな構成で従来比1/2の低価格を実現いたしました。

• その他計測・記録・測定器

UV-C 波長 160-220nm Vacuum UV-C モニター VUV-C 160-220nm monitor VUV-C紫外線 を0-5V DC出力いたします。 主な用途、エキシマUVランプやUV-C LED、低圧水銀ランプなどVUV-C紫外光源の相対出力管理、装置組込モニター等。 Hamamatsu Photo tube を採用。 薄型UVセンサー本体分離型 日本製

• その他電子計測器

ステージ治具にはPEEKを採用。小径ウェハーにも対応。高画質500万画素メガピクセルズームレンズ採用。トレーサブル校正対応、日本製。Windows11PC別売。

• その他計測・記録・測定器

装置のサイズや排気オゾン濃度や必要排気風量に応じたカスタム仕様、受注製作品。 詳細お問い合わせください。

• その他理化学機器

卓上型UV照射装置、プラズマ装置等のオゾン排気ガスを分解します。 局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。 非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解 排気オゾンガス濃度0.1ｐｐｍ以下 長寿命設計　触媒寿命　推奨交換期間　1年 詳細お問い合わせください。

• その他安全・衛生用品

計測場所を選ばないでサンプル上に置くだけで計測できます。 大型の自動車部品や大判フィルムなど試料の大きさに制限がないので試料カットの必要がありません。 パソコンとUSB接続により簡単に計測、データ保存ができます。 測定方法、サンプル上にハンディ接触角計を載せます。測定ポイントに水滴を滴下します。手動計測により接触角を計測、データ保存いたします。

• その他計測・記録・測定器

飛沫防止パーティション等で対策された換気のしにくい局所空間などで薬剤不使用で空気中の浮遊ウィルス・細菌を積極的に除菌を目的に開発いたしました。 特許出願中　PAT.P 独自の導風板を通じてUVC紫外線により空気中の浮遊ウィルスを抑制、清浄空気を循環させます。　 ・スリムなタワー型で360°広範囲の空気中浮遊ウィルスを吸引、抑制、空気清浄 ・空中浮遊ウィルスを180分で99％抑制※1 ・適用目安床面積：約　16畳　（　天井高さ2.5ｍで約66ｍ³　）※1 ・JIS規格日本製　紫外線ランプ採用 ・日本国内組立製造　日本製 Aerosol UVC Cleaner Model:UVAERO15 国内試験機関　性能評価試験済　 国内組立製造日本製　 　生産物賠償責任保険(国内PL保険)加入製品 　　　標準価格￥198.000.-（税、送料込） 令和３年度新型コロナウイルス感染症感染拡大防止・医療提供体制確保支援補助金　対象製品

• 紫外線・オゾン応用殺菌システム・装置

接触角計とは試料表面へ水滴を滴下し、水の接触角を測定することにより試料表面評価を定量的に行うシステムです。自動接触角計測は、分子レベルの清浄度評価や濡れ性、均一性を定量的に評価します。同時に作業者によるバラつき問題も改善いたします。Ｅxcelのcsv file出力、液滴画像のpng file保存が行えます。Windows PC本体は含まれておりません。

• その他計測・記録・測定器

接触角計とは サンプル表面に滴下した水滴の角度を計測することで表面の清浄度や濡れ性、均一性などを定量的に評価するものです。 用　途 親水性・撥水性評価 清浄度評価 洗浄・表面改質評価 均一性評価 先端素材、塗料　素材表面の均一性、清浄度等の評価。 半導体、電子部品の製造工程において分子レベルの表面評価 自動車、実装、高い密着が求められる封し面の清浄度や品質評価 ヘルスケア生体親和性の向上にインプラント表面評価など バッテリーオペレーションでポータブルコンパクト自動接触角計。 PC不要。トレーサブルな校正対応。日本製

• その他計測・記録・測定器

『Smart Contact PRO 100C』は、高性能でコンパクトな自動接触角計です。 ユニークで革新的なスタンドアローン設計によりPCやFAカメラを 使わず、より高性能な自動接触角計測を実現しました。 当製品は、分子レベルの清浄度評価や濡れ性、均一性を定量的に評価し、 同時に作業者によるバラつき問題の改善も可能です。 自動、手動モードが簡単に選択でき、連続計測により経時変化測定も 対応致します。 【特長】 ■Windows11 Microsoft surface 採用 ■暗室構造筐体採用 設置環境ごとに最適な測定条件となる暗室構造の筐体を採用いたしました。これにより従来、校正として設置環境ごとにバックライトの調光や焦点調整のための測定距離調整の最適化が不要となりました。 ■現場校正対応 現場での年に一度の定期的な校正が行えるように ・角度校正用ターゲット付属（国家検定トレーサブル）・ソフトウェア校正用機能を追加しました。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

当カタログは、エキシマUV応用技術メーカーとして企業、研究機関、 大学等のさまざまなニーズに最新のエキシマ表面処理システムを供給している 株式会社エキシマの自動接触角計製品カタログです。 接触角自動計測仕様 (接線法）、トレンドグラフ表に、経時変化表示機能を搭載している「Smart Contact ＰＲＯ1002」などを掲載しております。 用途によってお選び下さい。 【掲載内容】 ■Smart Contact100 ■技術仕様 ■特長 ■アプリケーションズ ■基本仕様 ※こちらのカタログは英語版です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 計測・測定機器

Windows 11　対応 解析モデル: 「Fowkes」 「Owen-Wendt」 「Kitazaki-Hara」 コピー防止プロテクターUSBkey付属 日本製

• その他計測・記録・測定器

静的接触角θ/2法 対象sample size　□50mm 水滴頂点が判る頂点表示機能 USBカメラ、ステージ、照明構成 Windows11対応 液滴画像表示、保存 接触角の計算、表示 JIS R3265 「基板ガラス表面の濡れ性試験方法」準拠 WindowsPC別 バックライト、ディスペンサー標準装備 詳細お問い合わせください。

• その他
• その他計測・記録・測定器

真空内大面積瞬時除電 ICF114フランジ接続（JISフランジ可） 波長172nm　水銀を使用しないUV 空冷方式 予熱不要。瞬時ON、OFFが可能

• イオナイザ・除電器

デスクトップ　排気ファン内臓タイプ 卓上型UV照射装置のオゾン排気ガスを分解します。 局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。 非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解 排気オゾンガス濃度0.1ｐｐｍ以下 AC100-240V 排気ファン内臓 長寿命設計　触媒寿命　推奨交換期間1年

• オゾン発生装置

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。

• オゾン発生装置
• その他半導体製造装置
• その他加工機械

JIS R3265 「基板ガラス表面の濡れ性試験方法」準拠接触角計 ISO書類対応　（オプション）校正証明書、試験成績書、体系図 世界的なNIST基準に基づく接触角計 Windows11　対応

• その他計測・記録・測定器

型　式 台　数 Smart contact PRO1002 　 SImage AUTO 100 お問い合わせください 在庫時通常納期受注後１週間程度 保守サービスは6か月保証。

• その他計測・記録・測定器