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西華産業株式会社 本社

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西華産業の製品・サービス一覧

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分光エリプソメーター

薄膜測定用「分光エリプソメーター」。多様な薄膜の高精度測定に対応。

　ＣＣＤ検知器による高速・広波長範囲計測（１９０−１７００ｎｍ）、ダブルモノクロメーターを用いた高光分解能測定（１９０−２０５０ｎｍ）のシステム選択が可能です。 多様なオプション（赤外分光エリプソメエーター、ＧＸＲ等)の追加で、より高精度な測定を実現します。

  • 半導体検査/試験装置
  • マイクロスコープ
  • その他半導体

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