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冷水式ラッピング装置（EJWシリーズ）及びボンディングマシーン用冷却装置です。ラップ盤のサイズに応じて選択可能です。
ハイプレスFMDランプは旧型ヘリュームランプに代わる光学平坦度測定用器具です。みどりの日仮（波長：5461Å）がオプチカルフラットをバックアップして鏡面上の干渉縞を鮮明に描き出します。
定盤（ラッピングプレート）を交換するときに使用します。 ＜製品ラインナップ＞ ・15インチ用：LB-80タイプ （最大積載量：80kg) ・24インチ用：LB-350タイプ （最大積載量：350kg) ・15インチ用：LB-1000タイプ （最大積載量：1000kg)
ラップ盤の溝等の削り屑を取り除くために使用します。
ポリッシングクロスはラッピングで仕上げた後、さらに小さいスクラッチが残る場合、そのスクラッチを除き鏡面に仕上げる際に使用します。 ＜ラインナップ＞ ・織布タイプ（9450、9415、410） ・植毛タイプ（4FV4、432、437） ・圧縮毛タイプ（434、530N） ・スェードタイプ（540N）
“Trinity-Y”シリーズからコンパクトボディ縦型研削盤が誕生しました。 特に硬脆材料の研削加工を中心に、小ロットの生産、研究開発機関に最適な仕様となっています。 さらに他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。また他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。 【仕様】 [HVG－200／HVG-250] ○最大加工物寸法 6インチウェハ相当／８インチウェハ相当 ○最大砥石径 φ200mm／φ250mm 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
横型研削盤“EHG-170AV”は、砥石軸とワーク軸が反対方向に回転しながら研削加工を行い、砥石軸が左右が揺動運動を行うことで、加工効率と高精度な平面度を得ることが可能です。 研削砥石の選択により、セラミックをはじめとするほとんど全ての加工物及び広い範囲の難削材に的確な威力を発揮します。 【仕様】 [EHG-170AV／EHG-250NC] ○最大加工物寸法 6インチウェハ相当／８インチウェハ相当 ○最大砥石径 φ180mm／φ250mm ○回転数 最大2,500rpm／最大2,000rpm 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『フェーシングユニット』は、超精密片面ラッピング装置『EJWシリーズ』に搭載可能です。 フェーシングユニットを搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 ＜特長＞ ・誰でも簡単に高精度な定盤修正が可能 ・上位モデル（GNC）では、定盤へのスパイラル状の溝入れ加工も可能
DMPパッドは強靭な繊維で編まれた織布タイプのパッドです。 ダイヤモンド砥粒専用で表面粗さを保ちながら高い研磨性を発揮します。 特に、硬脆材料におけるCMPの前加工に最適です。 ＜ラインナップ＞ ・粗仕上げ用：DMP-R10 ・仕上げ用パッド：DMP-F66
超精密片面ラッピング装置『EJW-400IF』は、フェーシング装置を搭載可能な汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ380 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
超精密片面ラッピング装置『EJW-460IF』は、フェーシング装置を搭載した汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ460 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
超精密片面ラッピング装置『EJW-610IF』は、フェーシング装置を搭載可した汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ610 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載可能 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
超精密片面ラッピング装置『EJW-710IF』は、フェーシング装置を搭載した汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ710 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載可能 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
超精密片面ラッピング装置『EJW-910IF』は、フェーシング装置を搭載した汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ910 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載可能 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
超精密片面ラッピング装置『EJW-1200IF』は、フェーシング装置を搭載した汎用性の高い装置です。 フェーシング搭載モデルは誰でも簡単にラップ定盤の平面度修正を数分で行えます。 精度を徹底して追及するラップ加工では常に平面度の安定した加工物を得る事ができます。 【使用可能定盤外径 : Φ1200 mm】 ＜特長＞ ・定盤（ラッピングプレート）の選択により、さまざまな材質の研磨に使用可能 ・フェーシング装置（自動定盤修正装置）を搭載可能 ・水冷機構を標準装備（冷却装置は別途必要） ・様々なオプションに対応可能* *ご要望がございましたらお気軽にご相談ください。
“Trinity-Y” シリーズから6Bサイズのコンパクトで多機能なCMP対応両面ポリッシング装置が誕生しました。 フルステンレス防塵カバーと細部に渡り徹底的に耐腐食性材料を使用し製作しているため、あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。 また他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。
ポリッシング液には様々なタイプがございます。
精密両面ラッピングマシーンEJD-6BYは、特に平行度要求の厳しい素材のラップ加工に適しています。
