真空バルブと真空パッドなどの間に配置して末端部の 圧力制御が可能なレギュレータ ■□■特徴■□■ ■元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能 ■小型の真空ポンプの元圧制御に適している ■真空弁と真空パッドの間に入れ個々のパッドの圧力制御も可能 ■真空ポンプの真空ポートに直接接続できる雄ネジタイプ(A)をご用意 ■雄ネジタイプ(B)は、パッド径：φ150、φ200mm用の ホルダーに直に取付け圧力制御が可能 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。

破壊エアー流量＆リリーフ圧力調整ニードル付真空破壊制御弁 ■□■特徴■□■ ■真空破壊機構を備えた真空発生器用の真空破壊ユニット ■真空発生器の真空特性をそのままに、真空破壊エアーを制御 ■従来の真空破壊エアーの流量制御に圧力制御をプラスし、 ワークの吹き飛ばしを防止 ■真空破壊回路にリリーフ機能（余分な圧力を逃がす機能）を設け 真空破壊時間の短縮化を実現 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、　 もしくはお問い合わせ下さい。

真空発生器によって吸い込まれたダストを除去するフィルター ■□■特徴■□■ ■真空発生器によって吸い込まれたダストや水滴をサイクロン効果と エレメントにより除去 ※大容量ユニオンタイプ：VFB、大容量ユニオンタイプ：VFR ■ダストケースが大きい為、メンテナンスの回数が減少 ■ダストケース全体がワンタッチで外れる為、ダストが散乱しない ※大容量ユニオンタイプ：VFB ■小型真空用フィルタは、真空システムのハイサイクル化が 要求される分野に最適　※小型ユニオンタイプ：VFU1シリーズ ■塵の量やエレメントの交換時期によって、エレメントサイズ(濾過面積)を 2種類から選択可能　※小型ユニオンタイプ：VFU1シリーズ ■本体とニップルを一体化。樹脂材質にPPを使用し、低価格化を実現 ※ソケット：VFJ ※「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」の分野向けに、 この度、金属部材質：SUS303相当のVFU1,2,3タイプを'09年7月より追加 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、　 もしくはお問い合わせ下さい。

パッド首振り装置　フリーホルダー ■□■特徴■□■ ■パッドがワークの面に平行になるよう、ホルダーとパッドの間に 取付け使用(首振り角度：30゜) ■パッドの吸着面がワークに対し垂直に置かれていない場合や 角度が不定の場合に最適 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。

1 個の真空源に複数の真空パッドを使用する場合のバルブ ■□■特徴■□■ ■ワークが外れても別回路の元圧低下を最低限に 抑えることができる ■複数個のパッドの内、吸着していないパッドがあっても 正常に吸着しているパッドは真空低下を軽減しているので、 正常に吸着されているワークの落下を防止 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。

真空スイッチ　LED表示付圧力センサー ■□■特徴■□■ ■真空スイッチの表示には、LED 表示を採用し、視認性を向上 ■設定圧力と印加圧力を LED表示 ■真空スイッチに 2点スイッチ出力付、及びアナログ出力付の 2タイプをご用意、用途に合わせた選択が可能 ■配線にはコネクタ方式を採用し、配線レイアウトを容易に行える ■配管接続方法は、ワンタッチ継手、M5メートルメネジ、 直付の 3タイプを用意し、用途に合わせた選択が可能 ■電子スイッチによる圧力検出のため、精度が安定している ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。

アナログ出力タイプと表示器(SED30シリーズ)を 使用する事により、分離型表示を実現 ■□■特徴■□■ ■センサーヘッド ・幅10mm、高さ10mm、全長24.5mmの小型圧力センサー ・圧力取出はニップル、オネジ、ユニオンタイプの3種類をご用意 ・アナログ出力タイプと表示器(SED30シリーズ)を使用する事により、 　分離型表示を可能にした ・圧力レンジは正圧、負圧、連成圧の3種類、出力仕様はスイッチ出力、 　アナログ出力の計6種類をラインナップ ・ケーブル長さは、3mを標準化 ■表示器 ・大型LED表示により高視認性を実現した、□31mmの表示器 ・3個のプッシュボタンにより全ての設定が可能 ・表示単位は、11種類から選択可能 ・出力はアナログ出力、スイッチ出力の2種類をご用意 ・背面取付け、平面取付け、パネル埋め込み、表示部保護と用途に 　合わせた取付けが選択できる ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。

●ニードル弁一体型を用意： 流量調整可能なニードル弁がセンサと一体になっており、配管の手間がかかりません。また、省スペース設置が可能です。 ●パネルマウント可能： パネルマウント用ブラケットもラインナップ。パネル開口部1つで密着取付けができるため、複数台使用時の工数削減、省スペース化が図れます。 ●ツイン表示/2色表示機能：メイン画面とサブ画面を設けることで、操作性を向上させました。 ●高精度：±3%F.S.以下 ●高速応答：50msec以下 ●双方向での流体計測が可能： 双方向タイプは、流れ方向を任意に設定し計測することができます。配管取付けの自由度がアップするとともに、逆流検知用としても使用できます。

●省エネ対応： モータ定格出力1[W]当たりの排気速度において業界トップレベルの高効率を実現。 ●軽量・小型： 特殊ロータ形状の採用により、省スペース化を実現。 ●長寿命： ・自己潤滑性・耐摩耗性に優れたスーパーエンプラ、及び特殊表面処理の採用により優れた耐久性。 ・マグネットカップリングの採用により摺動シール不要。(シール摩耗によるメンテナンス不要。モータ軸部への負担を極小とすることで、モータの長寿命化をサポート。) ●低発熱： ・強制空冷式を採用し、低発熱を実現。 ・マグネットカップリングの採用により回転軸シール摺動が無く、シールによる発熱無し。 ・高効率モータの使用により、モータ部の発熱を抑制。 ●低運転音・低振動 回転部への徹底したバランス設計により、低運転音・低振動を実現。 ●低発塵 ・低発塵性・低揮発性に非常に優れた真空用クリーングリースを使用し、給油は不要。 ・摺動部極小化により低発塵性を実現。ベーンポンプのような摩耗粉飛散による周囲環境への汚染を抑制。 ●CEマーキング、RoHS指令対応。

大型LEDを採用し、負圧から正圧まで1台でカバー ■□■特徴■□■ ■文字の高さ 11mmの大型LEDを採用 ■高い認識性を実現 ■連成圧タイプで負圧から正圧まで1台でカバー ■スイッチ出力モードはセパレータモード、 ウインドコンパレータモードの 8つの組合せから選択可能 ■優れたコストパフォーマンス ■アクセサリーを豊富に取り揃え、様々な取付方法に対応 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか もしくはお問い合わせ下さい。