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・不純物分析手法
分析手法別の分析事例を紹介! 【表面分析受託サービス】 ■不純物分析(定量、定性、面内分布、キャリア濃度、汚染、有機物など) ・SIMS(二次イオン質量分析) ・TOF-SIMS(飛行時間型二次イオン質量分析) ・TXRF(全反射蛍光X線分析) ・GDMS(グロー放電質量分析) ・IGA(残留ガス分析) ・ICP-OES(高周波誘導結合プラズマ発光分析) ・LA-ICP/MS(レーザー照射型誘導結合プラズマ質量分析) ・GC-MS(ガスクロマトグラフ質量分析) ・SRA(広がり抵抗測定)