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サブアパーチャーで被検面各部を最適な条件で測定し, 各部の測定結果をつなぎ合わせて被検面全体の表面形状を算定します. 従来のフィゾー干渉計と比べて, より広範な形状を高精度に測定することが可能になります. [製品ラインナップ] 1. ASI(Q) ・ 300mmΦまでの平面, 球面, 非球面の形状が測定できます. (より大口径への対応も可能) ・ 90°のスロープ(凸凹の完全半球)でも測定できます. ・ 1000λの非球面でも測定が可能です. ・ 高い測定精度, 高い横分解能が得られます. 2. QIS干渉計 ・ 高いスロープ測定能力, スピーディに高精度が得られます. ・ 広いフォーカスレンジで, 小Rの被検面でも測定可能です. ・ MRFにおけるスポット測定能力が飛躍的に向上します.
MRF装置は, 平面, 球面, 非球面, 自由曲面, シリンドリカル面やプリズムなど, 1台であらゆる形状のワークに対応できます. また, 光学ガラス, 結晶, セラミックスなど広範な材質の加工が可能です. [製品ラインナップ] 1. Q-flexシリーズ(Q-flex 100, Q-flex 300) ・ 回転研磨, ラスター研磨, 自由曲面研磨が可能です. ・ モジュール化により, 交換のダウンタイムが低減できます. 研磨ヘッド, 磁性流体(MR)研磨剤 2. 大型MRF装置(Q22-600, Q22-750, Q22-1200) ・ メータークラスのワークのラスター研磨が可能です. ・ 大きさの異なる研磨ヘッドの交換が可能です. ・ パッド研磨ヘッドの搭載が可能です (Q22-1200).
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