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搬送システム事業
大型フォトマスク搬送装置とそれらの周辺機器類を含めた搬送システムを中心に、低コスト化や描画検査スピードの高速化を追求。各社で異なる製造工程間の条件の整合化、並びに、装置のシステム化などを提供し、一層のオンリーワン技術の戦略を推進。さらにフォトマスク各社の海外展開における拠点のシステムづくりへの協力、提案も行っています。