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MEMSファンドリサービス
圧電薄膜(PZT薄膜)、Si深掘りエッチング、SiC基板エッチング加工、ガラス加工、フォトリソグラフィ、ウエハ接合、など、MEMSジャイロの生産経験を生かし、MEMSデバイスの試作から量産までお客様のご要望にお応えします。