ヤチダの製品・サービス一覧

『ニップルNEGポンプ』は、チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）NEGを タイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。 チャンバー内のデッドスペースにシュラウド形を配置すれば、システムは 極高真空環境に早変わりします。 また、1000L/sを超える設計が容易なほか、ステンレス真空チャンバーに 対応することができます。 【特長】 ■無振動、無電力、無荷電粒子ノイズ ■自由設計、取付方向自由 ■NEG：St707タイプZrVFe合金 ■ピル状NEGを二重金網中に積層 ■10^-10Pa以下のXHV発生が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた 新しい構想のゲッターポンプです。 ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を 再構築しました。 当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と 組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを 発生させることができます。 【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ

『魔法のニップル』は、当社が独自に開発した0.2%BeCu合金材料の 特性を生かしたアイディア製品です。 ヌードBAゲージまたはEXゲージのヘッドを当製品に入れてチャンバに 取り付けるだけでご使用いただけます。 当製品でゲージ周囲を囲むと、フィラメントから放射された熱線は、 壁の表面で97％の割合で反射されるようになります。 【特長】 ■真空計のガス放出が1/7に減る ■到達真空が1桁程度良くなる ■消費電力が1/2以下に減る ■0.2%BeCu合金製（AlCuも有） ■銅表面は不動態化処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

真空フランジや真空部品などの製品コストダウンを実現する技術サイト！溶接スポット径が小さく、ビード幅に対しての溶け込みが深く利点を使用し、品質はそのままで低価格な製品を製造いたします。

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真空フランジの特注品を図面一枚送っていただくだけで、見積りが可能。創業以来50年以上に渡って、真空フランジをはじめとする真空機器を設計・製造しているヤチダが提供する通販サイトです。真空フランジの規格品はもちろんのこと、規格外品の見積り・発注を簡単に行うことができます。

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