技術情報協会の会社概要

-可視化・異常検知・高精度プロセス最適化- ◎成膜・エッチングプロセスの最適化を実現するには？ ◎プラズマを可視化し、電子・イオンの制御につなげる技術を詳解！ ◎放電・反応性プラズマの高精度プロセス技術を徹底解説！ －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■目次 第1章　プラズマの基礎、発生装置の概要と生成・制御技術 第2章　真空環境の設計技術 第3章　プラズマの計測技術、プロセス評価・解析技術 第4章　プラズマプロセスにおけるモニタリング、予知保全技術 第5章　プラズマを利用した成膜技術とプロセスの低温化、分析技術 第6章　EUVリソグラフィ用の光源と装置開発 第7章　プラズマエッチング・アッシングのプロセス技術 第8章　プラズマを利用した半導体の表面処理技術と洗浄技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ●発刊：2026年6月30日 ●体裁：A4判 395頁 ●執筆者：41名 ●ISBN：978-4-86798-156-6 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－

－必要な物性値／重要な関係式／モデル化／AIの活用－ ★ 経験や勘に頼らない！　計算結果に基づいた早くて正確な『装置設計』『運転条件設定』に向けて！ ★ 計算に必要な物性値、重要な関係式、モデル化から、最新のAI活用例まで網羅！ －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■目次 第１章　化学工学の基本 第２章　物性の推算 第３章　撹拌・混合、反応プロセス、装置設計に向けた推算、シミュレーション 第４章　分離プロセス、装置設計に向けた推算、シミュレーション 第５章　乾燥プロセス、装置設計に向けた推算、シミュレーション 第６章　粉粒体プロセス、装置設計に向けた推算、シミュレーション －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ●発刊：2026年6月30日 ●体裁：A4判 504頁 ●執筆者：35名 ●ISBN：978-4-86798-157-3 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－

－光・熱・超音波・電気・化学反応－ ★使用時に優れた接着性を発揮し、必要に応じてダメージを与えずに容易な剥離を可能にする各手法と材料開発技術、実装例を解説します！ －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■目次 第１章　易解体・分解材料のトレンド 第２章　熱に応答する易解体材料の開発 第３章　光刺激応答性の易解体材料の開発 第４章　化学反応による易解体、分解材料の開発 ■本書のポイント ◎接着⇔剥離のメカニズム ◎様々な外部刺激の特徴 ◎産業応用への展望 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ●発刊：2026年5月29日 ●体裁：A4判 360頁 ●執筆者：40名 ●ISBN：978-4-86798-153-5 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－