アローズエンジニアリングの製品ラインアップ

当装置は、パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定できる自動検査装置です。 安定した検出能力で様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系を用いております。簡単な設定でウェハ種類毎に照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけで測定でき、プローバとはGPIBで通信を行います。また、プローバを使わず専用のXYステージを付けて稼動する装置も製作可能です。 【特長】 ■様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系 ■パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定 ■簡単な設定で照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけ ■GPIB通信による自動検査が可能 ■専用のXYステージを付けた稼動装置も製作可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当製品は、半導体ウェハノッチ部分の内部クラックをSWIRカメラを用いて検査するウエハー内部クラック検査装置です。 可視光では見えない情報を撮影できるSWIRカメラを活用し、検査結果の自動データ保存や良品/不良の自動判定、不良発生時のアラート出力が可能です。検査後の商品は品質保証が可能になり、手載せの手動機から24時間対応の全自動機まで対応します。 【特長】 ■半導体ウェハノッチ部分の内部クラックを検査 ■目に見えない情報を撮影可能なSWIRカメラを採用 ■検査結果の自動データ保存・自動判定（良品/不良）が可能 ■不良発生時の自動アラート出力機能 ■手載せの手動機から24時間対応の全自動機まで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『シリンダー内面外観装置』は、目視検査では困難な定量化や見逃し欠陥の確実な検査を実現する円筒内面自動検査装置です。 カメラがXY移動し、画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全自動で行います。スクラッチ（傷）、異物、カケなどの外観検査に対応し、検査時間を1/10程度に短縮。ローダー、アンローダー付きのインラインにも対応いたします。 【特長】 ■スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動化 ■任意のしきい値設定によるOK/NG判別 ■検査時間を1/10程度に短縮 ■ローダー、アンローダー付きのインライン対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当製品は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査画像と比較することで正確な判別を行うシステムです。 登録画像との比較により、画像表面に付着している異物、傷、汚、パターン欠陥を検出します。アライメントパターンの位置表示によるアライメントずれ検査や寸法検査を行い、異物等の面積・サイズ（最大径）を測定して良品/不良品を判別。検査結果データはファイリングして蓄積されます。また、プローバ（又はXYステージ）との連動による全表面移動検査や、位置ずれの自動補正が可能です。 【特長】 ■マスタ画像と検査画像の位置ずれを自動補正 ■画面エリア別に個別の判定条件を設定可能（最大10スペック） ■異物、傷、汚、パターン欠陥の検出および寸法検査に対応 ■検査結果データをファイリングして保存 ■プローバ（又はXYステージ）連動で全表面を移動検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『MPI-300A』は、溝形状をプロファイル断面撮影と電動スキャンで全長の撮影と記録・測定ができるメインローラー溝検査機です。 プロファイルカメラの透過光がローラー影断面を創作し、テレセントリックレンズカメラで撮影してローラー全長を移動しフレーム録画と画像測定を行います。カート式でスライサーの脇にセットして簡単に調整して検査できます。 【特長】 ■プロファイル断面撮影と電動スキャンで全長の撮影・記録・測定が可能 ■スライサー実装ローラーやワイヤーモード検査に対応 ■カート式でスライサーの脇にセットして簡単に調整可能 ■摩耗検査や耐久モニター、ローラー交換時期の判定資料として活用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『レンズ外観検査装置』は、一般的な顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度と高再現性を短時間で実現する検査装置です。 高速高解像度カメラと工夫された照明系を搭載。手動でサンプルをセットするだけで自動検査を行い、レンズ単体からモジュールまで幅広く対応します。異物や傷、クラックの検出に対応し、インライン化にも容易に対応可能です。 【特長】 ■高速高解像度カメラと工夫された照明系 ■レンズ単体とモジュールの双方の検査に対応 ■異物や傷、クラック等の検査が可能 ■サンプル搭載後は自動で検査を実行 ■インラインにも容易に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当製品は、6インチまでのSiC、GaN、サファイアウエハーなどの内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効な化合物系ウエハー検査装置です。 検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを備え、自動ステージにより同じ座標系での検査を可能にします。オプションで、同じ座標系にAFMやウエハー厚さ測定を載せることも可能です。 【特長】 ■4つの光学系（スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過）を搭載 ■全光学系にオートフォーカス機能を搭載 ■自動ステージにより同じ座標系での検査が可能 ■オプションでAFMやウエハー厚さ測定の追加が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当製品は、樹脂プレートの異物測定を自動的に行う測定装置です。 手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。高速高解像度カメラと特殊ドーム照明を用いることで、一般的な顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。また、インラインにも容易に対応いたします。 【特長】 ■手動でサンプルを搭載し、検査は自動実行 ■高速高解像度カメラと特殊ドーム照明を採用 ■高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度・高再現性を実現 ■インラインにも容易に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当装置は、検査後の品質保証を可能にする自動測定装置です。 非接触測定が可能で刃先を傷つけず、測定者の技量に依存すること無く接触圧・測定角度・視差が出ません。任意の測定回転角度や測定サンプリング数が自由に設定でき、より高精度の測定が可能です。また、測定速度も速くインラインでの24時間全自動化が容易に構築でき、刃物扱いによるケガのリスクを解消します。結果の自動データ保存や良品/不良の自動判定、不良発生時のアラート出力も可能です。 【特長】 ■非接触測定が可能で刃先を傷つけない ■測定者の技量に依存せず測定精度が一定 ■任意の測定回転角度、測定サンプリング数が自由に設定可能 ■結果の自動データ保存・自動判定（良品/不良）が可能 ■不良発生時の自動アラート出力が可能 ■インラインの24時間全自動化が容易に構築可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『WEIM-12F』は、高精度かつ高速で自動測定が可能なFUPE対応の全自動プロファイラ複合検査機です。 Wハンド反転機構つきロボットで取出したウェハをアライメントの後、ウェハ厚み測定、直径測定、ノッチ測定、プロファイラ測定を測定して収納します。MELCEC-net通信でインライン管理ができるシステムです。 【特長】 ■高精度・高速自動測定 ■レーザー変位計2台でウェハ中心と外周の厚みを測定 ■幅径測定機2台でウェハ外径を直径法で測定 ■表裏から2台の光学カメラでガラス/Siのノッチ測定とノッチズレ測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『浮き検査測定装置』は、ワイヤーの半田部分の浮き検査を高速高精度で行う製品です。潰れ高さを測定することにより、電気的な非導通の検査をいたします。 色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、36000ライン/秒の測定速度で、ライン当たり測定点数1,200点測定が可能です。測定精度は±2μm。センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視でき、複雑な形状や鏡面でも正確に測定できます。さらに、他の部位の段差、異物、キズ、突起、膜厚なども大面積で短時間検査測定が可能です。卓上機から全自動型24時間インラインにも容易に対応いたします。 【特長】 ■ワイヤーの半田部分の浮き検査を高速高精度で実施 ■潰れ高さの測定により電気的な非導通を検査 ■鏡面や複雑な形状のワークも正確に測定可能 ■卓上機から全自動型24時間インラインまで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『裏面クラック検査装置』は、インラインの24時間全自動化が容易に構築できるセラミック基板用の自動検査装置です。 人の目では見つけにくい微細なクラックを、2方向特殊照明による画像処理で検出いたします。非接触検査測定が可能なためワークを傷つけず、測定速度も速い点がメリットです。結果は自動でデータ保存および良品・不良の自動判定が行われ、不良発生時のアラート出力にも対応。検査後の商品は品質保証が可能になります。任意のタクトタイムやご希望の検査精度で装置構築が可能です。 【特長】 ■2方向特殊照明と画像処理による微細なクラックの検出 ■ワークを傷つけない非接触検査測定 ■結果の自動データ保存・自動判定（良品/不良） ■不良発生時の自動アラート出力 ■任意のタクトタイム・検査精度での構築が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。