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カスタマイズ対応も可能です。お気軽にお問い合わせください。
当社では、電子ビーム応用製品向けに高性能電源をカスタムソリューションで提供しています。 高安定度高圧電源、電子銃電源、イオン銃（FIB）電源、Ｘ線用高圧電源、特注高圧電源のことは、 圧倒的な実績を誇るフューテックスにおまかせください。 ただいま、高圧電源にまつわる『７つの課題解決事例』を進呈中！ これまでお客様から寄せられたご要望に対して、 当社が提供してきたソリューション事例を紹介しています。 【解決事例（一部）】 ■FIB装置のイオンビームを制御したい ■TFE-SEM電子銃制御に必要な高性能電源がほしい ■電子ビームの応用システムを開発するための制御ソフトがほしい ■電子線を応用した半導体検査システムに対応した電源装置がほしい など ※詳細は＜PDFダウンロード＞からすぐにご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
『高安定度高圧電源』は、あらゆる研究開発、実験用途に適したラックマウント型の直流高圧電源シリーズです。 お客さま仕様に合わせてカスタムメイドも可能な高圧電源は、低リップルで高安定度は業界トップクラス。 高性能直流高圧電源の「FLRシリーズ」をはじめ、FLRシリーズ同等の性能で低価格化を実現した「ALRシリーズ」をラインアップしています。 【特長】 ■低リップルノイズ ■高安定度は業界トップクラス ■研究開発や、初期実験に最適 ■リップルモニタ端子を標準装備 ■放電波形等の確認が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ALRシリーズ』は、高精度を要求される研究開発・実験用途に適した ラックマウント型の高性能高圧電源装置です。 機能を必要最低限にとどめた低価格タイプながらも、 5ppm以下の低リップルノイズと10ppm/h以下の高安定度を実現。 またリップルモニタ端子を標準装備しているため、 電源自体の整流リップルや、高圧出力側の放電波形も確認可能です。 【特長】 ■シンプルなマルチダイヤルによるマニュアル操作 ■リップルモニタ端子を標準装備 ■出力電圧・電流モニタ付き ■温度係数は10ppm/℃以下 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源、静電レンズ電源で構成されており、コントローラを標準搭載しています。 ●より詳細な仕様については、カタログをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ※左写真は、オプションのコントローラを本体パネルに組み込んだ例です。 ●お客さまの装置に合わせてカスタムが可能です。お気軽にお問い合わせください。
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてカスタムが可能です。お気軽にお問い合わせください。
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせください。
本製品は、CD-SEM,レビューSEM用の高圧電源装置です。加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせください。
◆４チャンネル出力静電レンズ用高圧電源「ESL102XP」 "ESL102XP"は低加速電子ビーム・アプリケーションのEOSカラム内静電レンズ制御用に開発された４チャンネル出力高圧電源です。 ４チャンネル中２チャンネルはバーポーラ出力となっており、パネルスイッチ、または外部制御により極性の切り替えが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「FAG502XP」はオージェ電子分光(CMA)用に開発した製品です。 熱電子銃とCMA分光器を高精度に制御することが可能であり、外部制御用のポートを標準装備、シーケンシャル制御も可能となります。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
国内唯一の電子銃電源の専門メーカーです。安定度・低リップルは業界トップクラス！また高安定度直流高圧電源のラインアップを掲載した総合カタログの最新版が登場しました。 この機会に是非、お手元でご覧になって下さい。 【掲載内容】 ・FE303XS TFE電子銃用－30KV高圧電源・標準 ・FE303XP TFE電子銃用－30KV高圧電源・高精度 ・Model FE103XP ・Model FE503XP ・Model IB303XP ・Model XR303XP 他 ※詳細は、カタログをダウンロードしてご覧になって下さい。 もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。
「FLRシリーズ FLR503」は、超低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究の研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備。システム化にも対応が容易です。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「FLRシリーズ FLR403」は、超低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究の研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備。システム化にも対応が容易です。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「FLRシリーズ FLR303」は、超低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究の研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備。システム化にも対応が容易です。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「ALRシリーズ ALR503」は、低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。シンプルなマルチダイヤルによるマニュアル操作。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「ALRシリーズ ALR403」は、低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。シンプルなマルチダイヤルによるマニュアル操作。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
「ALRシリーズ ALR303」は、低リップルノイズ、高安定度の定電圧高圧電源です。高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。シンプルなマルチダイヤルによるマニュアル操作。リップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
『ALR503シリーズ』は、高安定度・低リップルノイズを実現した高圧電源装置。 機能を必要最低限にとどめることで、低価格を達成しました。 高精度を要求される静電レンズや電子線エミッターの試験に最適です。 【特長】 ■シンプルなマルチダイヤルによるマニュアル操作 ■リップルモニタ端子を標準装備 ■低リップル＝5ppm以下 (250mVp-p@50kV) ■安定度は15ppm/1h以下 ■温度係数は15ppm/℃以下 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。 マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 【特長】 ◇ 高精度・高安定度 ◇ 出力電圧：DC50kV ◇ 出力電力：12.5W ◇ 連続出力短絡保護回路 ◇ 出力電圧・電流モニタ付き ◇ 低リップル＝5ppm以下 (250mVp-ｐ@50kV) ◇ 安定度は15ppm/1h以下 ◇ 温度係数は10ppm/℃以下 ※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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