TFE電子銃、電子線リソグラフィ用の、高圧電源装置「FE503XP」です！
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせください。
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基本情報
本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせください。
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企業情報
【TFE電子銃電源】 複合電源としての高性能高圧電源です。例えば30kVのＴＦＥ電源の例ですと、加速電源のリップルノイズは2ppm、安定度5ppm/1hr と他社の性能を凌駕する性能です。 （ユニット構成）加速電源、フィラメント電源、抑制電源、引出電源 静電レンズ用電源、磁界レンズ用電源、制御用ソフトウェア等の制作も可能です。 【ＯＥＭ製作にも対応！】 お客様のシステムに合わせたカスタマイズ、ＯＥＭ製作が可能。荷電粒子ビーム応用システム・X線システムは、“電子光学系に合わせた電源システムを構築する”ことで始めて高分解能、高安定度が得られるというのが当社のポリシーです。当社は荷電粒子ビームに必要な電源を全てソリューションで提供可能です。その他、高圧電源を利用した装置のＯＥＭ製作や、高性能高圧バイポーラAMP、高速パルス電源などの特注品も承ります。 【時代のニーズに合った環境対応！】 当社の高圧電源は独自の空気絶縁構造を採用。ＳＦ６や絶縁オイルは不使用です。結果的にランニングコストを大幅に削減可能です。お客様のコンプライアンス経営を側面よりサポート致します。