メガトールの製品・サービス一覧

弁体部が0-90°可変する事により 真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブ 【特徴】 ○ACXコントローラと併用する事により、半導体等のプロセスにおいて 　高速応答・高再現性の真空圧力制御が得られる ○フランジの種類・大きさは各種ご用意 ○別途製作のご相談にも対応 ○最大差圧：1気圧 ○全閉モード ：１/10000F．S．コンダクタンス ○モータ：2相ステッピングモータ ○接ガス部材：SUS、テフロン、Ni等 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• バルブ

フランジ及び弁体自体にヒーターを実装。 設定温度までバルブ・弁体を加熱でき 温度勾配もなく不純物付着をなくす事を可能にした、スロットルバルブ 【特徴】 ○高速応答、高再現性の真空圧力制御が可能 ○安全設計 ○低蒸気圧材料をプロセス中での使用にも最適 ○仕様に応じて、特注品も製作可能 ○ボアサイズ：3インチOD ○バルブボディ＆弁体材質：SUS316L ○ヒーター 　バルブボディ：400Ｗ ／ 弁体 ：60W ○使用最高温度 ：150℃（Maｘ180℃もご用意） ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• バルブ

真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、キャパシタンス・マノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 　信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○汎用型タイプと自己加熱型タイプをご用意 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他計測・記録・測定器

ISO9002認定工場で製作された 高品質・高精度の石英製品 【特徴】 ○品質と納期についての信頼性 ○20年以上の石英製造経験 ○ISO9002認定を受けた工場での製造 ○クリンルームでの製作、包装 ○300mm関係製品製作可能 ○高度の熟練された技術者 ○高精度の為の独自ジグデザイン使用 【取扱製品】 ○Process Tube ○Boats(Ring Boat) ○Pedestals Table ○Bath ○Etcher Parts ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター 及びコントロールが可能。 インコトロールステータス信号の出力、コントローラ異常警報出力 ができます。 【特長】 ■独立した圧力モニター及びコントロールが可能 ■バルブのソフトスタート(スローバキューム) ■ランプコントロール(遅延コントロール)が可能 ■インコトロールステータス信号の出力 ■コントローラ異常警報出力 ■レンジの異なる2個のキャパシタンスマノメーターも接続した 　圧力モニター、コントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他FA機器

高温加熱型タイプもご用意 Device Net対応のキャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○独自のセンサー構造（マイクロリス Mark?Wセンサー） ○ダイヤフラムをコンタミネーションから保護 ○外気温変化に対する出力値への影響を低減 ○デュアルゾーン温度制御 　ヒータを2分割,各々デジタル温度制御することにより 　均一性・追従性向上 ○デジタル回路構成 　Device NetとRS485によるデジタル通信対応 　ポテンショメータを排除、アナログ部品点数減少により 　経時変化低減と信頼性向上 ○GUIソフトウエア診断機能によるメンテナンス性向上 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

真空チャンバー内の圧力を 絶対圧として測定する事が可能な、汎用型キャパシタンスマノメータ 【特徴】 ○真空圧を絶対圧として測定可能 ○接ガス部はインコネルで、耐腐食性に優れる ○ガス種に関係なく、トータル圧力が測定可能 ○独自のセンサー構造の採用によりゼロ安定性 　信頼性、精度が著しく向上 ○優れた長期再現性 ○2年間保証 ○Device Net、RS485でのデジタル通信が可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器