※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• チューブ

【その他の特長】 ■タイヤとストッパー部分の接する角度を大きくし、容易な乗越えを防止 ■ストッパー部分の変形を抑えながら軽量化するため、リブ構造となっている ■高い位置でタイヤを当てるため、ストッパー角度が大きい ■丸穴を使ってアンカー固定やオプション品の取り付けが可能 ■衝突した際に一番負荷がかかる根元の曲がりを大きくすることで応力を分散し、 　破損の起点になる角が無くなることで長寿命 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 車輪

ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バルブ閉塞の問題が発生しています。当製品は、問題の発生原因の一つとなるポンプ直後（或いはポンプ内部）の配管内部に局所的に高温のＮ２ガスを流してやる事でこれらの問題を軽減し従来のポンプライフを向上させ、装置の安定稼働率を向上させるツールの一つになります。導入も簡単で、既設のＮ２導入口があればそれを活用でき、排気配管の途中に組み込む事も出来ます。某ポンプメーカーでもオプション採用され特定ユーザー向けに指定仕様にもなっていますので効果は必ず出ると思われます。ヒーターの漏電検出機能は内蔵されており漏電ブレーカ等を使わなくても最低限の安全対策は施されております。窒素流量は標準で３０～５０Ｌ／分、温度１００～２００℃、入力ＡＣ２００Ｖ　３００Ｗ、Ｎ２温度・流量監視、ヒーター本体内外部温度監視、エラーメッセージはＬＣＤ表示されます。以上の設定値はお客様のご要望により仕様変更に対応しております。その他、大量粉体に対応したタイプもございます。（液晶・太陽電池向け用途）

• CVD装置

半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、ＣＶＤ装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご提案が可能です。国内でも多数の実績がございますのでお気軽にお問合せ願います。

• コーター
• CVD装置
• エッチング装置

半導体生産の増減や生産品目の変更に伴い、生産装置の仕様変更やレイアウト変更等には膨大な時間とコストを要します。弊社のサービスは通常の約半額のコストで時間も従来の３０〜４０％を削減し、お客様の環境の変化に対し高い効率でサービスを提供致します。使用する部品は純正、セカンド品を使用し、増設の際は装置本体も在庫しているので迅速な対応を実現できます。担当するメンバーは装置メーカーやデバイスメーカーの元エンジニア経験１０年以上の熟練者が実施するので安心してご利用頂けます。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー

半導体生産ラインで感光材塗布／現像装置で使用されるディスペンスシステム（電動ポンプ）の既存標準ポンプとの置き換えに有効です。元々装置に搭載されている同等ポンプに比べ、高い再現性と材料削減効果が期待されます。海外では主流のブランドで大手顧客に豊富な販売実績があります。当然ながら、導入コストも想像より安い為、日本国内の顧客にも徐々に販売数が拡大しています。特に高粘度材料においては国内シェアは３０％にまで拡大しており、本製品を知ったお客様は高い確率で弊社サービスを選んで頂いております。日本国内最大手半導体メーカー（１、２位）のお客様も既に導入済みで、ライン全てに本システムを導入頂いております。

• コーター
• レジスト装置
• その他ポンプ