薬液使用量削減の最適ツール
低粘度・高粘度材料削減を目的とした高い再現性とシステム拡張性を備えたポンプシステムです。弊社は同製品の日本総販売代理店になっており、本ポンプの販売に伴い装置全体の技術サービスも提供しております。
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基本情報
半導体生産ラインで感光材塗布／現像装置で使用されるディスペンスシステム（電動ポンプ）の既存標準ポンプとの置き換えに有効です。元々装置に搭載されている同等ポンプに比べ、高い再現性と材料削減効果が期待されます。海外では主流のブランドで大手顧客に豊富な販売実績があります。当然ながら、導入コストも想像より安い為、日本国内の顧客にも徐々に販売数が拡大しています。特に高粘度材料においては国内シェアは３０％にまで拡大しており、本製品を知ったお客様は高い確率で弊社サービスを選んで頂いております。日本国内最大手半導体メーカー（１、２位）のお客様も既に導入済みで、ライン全てに本システムを導入頂いております。
価格情報
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納期
用途／実績例
既存でご使用のコーター・デベロッパーの機能改善・向上用に台湾、韓国、米国等の同業種のお客様は、本製品への置き換えを行っています。理由は再現性と材料のコストダウンです。本製品は置き換えに約８〜１６時間を要し、メンテナンスフリーなので壊れるまでご使用頂けます。保証は６００万ディスペンス（ＭＴＢＦ）なので安心して置き換えを推奨できます。出荷実績もシリーズ中複数の製品が各5000台以上の出荷実績があり世界中でご愛用されております。
企業情報
社名：エヴァンリード株式会社 資本金：１１００万円 本社：東京都品川区西品川1-1-1 住友不動産大崎ガーデンタワー9階 事業概要： １）半導体製造装置（３インチから１２インチ）のコストダウンサービス全般の設計、開発、製造、販売 ２）ステンレス代替え材料（エレベータ、エスカレータ向け）の販売 リノペック社の正規国内総販売会社