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一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

設立昭和59年8月1日(1984年)
住所東京都世田谷区喜多見1-18-6
電話03-3749-2525
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最終更新日:2025/05/26
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MSTが出展した展示会の資料 MSTが出展した展示会の資料
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[Nano-simulation]ナノシミュレーション

ナノシミュレーションは物理・化学法則に基づいて原子・分子を取り扱う計算科学手法であり、多様な 現象を理解するために活用できます。

単分子・クラスター等の非常に小さく単純な系から、界面・欠陥・ 外場(電場、圧力など)といった比較的複雑な系まで取り扱うことができます。 ■有効な場面 ・着目現象に対し、原子・分子レベルで立てた仮説の検証をしたいとき ・各種分光スペクトルの詳細な帰属・解釈を行いたいとき ■MSTの特徴 ・計算モデルの提案から解析までワンストップでお引き受け可能 ・自社内に計算環境を保有しており、機密性の高いデータの取り扱いが可能 ・分析・AIの専門家の知見を活かしたシミュレーションが可能 ■対応計算手法 ・量子化学計算 ・第一原理計算 ・分子動力学計算

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【分析事例】Oリングの使用履歴による形状評価

X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能

X線CT分析では、部品の構造や寸法を非破壊で比較・調査することが可能です。本資料では、真空装置に使用されているゴム製のOリングの測定事例を紹介します。ガスがリークしている長時間使用品を調査するため、X線CT分析および三次元画像解析を行い、新品のデータと比較しました。その結果、長時間使用品は局所的にリングの太さが細くなっている箇所が検出され、そこからリークが起きていることが示唆されました。 測定法:X線CT 製品分野:製造装置・部品、高分子材料、日用品 分析目的:形状評価、膜厚評価、構造評価、故障解析・不良解析、劣化調査・信頼性評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】撥水箇所の成分分析

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TOF-SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、広域の分布評価を行えます。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:デバイス、ディスプレイ、電子部品、製造装置 分析目的:定性、イメージング、組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】光ファイバーのコアとクラッドの定性評価

TOF-SIMSにより光ファイバーの材料の定性・分布評価が可能です

光ファイバーは屈折率の高いコアの周りを屈折率の低いクラッド層で覆う構造をしています。屈折率の違いにより、境界で光を全反射し伝達します。そのため、それらの材料の選択、不純物の有無、密着性、被覆状態、付着物などを分析することが重要となります。光ファイバーは、大きく分けてプラスチック製、石英製の2つがあります。本資料では、TOF-SIMSでプラスチック製光ファイバーの断面を分析することにより、コアおよびクラッドの材料を同定した事例を紹介します。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:光ファイバー・電子部品 分析目的:定性評価、有機物評価、組成分布評価 「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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AI×機器分析による異常評価事例

AIの異常検知精度/処理能力を活かし、異常の本質を科学的に究明します。

異常検知は、大量のデータの中から他のパターンとは一致しないデータを見つける技術です。 製品開発や製造に異常検知を取り入れることで、品質管理などの省力化が期待されます。 さらに、機器分析を行うことで、異常の本質を科学的に究明することができます。

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データ駆動型の研究開発促進 (MI)

マテリアルズインフォマティクス(MI)で研究開発の効率化を実現します。

MIとは、材料の研究・開発分野に情報科学技術を活用するアプローチのことです。 製造業などに携わるあらゆる企業や組織にて取り入れることが可能です。 既にあるデータなどを活用し、効率的な実験プロセスの実現や人間だけの知識・経験では得られない新たな知見の獲得を目指します。

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【分析事例】リチウムイオン電池の高分解能X線CT観察

非破壊で電池内部の層構造・異常箇所を確認できます

リチウムイオンポリマー電池は、モバイルバッテリーや電子機器などの身近な製品に幅広く利用されています。 本資料では、ラミネート型のリチウムイオンポリマー電池をX線CTで分析した事例を紹介します。X線CTを用いることで、20mmx40mmの電池を破壊せずに内部構造を観察し、数μmの異物や空隙の有無・位置を確認することが可能です。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】カーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーション

ナノ材料に外力を加えた時の形状変化、歪みエネルギーの評価が可能

カーボンナノチューブは軽量で高い強度、柔軟性を持ったナノ材料であり、その優れた物性から様々な分野への応用が期待されています。一方で、形状変化に伴う物性の変化も知られており、外力に対する変形や歪みの評価が求められています。本資料では、分子動力学計算を用いて単層カーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーションを行った事例を紹介します。シミュレーションを行うことで、実測からは評価が難しい原子レベルでの形状変化の観察や歪みエネルギーの算出が可能です。

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レーザー顕微鏡による表面形状評価

レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡による表面形状評価について紹介しています。

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【分析事例】果物によるグルコシルセラミドの違いを調査

肌バリア(保湿)商品をはじめとするセラミド含有製品の分析評価におすすめ!

グルコシルセラミド(以下、GluCer)は、肌の保湿力に関与する機能性成分です。天然の植物には分子構造が異なる様々な種類のGluCerが含まれており、主成分に差異が見られます。この資料では果物(バナナ、ブドウ、キウイ、イチゴ)の抽出液を分析し、各果物に含まれるGulCerの違いについて調査した事例をご紹介します。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】XRDを用いた負荷印加前後の金属材残留応力測定

非破壊で引張・圧縮応力を定量することが可能です

残留応力測定は部材が様々な応力条件下に耐えられるかを調べる重要な方法の一つです。XRD(X線回折法)では、格子面間隔を測定することで残留応力を求めることが可能です。本資料では引張試験用にアルミニウム板の左右をV字加工した試料を作製し、引張試験用装置で引張負荷を印加する前後の残留応力の比較および、印加後の試料で残留応力の分布を確認した事例について紹介します。なお、残留応力値はsin2ψ法を用いて求めています。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】ジンセノサイド(Ginsenoside)の分析

高麗人参サポニン26種のLC/MS/MS一斉分析が可能です

ジンセノサイド(Ginsenoside、ギンセノシド)は、高麗人参特有のサポニンです。基本骨格のサポゲニンに糖が結合した構造をもち、現在では約40種類の類縁化合物が発見されています。主に中枢神経抑制作用があるジオール系と、中枢神経興奮作用があるトリオール系等に分類され、そのバランスが重要であるといわれています。LC/MS/MSを用いて、高麗人参に含まれるジンセノサイド類26種の一斉分析を行った事例を紹介します。 測定法:LC/MS 製品分野:食品 分析目的:組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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第一原理計算によるワイドギャップ半導体GaNにおける欠陥準位解析

点欠陥の形成エネルギー、電荷、光学遷移など様々な物性情報が得られます

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は主にパワーデバイスの分野で用いられ、近年では急速充電器や5G通信基地局用途としての需要が高まっています。高信頼性を有するGaNの開発にあたっては、結晶中の欠陥量の低減や欠陥がもたらす電気/光学特性などへの影響の理解が重要です。本資料では第一原理計算を用いてGaN中の窒素欠損(VN)が形成する欠陥準位の解析を行った事例を紹介します。本解析は欠損だけでなく、元素の置換など結晶材料中の様々な点欠陥に対して適用可能です。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】新型コロナウイルスゲノム解析

SARS-CoV-2のゲノム解読、変異解析、系統樹作成を行います

感染症の流行の把握や感染拡大防止を目的とした研究のためには、ウイルス等のゲノム情報を解読することが重要です。NGS(次世代シーケンサー)は、数百塩基のDNA断片を大量に読むことができるため、生物ゲノムの解読に汎用されます。 NGSを用いて新型コロナウイルスのゲノム配列を取得すると、変異箇所の特定や検体間比較などの解析を行うことが可能になります。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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角度分解HAXPES測定

HAXPES:硬X線光電子分光法

HAXPESでは、試料表面から深い位置まで(~約50nm)の情報を得る事が可能です。さらに2次元検出器を用いた角度分解測定により、広い光電子取出角で取得したデータを、角度すなわち検出深さを変えた情報に分割することができます。これにより、非破壊でXPSよりも深い位置までの深さ方向結合状態比較が可能です。状態変化が極表面のみに留まらずバルクの中まで進んでいるような材料の評価に有効です。

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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析

液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。

液晶表示パネルの劣化メカニズム解明は、パネルの長寿命化にかかせない重要なテーマです。 劣化症状のうち輝度の低下は、液晶、配向膜、シール材、TFTと多岐に渡った要因が考えられます。 表面・構造・組成・計算科学等を複合的に分析します。良品と不良品のわずかな差異をとらえ、総合的な評価を行うことで、液晶ディスプレイの劣化メカニズムの解明につながります。

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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)

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【分析事例】エポキシ樹脂硬化剤の分析

2液性エポキシ樹脂の硬化剤成分の構造推定

2液性エポキシ樹脂は主剤と硬化剤を混合することで硬化します。1液性と異なり加熱不要で硬化するという利点から、接着剤や塗料、レジンとして広く利用されています。その定性分析において、溶媒に不溶である硬化後の樹脂は、熱分解GC/MSで主に主剤を評価できます。一方、硬化剤の評価については、種類によっては硬化前の状態で測定する必要があります。本資料では、ポリメルカプタン硬化剤を硬化前の溶液状態で測定し、イオン化法(EI法とFI法)を併用することで構造推定した事例を紹介します。

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【分析事例】C0677

NMR測定と計算の組み合わせにより分子構造の詳細な解析が可能です

核磁気共鳴分析(NMR)は有機化合物の構造解析に用いられる手法です。NMRスペクトルは化合物を構成する原子核のスピンの影響を相互に受け、その影響はスピン結合定数で示されます。このスピン結合定数を評価することで複雑な構造を持つ化合物や新規化合物などの同定が可能となります。本資料では、スピン結合定数の測定値と量子化学計算による計算値との比較に基づき、フッ素化合物の立体配座について解析した事例を紹介します。配座のエネルギー計算により安定性の比較も可能です。 測定法:計算科学・AI・データ解析、NMR 製品分野:医薬品 分析目的:化学結合状態評価、構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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剥離原因となる金属界面の有機物評価

TOF-SIMSで金属界面の有機物を深さ方向に評価できます

金属界面の有機物は密着不良や剥がれの原因となります。その密着不良の分析には、物理的に剥離加工を行い、剥離した面について定性分析を行うことが有効です。(参照:分析事例C0198)。一方、剥離加工ができない場合も多く、その場合にはスパッタイオン源を用いて深さ方向に分析をすることが有効です。 本資料では、金属界面における薄膜もしくは二次汚染程度の有機物を深さ方向に定性分析した事例を紹介します。結論としてC系のイオンを確認することで有機物の存在を確認することができました。 また、成分がわかっている標準品と比較することで有機物を同定できる場合もあります。

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  • その他 分析・評価受託

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機能性成分分析による食品ブランド化支援

機能性表示食品の販売申請を3つのステップでサポートします!

MSTでは食品中に含まれる機能性成分の分析を通して、食品のブランド化を支援するサービスを開始しました。 お客様の課題に応じて下記の3つのステップで機能性表示食品の販売申請をサポートします。 Step1:含有成分調査      ↓ Step2:商品化に向けた分析      ↓ Step3:機能性表示認定手続き

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食品ブランド化支援サービス

機能性成分の分析から機能性表示食品の届出までの課題解決を包括的にサポートします!

MSTでは食品中に含まれる機能性成分の分析を通して、食品のブランド化を支援するサービスを開始しました。 ・おいしいだけでなく食品ブランドとしての価値を高めたい ・健康に良いとされているが、何によって効果が出ているかよくわからない ・他の品種で機能性成分が含まれていることはわかっているが、自社栽培品では調べることができていない などのお客様の課題に対して、機能性成分の調査、商品化に向けた各種分析、機能性表示の届出から製品化までを機器分析を用いて包括的にサポートします。

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【分析事例】クリームはんだ中フラックスの成分分析

クリームはんだ中のロジン、チキソ剤、活性剤などを網羅的に定性します。

クリームはんだ(ソルダーペースト)は金属粉末と松ヤニなどから成るフラックスとを混合したペースト状のはんだで、電子部品を基板上に実装する際に用いられています。 はんだフラックス中には、溶剤や活性剤、ロジン、チキソ剤などといった低分子~中・高分子の様々な有機成分が含まれています。 ここでは、これらの成分についてGC/MS、LC/MSを用いて幅広く定性した事例を紹介します。

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【分析事例】AFM-MAによる食品(ロースハム)の機械特性評価

食感を機械特性パラメータで定量化

食感を決める因子には、硬さ、凝着力など様々な要素があります。一般的に、食品の食感はテクスチャーアナライザー等による応力の評価で行いますが、微小領域の測定や薄い試料の測定は困難です。 AFM-MAは表面の凹凸の形状の評価に加え、機械特性の硬さを表すヤング率、質感のパラメータの凝着力、および、エネルギー散逸のデータを微小領域で計測することが可能です。このため、食感等に関係する物理特性を極微小な領域で評価するために有効です。

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LC/MS多変量解析による リンゴジュースの製品特性解析

多変量解析を用いた試料間比較により、製品特性や劣化成分を評価します。

品質管理の一環として、産地や品種に特徴的な成分、ロット間で不良原因となっている成分などについて調べたい場合、複数の試料間での比較が必要になります。LC/MS測定で得られたデータを多変量解析を用いて統計的に処理することで、多数の成分の中から試料に特徴的な成分を見つけることができます。今回は多変量解析の一つである主成分分析(PCA分析)を用いて、リンゴの品種が異なるリンゴジュース3製品間で特徴的な成分について調査した事例をご紹介します。

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液体クロマトグラフ-フーリエ変換質量分析法

OrbitrTM質量分析計(HRMS)による、高分解能・高精度な分析が可能です。

液体クロマトグラフィー(LC)は、液体中の成分を固定相と移動相の相互作用の差を用いて分離する手法です。 液体クロマトグラフ-フーリエ変換質量分析計(LC-FTMS) は、LCで分離した成分の検出にフーリエ変換質量分析計を用いることで、小数点以下4桁程度までの精密質量情報を高い分解能で取得できます。 そのため、第二同位体イオンに注目したとき、13C由来のピークや34S由来のピークを分離することができ、四重極型や飛行時間型質量分析計と比較してより高分解能・高精度な組成推定が可能です。 また、イオントラップによる多段階MS/MS(MSn)を行うことが可能で、特定のイオンについてフラグメントイオンを得ることができます。MSnのフラグメント化については複数の方法を併用することが可能で、組み合わせてMSnを行うことで未知の化合物の定性分析を精度よく行うことができます。

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MIを用いた新規有機半導体材料の構造探索

データ駆動型アプローチから高効率に新材料の候補を提案可能です

有機材料に限っても、存在し得る化合物構造の組み合わせは膨大であり、従来の特性を超える新材料の多くは未知の状態にあるといえます。このような膨大な組み合わせから有効な特性を持つ新材料の探索には、機械学習を用いたアプローチが適しています。本資料では、実際に課題の設定から達成まで、インフォマティクスを活用した事例を紹介します。化合物データセット、目的の特性をお客様の課題に合わせて設定することにより、同様のアプローチでインフォマティクスによる化合物探索が実施可能です。

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XPSスペクトルデータ解析サービス

お手元のXPSスペクトルデータの解析、レポート作成をお引き受けします

近年の測定装置の高度化・高機能化によって、高品質かつ大量のXPSスペクトルデータを短期間で取得することが可能となっています。しかしながら、取得したスペクトルデータの解析にあたってはデータベースの調査や解析技術の習得に手間や時間を要するだけでなく、過去の経験に裏付けられた判断を求められることが多く、保有している装置やデータの有効活用に対し障壁の一つとなっています。MSTではそうした課題を抱えているユーザー向けに、お手元のXPSスペクトルデータについて、解析からレポート作成までワンストップでお引き受けするサービスを展開しています。

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【分析事例】三次元培養ヒト皮膚を用いた皮膚透過性評価

培養ヒト皮膚の様々な評価(形態観察、成分の分布評価、定量分析)が可能です

■形態観察 凍結切片を染色(HE染色、ナイルブルー染色等)することで組織の形態を確認できます。 ■蛍光顕微鏡観察 透過成分が蛍光を有する場合、蛍光顕微鏡で蛍光成分も観察できます。 ■質量顕微鏡観察 成分の分布評価ができます。時間毎の切片で経時変化も確認できます。(TOF-SIMS) ■定量分析 皮膚中の蛍光成分量の経時変化も確認できます。(LC/MS/MS、蛍光検出器など)

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【分析事例】二次電池正極活物質の構造評価

活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能

リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi(NiCoMn)O2(NCM)の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素(Li、O)の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属(Ni、Co、Mn)の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法:SEM・EBSD・TEM 製品分野:二次電池 分析目的:形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

  • 充電器
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【分析事例】リチウムイオン二次電池正極材の立体構造観察・解析

二次電池の活物質の分布・構造を三次元で評価可能

リチウムイオン二次電池(以下、LIB)の正極に用いられる活物質の構造が電池性能に影響を与えます。 X線CT法を用いることで、活物質の三次元観察画像が取得でき、任意箇所の断面を観察することが可 能です。また、取得した三次元画像について画像解析を行うことで、種々の構造的特徴を数値化するこ とが可能です。 本事例では、LIBの正極材部分をX線CT観察し、活物質の粒子体積分布の評価を行いました。 測定法:X線CT 製品分野:二次電池 分析目的:形状評価・構造評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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【分析事例】AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減

AI技術でCT画像のメタルアーチファクトを低減し画像解析精度を向上!

X線CT測定ではサンプルの三次元構造を非破壊で観察することが可能です。 しかし、X線ビームを使用する性質上、金属を多く含むサンプルの測定においてはメタルアーチファクトと呼ばれる暗い線状の虚像が発生することがあり、 内部構造の測長や画像解析における妨げとなります。 本資料では試料の材質情報と物理モデルを基にCT画像再構成の最適化を行った事例をご紹介します。 本技術によりアーチファクトを低減することができ、より鮮明な内部構造評価が可能です。 測定法:X線CT、計算科学・データ解析 製品分野:電子部品、製造装置・部品、LSI・メモリ、日用品 分析目的:形状評価、構造評価 【特長】 ■メタルアーチファクトによって遮られた構造を鮮明に観察可能 ■樹脂と金属の両方をCT観察する場合に有用 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

  • その他画像関連機器
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2022年4月15日(金)MST熊本営業所がオープン致しました!

熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。

MST九州地区初の熊本営業所がオープン致しました。 熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します。 貴社へ訪問してのお打ち合わせ、営業所での分析相談も可能です。 東京本部(ラボ)との密接な連携で納得の品質・納期を実現します。 ご期待ください。 開所日:2022年4月15日(金) 住所:熊本県菊池郡大津町室161-1 ステーションM 102       ※サンプルのご送付は、東京都世田谷区の本部宛てにお願いします。    本部住所:東京都世田谷区喜多見1-18-6 電話番号:090-7017-3882(担当:武田)

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【技術資料】二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価

負極の断面構造・表面形状、活物質断面の元素マッピング像など複合的にアプローチ!

リチウムイオン二次電池の負極での容量低下の一因として、 活物質と電解液の界面反応により活物質表面に様々なリチウム塩化合物が 複合化したSEI(SolidElectrolyteInterphase)と呼ばれる被膜が 形成されることが挙げられています。 電池の性能向上のためには、SEI被膜の組成・厚み・化学結合状態の 制御が求められています。 当資料では、車載用電池の炭素系の負極活物質表面に形成されたSEI被膜を SEM,TEM,TEM-EELS,TOF-SIMS,XPSにより評価した事例を紹介しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 2次電池・バッテリー
  • 受託測定

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【分析事例】ESM-RISM法LIB電解液成分シミュレーション

電解液界面近傍の模式図や電解液中の溶媒和構造などを図を用いて詳しく掲載!

リチウムイオン二次電池の充放電過程において、電解液中及び負極との界面近傍では溶媒和の形成、脱溶媒和、電気二重層の形成、Liイオンの脱挿入など様々な現象が生じています。 当資料では、有効遮蔽媒質法とReference Interaction Site ModelをハイブリッドさせたESM-RISM法を用いて、電解液成分のミクロな分布をシミュレーションによって評価した事例をご紹介。 当手法は二次電池だけでなく、燃料電池、各種触媒反応や金属表面の 腐食・防食など広範な分野での応用が期待されます。 【掲載内容】 ■概要 ■データ ・負極(グラファイト)-電解液界面近傍の模式図 ・電解液中の溶媒和構造 ・負極-電解液界面近傍の電気二重層 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • リチウムイオン電池

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【分析事例】X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察

乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能!リキッドファンデーションの塗膜をマクロからミクロまで可視化

当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態を可視化。 X線CTでは非破壊かつ非接触で巨視的な形態を確認でき、クライオSEMでは さらに微視的な構造を観察することができます。 【特長】 ■リキッドファンデーション塗膜の内部構造を  巨視的な形態観察で評価可能 ■電子顕微鏡による詳細構造の観察では、  乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『TEMの基礎』『TEMの応用と事例』※希望者全員にプレゼント

高分子や半導体など、幅広い分野の研究開発に活躍するTEM(透過電子顕微鏡法)の基礎知識や分析事例を収録

TEM(透過電子顕微鏡法)は、薄片化した試料に電子を照射し、 試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 MSTでは、TEMの特徴や試料作製方法など基礎知識を掲載した『TEMの基礎』と 代表的な分析事例や他手法との複合解析例などを掲載した『TEMの応用と事例』を進呈中! 写真や図を用いてわかりやすく紹介した資料です。 【掲載内容(一部)】 <TEMの基礎>  ■TEM、STEMで何がわかるか ■TEM、STEMの特徴  ■試料作製方法       ■コントラストの要因  ■TEM、STEMの使い分け   ■超高分解能HAADF観察 <TEMの応用と事例>  ■分析事例   ・雰囲気制御&冷却下でのTEM分析   ・SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価   ・微細トランジスタの構造評価 ※小冊子をご希望の方は「お問い合わせ」より、  “カタログ送付希望”の欄にチェックを入れてお申し込みください。 (ダウンロードいただけるPDF資料は冒頭の数ページとなります)

  • その他顕微鏡・マイクロスコープ

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[MFM]磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じている漏洩磁場を測定し、磁気情報を得る測定手法です。

・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能 ・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能 ・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も同時に取得可能

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『X線・超音波を用いた非破壊分析の基礎と事例』※希望者全員に進呈

非破壊分析の手法(超音波顕微鏡法・X線CT法)の基礎的な解説や、代表的な分析事例を掲載

MSTは、非破壊検査の受託分析サービスを行っています。 実際の分析事例や、分析手法の基礎的な解説を掲載した冊子を ご希望の方全員に無料でプレゼント中です。 【掲載内容(一部)】 ■X線・超音波を用いた非破壊分析の手法紹介  ・超音波顕微鏡法  ・X線CT法  ・in situ X線CT測定 ■分析事例  ・炭素繊維強化プラスチック(CFRP)内部の繊維配向解析  ・発泡ウレタン内部の空隙率評価  ・発泡ゴムの引っ張り試験CT測定  ・電子デバイス内特異箇所の複合解析  ・トランジスタ内部の状態評価 など ※冊子をご希望の方は「お問い合わせ」より、  “カタログ送付希望”の欄にチェックを入れてお申し込みください。 (ダウンロードいただけるPDF資料は目次部分のみとなります)

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【分析事例】低分子シロキサンの定量分析

アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します

シリコーン製品からアウトガスとして発生するシロキサンは、揮発しやすく基板等に付着しやすい成分です。シロキサンが付着すると、光学系レンズの曇り、膜の剥離や密着不良、リレー回路の接点障害などの悪影響が出ることが知られており、シロキサンのアウトガス量を調査しておくことは重要です。 本資料では、シリコンチューブを200℃で加熱した際の環状ジメチルシロキサンの発生量を調査した事例を紹介します。。

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【分析事例】食品中の有機体・無機体炭素量測定

固体中の有機体・無機体炭素量を評価することが可能です

全有機体炭素測定計(TOC計)は、試料中の全炭素(TC:Total Carbon) 、無機体炭素(IC:InorganicCarbon)をそれぞれ分けて定量することが可能です。サンプルは水溶液にすることなく固体のまま測定することができます。 本資料では市販の膨張剤、塩に含まれるTOC、TC、IC評価事例を紹介します。

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【分析事例】化粧品の非破壊分析

X線CTにより製品の内部構造を非破壊で評価可能

X線CTは非破壊で試料の内部構造を測定できる分析手法であり、化粧品内部の異物、空隙、亀裂などの異常箇所の調査や、パール剤等の分散確認などの出来栄え評価に適しています。 本事例ではファンデーションや口紅をX線CTで測定し、内部の構造を非破壊で評価しました。

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【分析事例】C-SAMによる貼り合せウエハ内部の空隙調査

デバイス内部の構造を複合的に評価します

MSTでは電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。 本資料では、X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した事例を紹介します。まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索しました。続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて詳細な構造を確認しました。

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X線CT法

X-ray Computed Tomography

試料にX線を照射することで、試料内部構造の二次元透過像を取得します。また、試料を回転させた連続撮影データから、X線CT(Computed Tomography)像を構築します。 ・非破壊で、試料の内部構造や欠陥形状などの確認が可能。 ・3D像や任意箇所での断面像を構築可能。 ・X線エネルギーは30 kV~160 kVの間で設定できるため、有機材料から電子部品まで幅広く対応可能。 ・専用ステージにより、引張/圧縮や冷却/加温した状態で試料のX線CT測定が可能。 この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

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[SXES]軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法です。

・試料中の特定元素(特にB,C,N,O等の軽元素)に着目した化学結合状態の評価が可能 ・スペクトル形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映 ・X線吸収スペクトル(XAS)との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く(<1atomic%)、微量成分であっても評価が可能

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