セイコーフューチャークリエーションのニュース一覧

「第43回 ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2023」の商業展示に『FIBによるIC配線修正・回路修正 、FIB/TEMを用いた三次元断面観察による異物検出技術のご紹介』のテーマで出展いたします。 本展示会は半導体の各種場面で活用応用可能な様々な情報を入手できる絶好の機会です。 心よりお立ち寄りをお待ちしております。 【出展の概要】 　第43回 ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2023 　　●公式HP：第43回 ナノテスティングシンポジウム NANOTS 2023 　　●日時：2023年11月7日(火) 13:00~17:00 　　　　　　2023年11月8日(火) 9:30~17:00 　　　　　　2023年11月9日(木) 9:30～16:00 　　●会場：千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市) 　　●小間番号：21 　　●セイコーフューチャークリエーション出展内容： 　　 ・ICの配線修正加工 　　 ・プロービングPADの作製 　　 ・FIB-3D加工 TEM解析 　　 ・化合物半導体TEM解析

集束イオンビーム(Focused Ion Beam：FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。 また、FIB-SEMは高解像度のFE-SEM（電界放出形電子顕微鏡）を搭載しており、高分解能での観察と加工が同時に行えるのが特長です。 本動画はFIB-SEM(サーモフィッシャーサイエンティフィック社製：Helios5 CX)でSlice & Viewおよび3D構築の機能を使い『めっき不良の状況』を観察したものです。 Slice & Viewにより不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できています。

最新型集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）サーモフィッシャーサイエンティフィック製Thermo Scientiffic DualBeam装置Helios 5 CXを導入しました。 走査型電子顕微鏡の高分解能イメージングおよび集束イオンビームのミリング機能を兼ね備えており、高品質な表面下解析と3D解析が可能です。 元素分析装置(EDS)も付属しているため検出元素の3D解析も行えます。 本装置について詳しく知りたいとき、分析および加工の依頼やご相談などがあればお気軽にお問い合わせください。 ●メール:sfc-tr1@seiko-sfc.co.jp ●電話番号:047-391-2298