■対応ワークサイズは、6～12インチ（マルチサイズにも対応します。お問合せください） ■ジェット洗浄タイプは、有機溶剤を使用した処理も可能 ■スクラブ洗浄タイプは、汚れの程度や、フレーム材質などにより、スクラブ材の仕様を変更することが可能 ■テープ付きのダイシングフレームのテープ剥がし機能有り（オプション） ■上位通信対応可（オプション）

装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（最大９槽）→アンローダー ※乾燥は上記乾燥方式により選定

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■ワークは作業者による手載せ ■薬液昇温機能有り ■防爆ガラス等安全仕様有り ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ■裏面回り込み防止機能

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ■裏面回り込み防止機能 ■最大4チャンバーまで増設可能 ■上位通信対応可能

Amsonic-Hamo Groupは製薬、ライフサイエンス、MedTec産業を専門に効率的で 環境に配慮した洗浄装置の世界有数のメーカーです。 1957年に自動洗浄装置を発明し、洗浄機の開発、製造において経験豊かな100人以上の スタッフが在中しております。 オフィスはヨーロッパ内に4つの拠点があり、スイスとドイツに2つの製造拠点がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■クリーンローラーRY-705B 　・サイズ：W308×D1185×H1265±50mm 　・重量：140Kg 　・クリーニング有効幅：640mm 　・対象ワーク厚：0.1～2.0mm 　・搬送速度：0～18m/min（可変）　 　・パスライン：950±50mm　 ■クリーンローラーRY-505Z 　・サイズ：W308×D920×H1,265±50mm 　・重量：120kg 　・クリーニング有効幅：640mm 　・対象ワーク厚：0.1～2.5mm 　・搬送速度：0～18m/min（可変） 　・パスライン：950±50mm

【その他特長】 <RY-1106> ■細径の新型クリーンロールを使用 ■薄板やフイルムの除塵が可能 ■ギア部分からの微少発塵を抑制 ■サイズ：W220×D1,295×H1,325±50mm（RY-1106S） ■重量：110kg <RFC-705A> ■上下両面クリーニングタイプの2連型クローンローラー ■特殊クリーンロールと櫛歯バーを巧みに配置 ■サイズ：W308×D1,185×H1,265±50mm ■重量：150kg <RF-705A> ■特殊クリーンロールとワーク搬送用コロを巧みに配置 ■薄物ワークの巻き込みを防止 ■サイズ：W398×D1,185×H1,265±50mm ■重量：170kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■クリーニング有効幅：50～2,600mm（実績）　 ■搬送速度：Max250m/min　 ■入力エア圧力：0.5Mpa　 ■エア使用量：10L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。