除振装置

微細化、大型化への傾向が急速に進む半導体・液晶産業・・・。今日では、精密機器の設置に際して振動制御技術(除振技術)が、品質と生産性に直結するテクノロジーとして採用されていることは周知の事実です。21世紀初頭の半導体量産体制は、｢ナノ(10-9 )テクノロジー時代｣といわれ、振動制御の技術力のレベルが問われる時代に入っています。複雑な振動源対策や精密機器の特性に応じた除振対策など、豊富な実績を誇る特許機器では、ハイテク工場の全過程で発生する振動問題に対して、アクティブ除振技術を初めとする先進の技術で最適な解決策を提案しています。