セラの製品・サービス一覧

フッ素樹脂製「熱交換器」は、SUPER PFAを伝熱管に使用している、従来品よりも高耐久の熱交換器です。 従来品よりも分子末端基の安定化や結晶化度が高く、溶出フッ素イオン濃度の低減、TOC (全有機炭素量)の減少、耐透過性、耐浸透性の向上、および機械特性が改善され、さらに表面が平坦になっています。 伝熱管は、性能と安全をふまえ厚みを1mmを確保し、伝熱管径はφ6mm、φ8mm、φ10mm、φ12mmから選択可能です。 熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが最大のポイントです。 【詳しくはカタログダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください】

• 熱交換器

接液部は全てＰＦＡのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

SUPER　PFAを伝熱管に使用しております。 高純度薬液の加熱・冷却に最適です。

• 熱交換器
• エッチング装置
• ウエハ加工/研磨装置

（水動作タイプ） 　水動作タイプアスピレーターは、水流ポンプとも呼ばれ、水を流すことにより負圧を作り、液体や気体を吸引します。 　■用途例・・・液体の希釈、移動気体の排気 （空気動作タイプ） 　空気動作タイプアスピレーターは、空気を流すことにより負圧を作り、液体や気体を吸引します。 　■用途例・・・液体の移動、気体の排気

• 配管材

液体の希釈や移動に最適なＰＶＣ製アスピレーター （水動作タイプ） 　水動作タイプアスピレーターは、水流ポンプとも呼ばれ、水を流すことにより負圧を作り、液体や気体を吸引します。 　■用途例・・・液体の希釈、移動気体の排気 （空気動作タイプ） 　空気動作タイプアスピレーターは、空気を流すことにより負圧を作り、液体や気体を吸引します。 　■用途例・・・液体の移動、気体の排気 （特長） ●オールＰＶＣ製であり優れた耐薬品性とコストパフォーマンスを持っています。 ●高効率 ●作動圧力範囲が広い ●吸引能力が大 ●フランジタイプやＰＴネジタイプも製作可能 ●特注品も製作いたします。

• 配管材

接液部は全てPFA樹脂で出来ています。インライン（貯液槽無し）で、目的の精度を確保します。

• その他環境機器

−

• その他ヒータ
• その他半導体製造装置

−

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター　フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします

• 加熱装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

○薬液供給装置の設計・製作においても豊富な実績を持っております○ ○基本仕様をご提示いただきましたら使い勝手のよい製品をお届けいたします○ ○お気軽にお問い合わせ下さい○

• その他半導体製造装置
• 配管材

間欠吐出高精度温度調節に最適！薬液定温吐出装置 【特徴】 ○高い精度に温度調節した薬剤をワンパスでユースポイントに供給 ○薬液の間欠吐出に威力を発揮 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置

薬液供給装置とユースポイントの間にセットするだけで希望の温度、 インターバルで薬液を供給可能！ 【特徴】 ○簡単に安定した温度調節が可能 ○小型だから場所をとらない ○装置への組み込みが簡単 ○接液部スーパーPFA、仕様薬品を高純度に保つ ○可動部分がなく、メンテナンスフリー

• エッチング装置
• その他半導体製造装置

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです シェル＆チューブ　ラウンドタイプ 【特徴】 ○シェル材質　ＳＵＳ ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい

• 冷却装置
• 熱交換器

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです シェル＆チューブ　ストレートタイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい

• 熱交換器

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです タンク取付タイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい

• 熱交換器

熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが 最大のポイントです 投げ込みタイプ 【特徴】 ○ＳＵＰＥＲ　ＰＦＡを伝熱管に使用 ○高純度薬液の加熱・冷却に最適 ●豊かな技術を持つＳＥＲＡでは全部で５型ご用意しています ●詳細は、カタログを参照して下さい

• 熱交換器
• エッチング装置

ＰＴＦＥ／ＰＦＡ製品 プロセスで使用する、機器の設計・製作を行います ○インチサイズコイルチューブ ○３リッター秤量ビン　 ○１０リッター秤量ビン　 ○ＰＦＡ保護管 ○ダイアフラム ○ＰＦＡプラグバルブ ○ＰＴＦＥピストンバルブ ○ＰＴＦＥベローズ ●既製品がない、仕様がぴったり合わない、などの不満を解消いたします 　お気軽にお問い合わせ下さい

• その他

液晶パネル製造などに使用する現像液、剥離液・溶剤の加熱に特化したヒーター 【特徴】 ○表面温度の均一性と安全対策に充分対処 ○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる ○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が 　発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが 　ご要望に合わせ、ＪＩＳフランジ、特殊フランジに対応可能です 　お気軽にお問い合わせ下さい

• その他ヒータ
• 加熱装置
• エッチング装置

ケーシングとヒーター本体は分解可能な構造でクリーン処理や メンテナンスが容易 【特徴】 ○ガスと接触する部分はＥＰ研摩処理を施したＳＵＳ３１６を使用 ○素材が金属（ＳＵＳ）とフッ素樹脂（ＰＦＡ）なのでショックに強く 　取扱いが容易 ●ガスは熱容量が小さいため、ヒーターで加熱してもユースポイントまで 　配管があればすぐに温度が下がります 　ヒーターの設置、配管形状、保温配管など目的に沿った対応が可能です 　お気軽にお問い合わせ下さい

• ガス発生装置

ふっ素樹脂、熱のエキスパートＳＥＲＡ社の利便性の高い製品を掲載した総合カタログを今なら無料進呈中。

• その他理化学機器

単純な角槽からオーバーフロー角槽まで様々な形、サイズに対応いたします。

• その他プロセス制御
• その他半導体製造装置

フッ素樹脂製「熱交換器」は、SUPER　PFAを伝熱管に使用、従来品よりも分子末端基の安定化や結晶化度が高いことにより、溶出フッ素イオン濃度の低減、TOC (全有機炭素量)の減少、耐透過性、耐浸透性の向上、および機械特性が改善され、さらに表面が平坦になっています。伝熱管は、性能と安全をふまえ厚みを1m mを確保し、伝熱管径はφ6m m、φ8m m、φ10 mm、φ12 mmから選択可能です。熱交換器を計画する場合、使用条件をいかに的確につかむかが最大のポイントです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

• 熱交換器