高速レーザデテクトユニットALT-9470は高速スキャン用に開発された計測用トリガセンサです。ポリゴンスキャナ， 走査ユニットのジッタ測定に使用でき、アナモルフィック光学系により面倒れの影響を受けません。

光ＭＥＭＳスキャナシステムは小型、省電力、長寿命と従来の機械スキャナに無い特徴を持っています。また１次元だけでなく２次元も１ユニットで構成でき、ディスプレイ、計測への応用が可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） 　　測定分解能　　１マイクロｍ 　　測定範囲　　３０分 　　ビーム速度　　毎秒４０００ｍ以下 ○ジッタ測定（２点間タイムインターバル検出方式） 　　設定位置　　任意設定（プラスマイナス５０度） 　　測定分解能　　０．１ｎｓ ○最大振角計測　　測定分解能　０．１ｎｓ ○共振周波数　　測定分解能　０．１ｎｓ ○温度　　測定分解能　０．１度

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学電気特性を測定する 『ＭＥＭＳスキャナ計測システム　ＡＴＬ-9A44』のご案内です。 【特長】 ・ＭＥＭＳ光学スキャナの光学・電気特性を測定 ・レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能 ・最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮化 ・インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能 ・コンパクト設計でインライン検査に最適 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。