仕様 センサ 高速シリコンＰ Ｉ Ｎ フォトダイオード 受光エリア φ ０ ． ８ ｍ ｍ Ｉ Ｖ 変換 超高速オペアンプ コンパレータ 高速Ｔ Ｔ Ｌ 変換 レベル設定変更可 出力形式 Ｔ Ｔ Ｌ レベル ５０ Ω ドライバ 出力電圧 ２ Ｖ 以上 ５ ０ Ω 負荷にて 出力論理 正論理 負論理設定可 電源電圧 ± ５ Ｖ ± １ ０ ％ 電源リップル １ ０ ０ ｍ Ｖ ｐ － ｐ 以下 電源電流 １ ０ ０ ｍ Ａ 以下 ±電源とも 受光パワー １ ｍ Ｗ ± ５ ０ ％ 設定変更可 出力コネクタ Ｂ Ｎ Ｃ サイドアングル ストレート変更可 電源コネクタ ５０４６－０３Ａ モレックス製 受光波長 ５ ０ ０ － ９ ０ ０ ｎ ｍ 検出精度 １ｎＳ以下 所定スポット, 速度にて 受光位置変動許容 ± ２ ｍ ｍ 以上 アナモルフィックレンズ 検出方向 双方向 センサ移動範囲 ± ５ ｍ ｍ 水平， 垂直とも

【主な特徴】 ○小型 ○省電力 ○長寿命 【その他の特徴】 ○１次元だけでなく２次元も１ユニットで構成でき、ディスプレイ、計測への応用が可能です。 ○合わせて光学設計シミュレーションや高速レーザ駆動技術のオプトメカトロニクスによって 　 最適の光ＭＥＭＳスキャナシステムを構築することができます。 ○設計シミュレーション、原理試作、量産試作、量産設計と要求に合わせたステージでの対応が可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） 　　測定分解能　　１マイクロｍ 　　測定範囲　　３０分 　　ビーム速度　　毎秒４０００ｍ以下 ○ジッタ測定（２点間タイムインターバル検出方式） 　　設定位置　　任意設定（プラスマイナス５０度） 　　測定分解能　　０．１ｎｓ ○最大振角計測　　測定分解能　０．１ｎｓ ○共振周波数　　測定分解能　０．１ｎｓ ○温度　　測定分解能　０．１度

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学電気特性を測定する 『ＭＥＭＳスキャナ計測システム　ＡＴＬ-9A44』のご案内です。 【特長】 ・ＭＥＭＳ光学スキャナの光学・電気特性を測定 ・レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能 ・最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮化 ・インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能 ・コンパクト設計でインライン検査に最適 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。