日本フッソ工業の会社概要

ちょうど良い表面抵抗で電子デバイスの破損を防止します

ESD対策用途で推奨される中抵抗（１E＋6Ω≦ Rs（表面抵抗） ＜１E＋10Ω）を実現したフッ素樹脂コーティングです。 優れた静電気拡散性で放電・帯電による電子デバイスの破損を防止します。 ＜主たる用途例＞ ・半導体製造装置向けハンドアーム類 ・真空チャック ・リフトピン ・ウェハ搬送設備　　　　　　　　　など ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします！」

石英にフッ素樹脂コーティング・ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。 １．コスト削減：薬液から製品を守り石英基材の寿命延長が期待されます。 ２．パーティクル防止：ウエハの接触による石英の摩耗をなくし、パーティクル防止効果が期待されます。 ３．石英、ウエハの破損防止：柔らかい素材なので石英とウエハの接触による破損防止効果が期待されます。 ４．液切れ性向上：撥水性が高いことから、薬液の残留が少なくなり、洗浄コストの削減は勿論、洗浄液が汚れにくくなるのでコスト削減が期待されます。 ５．高純度性向上：石英基材から発生する金属イオンの発生を防ぎ高純度性の向上が期待されます。