スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート 常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」 半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。

超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現 ■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能 ■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms ■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性 ■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能

接液・接ガス部の材質：316L ステンレス鋼および次世代PTFE／コンパクトで、さまざまなタイプのマルチバルブ／マルチポート・ボディ／エンド・コネクション：サニタリー・クランプ継手、突き合わせ溶接など／アクチュエーター（空気式、手動式）の材質：プラスチック、アルミニウム／サイズ：1/2 インチ、3/4 インチ、1 インチ、1 1/2 インチ、2 インチ

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。

材質：ステンレス鋼、炭素鋼、2相ステンレス鋼／最高使用圧力：ASME B16.5 準拠／ フランジ接続：ASME B16.5 適合／ ボール･バルブ内径サイズ：9.5 mm から 50.8 mm まで

一般用／特殊用ボール・バルブ　60シリーズは、高い信頼性とメンテナンスの軽減を考慮して設計されており、広範な用途に対応可能な多様性を備えています。 独自のコーン・ディスク・スプリング式シート、2ピース構成のライブ・ロード式シェブロン型（山型）ステム・パッキンを搭載したプロセス／計装用3ピース型60 シリーズ・ボール・バルブは、信頼性が高くメンテナンスの頻度を低減することができます。

多目的用AFSボール・バルブ（2方タイプ）は、流量係数（Cv値）が13.8まであり、大流量および高圧への対応が必要な圧縮天然ガス、水素や他の一般産業用途での使用に適合します。 低トルクでの操作可能で、パッキンの調節が不要です。 またECE R110、NGV 3.1、NGV 4.6に準拠しており、水素および圧縮天然ガス（CNG）用途にも適しています。 【特長】 ■ 最高使用圧力：41.3 MPa ■ 流量係数（Cv 値）：4.0 から 13.8 まで ■ エンド・コネクション：Swagelok チューブ継手（インチ・サイズ・タイプ、ミリ ･ サイズ・タイプ）、管用ねじ（ISO、 NPT） ■ ボディおよびエンド・コネクションの材質：316 ステンレス鋼 ■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式

■手動操作の他に、標準のSwagelok製またはISO 5211準拠のラック・アンド・ピニオン式空気式アクチュエーターでも使用可能。 ■サイズは、１／４インチ（６ｍｍ）と３／８インチ（８ｍｍ）。 ■その他の供給可能なオプションには、低温用途、サワー・ガス（硫化水素）用途などがあり。 ■最高使用圧力は４１．３ＭＰａ、使用温度範囲は−４０℃〜１５０℃。 ■ 低排出認定 （API 624）の取得が可能

開閉用の2方弁から流路切替用、クロス・オーバー用のさまざまなコンフィギュレーション、使用温度範囲は−53℃から148℃(サイズや形状により異なります)、最高使用圧力は20.6MPa(サイズや形状により異なります)まで 使用可能です。 手動型に加えて、ISO5211準拠の空気式アクチュエーターや電気／空気作動式ソレノイド・バルブ、ポジション・インジケーターやリミット・スイッチなどのオプションが選択可能です。

リーク・ポイント数を削減するほか、液面用や差圧用などのニーズに合わせて、2バルブ、3バルブ、5バルブを ひとつのボディに組み込むことでコンパクト化を実現するSwagelokマニホールドをご利用ください。 【特徴】 ■ 計装用マニホールド V／VB／VLシリーズ（2バルブ／3バルブ／5バルブ） ■ ダイレクト・マウント用マニホールド VEシリーズ（2バルブ／3バルブ／5バルブ） ■ リモート・マウント用マニホールド（2バルブ） ■ 計装用モジュラー85システム

分岐マニホールド　J6シリーズは一体型ボディで、最高使用圧力は41.3MPaです。 軽量ながら高い強度を実現しています。 従来の分岐マニホールドに比べてリーク・ポイント数を削減し、 4～18個のニードル・バルブに対応します。 硬化ステンレス鋼製無回転ステム式ニードルで、確実な締め切りを行います。

1 個のコンパクトなモジュール内に、ダブル・ブロック／ブリード（DBB）機能を搭載／NPT ねじやMPC（ANSI ／ ISA 76.00.02 準拠）に適合／ 最高システム圧力：1.72 MPa（アクチュエーター作動圧力が0.28 MPa の場合）／ 内蔵式フロー・ループにより、出口の流れが一定／ 一目で開状態を確認できる大型のインジケーター・リング

圧力逃がし弁は、過剰圧からシステムを保護し、さまざまな設定圧力を選ぶことができます。 ブリード･バルブおよびパージ・バルブを使用すると、シグナル・ラインの圧力を大気中へ排出する必要があるアプリケーションにおいて、圧力のブリード，ベント、ドレンを手動で行うことができます。

■ ボディ・接液・接ガス部の材質に、次世代PTFEおよびPFAを採用 ■ SEMI F57-0301 に適合 ■ エンド・コネクションに、スーパー300タイプピラーフィッティング(R)※またはフレアー継手が供給可能 ※ スーパー300タイプピラーフィッティング(R)は日本ピラー工業株式会社の登録商標です。

MPCシリーズは、ANSI/ISA規格に準拠したミニチュア・モジュラー・デザインであり、従来のチューブ配管で行うプロセス分析機器、および試料採取システムに比べ、これらシステムの寸法、重量、流路の容積を減少させることが可能となります。 また、MPCシリーズの設計とコンポーネントの選定が簡略化できるCD-ROMソフトウェア・プログラム「MPCシステム・コンフギュレーター」により、材料仕様書や組み立て図の作成ができ、組み立てから発注までが容易に行えます。MPCシステムを導入することで、システム設計者は、プロセス分析機器、および試料採取におけるシステムのデザイン、構築、ならびにメンテナンスのコストを削減できます。

スウェージロックでは、クラッキング圧力調節可能型およびクラッキング 圧力固定型の逆止弁を取り揃えています。また、Swagelok（R）エクセス・フロー・バルブ(過流防止弁)は 二次側のシステム流体の過剰流出を防止することで、システムの整合性や安全性を高めます。 逆止弁 C／CA／CH／CP／CPAシリーズ　圧力調節可能型 ■ 最高使用圧力：41.3 MPa ■ クラッキング（吹き出し）圧力：調節可能型／固定型 ■ 豊富なエンド・コネクション ■ 材質：316ステンレス鋼、真ちゅう

ブリード・バルブ／パージ・バルブは、シグナル・ラインの圧力の大気中への排出や、制御装置の校正補助を行います。 ブリード・バルブ ■ 最高使用圧力：68.9 MPa ■ 最高使用温度：454℃ ■ 材質：316ステンレス鋼、炭素鋼、合金400、合金C-276 パージ・バルブ ■ 最高使用圧力：27.5 MPa ■ 最高使用温度：315℃ ■ 材質：316ステンレス鋼、真ちゅう、炭素鋼

Swagelok(R)クイック・コネクツは押し込むだけで容易に接続することができます。 着脱時のひねり、回転、レンチ操作は不要です。クイック・コネクツは、着脱時のスピリッジ（流体流出量）や 空気混入量を最小限に抑えます。さまざまな形状、ステム［シングル・エンド・シャット・オフ（SESO）型またはダブル・エンド・シャット・オフ（DESO）型］、ボディ、および各種エンド・コネクションを選ぶことができます。 モデル： ・フル･フロー型 ・計装用 ・ミニチュア ・PTFE製シール式

ベローズ・シール・バルブは、パックレス構造および溶接シールを採用することで、信頼性が高く漏れの無い性能を発揮し、特に大気へのシールが重要な場合に大気への漏れを防止します。 一般用途および高純度用途向けに、さまざまな型式、ステム・チップ材質、流量係数（Cv値）範囲、エンド・コネクションを選ぶことができます。

スウェージロックでは、エアー・アクチュエーター、ソレノイド・バルブ、リミット・スイッチ、ポジション・センサーなど、計装用／プロセス用ボール・バルブの性能や制御性を向上するアクセサリーを豊富にご用意しています。 特徴 ■ ラック・アンド・ピニオン式エアー・アクチュエーター、ソレノイド・バルブ、リミット・スイッチ ■ ISO5211準拠のエアー・アクチュエーター、ソレノイド・バルブ、リミット・スイッチ、ポジション・センサー ■ アクチュエーター付きボール・バルブ・アセンブリーまたは単品（キット）

特長 ■ 最高使用圧力：68.9 MPa ■ エンド・コネクション・タイプ：Swagelok チューブ継手、NPT ねじ ■ エンド・コネクション・サイズ：1/8 インチから 1/2 インチまで、6 mm から 12 mm まで ■ 材質：316 ステンレス鋼 スウェージロックでは、フル・フロー型、計装用一体型、3ピース型プロセス用、トラニオン型、多目的用（代替燃料用または汎用）のボール・バルブを取り揃えています。

ベローズ･シール･バルブ — メータリング・ベローズ・シール・バルブ（微量流量調節用）、BMシリーズ — ストレート型 パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が 重要になる用途に最適です。

パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が重要になる用途に最適です。当社は、一般用／高純度用にさまざまなオプションをご用意しております。

シンプルでコンパクトな設計でフル・フローおよび確実な締め切りを実現するスウェージロック1/4回転式プラグ・バルブを使用すれば、低トルクかつ1/4回転で開閉することができます。 1/4回転式プラグ・バルブは、経済的ながら信頼性の高いボール・バルブの 代替品で、さまざまな材質のボディ / シールをご用意しております。

パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が重要になる用途に最適です。 当社は、一般用／高純度用にさまざまなオプションをご用意しております。

高純度用ベローズ･バルブ、BNシリーズ — ストレート型 パックレス設計および溶接式シールを搭載したSwagelokベローズ・バルブを使えば、システム流体に触れないようにし、高い信頼性とリーク・タイト性能を実現することができます。 ベローズ・バルブは、外部への漏れ防止が重要になる用途に最適です。 当社は、一般用／高純度用にさまざまなオプションをご用意しております。

一般用途や高純度用途において逆方向の流れを調節するスウェージロック逆止弁は、さまざまなクラッキング圧力調整可能型およびクラッキング圧力固定型をご用意しております。

ALD（原子層蒸着）プロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められます。 スウェージロックの「原子層蒸着（ALD）用バルブ」は、長寿命を実現し、高速かつ再現性に優れた性能を発揮。より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも優れています。 ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。

一般用途、高純度用途において逆方向の流れを調節するスウェージロック逆止弁は、 さまざまなクラッキング圧力調整可能型およびクラッキング圧力固定型をご用意しております。

ボンネット一体型ニードル・バルブはコンパクトなニードル・バルブで、幅広いサイズ、形状、材質を ご用意しており、さまざまな用途でご利用いただけます。 特長 ■ ライブ・ロード式パッキン ■ コンパクトなデザイン ■ 最高使用圧力：41.3 MPa ■ 最高使用温度：315°C

分析または開発用途など、正確な流量制御が重要となる状況において、スウェージロックのメータリング・バルブは、低圧/高圧、および低流量/中流量/大流量用途の微調整を行うことができます。 S ／ M ／ L ／ 31 シリーズ ■ 流量係数（Cv 値）： 0.004 から 0.16 まで（ストレート型の場合） ■ モデル：低圧型／高圧型 ■ ハンドル各種（バーニア・ハンドルもございます） ■ 材質：真ちゅう、 316 ステンレス鋼

ユニオン・ボンネット構造のニードル・バルブには、さまざまな材質のバルブがございます。 最高使用圧力は68.9 MPa、最高使用温度は648℃です。 Nシリーズ／HNシリーズ ■ 最高使用圧力 ： 68.9 MPa ■ 使用温度範囲 ： PTFE 製パッキンの場合 ： 253°Cから232°C まで Grafoil(R) 製パッキンの場合 ： 648°C まで ■ 材質：316 ステンレス鋼、 316 ／ 316L ステンレス鋼（デュアル・グレード品）、合金 400、合金 20、合金 600、 合金 C-276、チタニウム

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 LD シリーズ ■ 最高使用圧力：2.06 MPa ■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 ■ ボディ材質：ステンレス鋼（ 鋳造製／鍛造製／バー・ストック製） ■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mm から25 mm まで

ニードル・バルブには、さまざまなステム・デザイン、フロー・パターン、材質、エンド・コネクションが揃っており、幅広いアプリケーションで信頼性の高い流量制御を行います。 特長：無回転ステム式ニードル・バルブ　Dシリーズ ■ 最高使用圧力：20.6 MPa ■ 最高使用温度：232°C （PEEK 製ステム・チップの場合） ■ 材質：ステンレス鋼、真ちゅう、合金 400

昇プラグ型バルブは、細い棒などでクリーニングが可能なストレート・スルー（まっすぐな流路）形オリフィス、 ゲージ・ポートを特徴としており、豊富な材質オプションにより、さまざまなシステムに対応することができます

特徴 ■ 材質：ステンレス鋼 ■ ステム・デザイン：無回転ボール型、プラグ型 ■ 細い棒などでクリーニングが可能（プラグ型ステム・チップ） ■ 断熱被覆用エクステンション付きボディ（ボール型ステム・チップ）により、断熱材使用の際に、 　ハンドル操作やパッキンのメンテナンスを妨げることのないよう、断熱材との間に必要な間隔を確保 ■ エンド・コネクション・タイプ（サイズ）：　NPT おねじ（1/2 インチ、 3/4 インチ）－NPT めねじ（1/2 インチ） ■ ゲージ・ポート：1/2 インチ・サイズ NPT めねじ（標準） ■ スケジュール 160 以上のパイプ肉厚（バルブ一次側の継手）で、強度を確保 ■ ボンネット・ロック・プレート付き（標準）

ニードル / メータリング・バルブ（微量流量調節用） — トグル･バルブ — アングル型、手動式アクチュエーター 特長 ■ 手動式／空気作動式 ■ フロー・パターン：ストレート型、アングル型、クロス型 ■ ボディ材質：316 ステンレス鋼、真ちゅう

DL シリーズ/ DS シリーズ ◆特徴 ■パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属 ■使用圧力範囲:真空から 24.1 MPa まで ■使用温度範囲:273°C から 121°C まで

スウェージロックのダイヤフラム・シール・バルブを使えば、高純度システムや超高純度システムにおけるニーズに対応することができます。ダイヤフラム・バルブは、幅広い用途向けに、さまざまなサイズ、材質、形状を ご用意しております。 【特徴】DP シリーズ ■ 超高純度用 ■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼 ■ モデル:低圧型、高圧型 ■ エンド・コネクション・タイプ:VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル ■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を 最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、 原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。

バルブ・セレクション・ガイド ALD／BN／DF／DL／DS／DP／HB シリーズ ■ベローズ・シール・バルブ ■ダイヤフラム・バルブ ■マルチポート・バルブ ■エルボー・バルブ モノブロック型マニホールド 宇宙の果てから海底に至るまで、スウェージロックのバルブは過酷なアプリケーションで漏れのない締め切りを実現し、その高い性能は長く使用し続けても変わりません。厳密に管理された製造方法によって実現した耐久性の高さで定評のあるスウェージロックのバルブは、優れたパフォーマンスを発揮し、過酷なアプリケーションで長く使用し続けても、その信頼性が損なわれることはありません。

ベローズ・シール・バルブ メンテナンス・キット ■ ベローズ・キット ■ ステム・チップ／アダプター・キット ■ ベローズ／ステム／ステム・チップ／アダプター・キット ■ ガスケット・キット