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ピエゾドライバ
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】 ○超小型 ○高速応答 →自己共振周波数の1/3 ○大発生力 3500N/cm2 ○圧電効果を利用 ○電気的エネルギー（電圧）を変位や力などの機械的エネルギーに変換 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○ナノメートル高分解能動作 ○ミリ秒高速応答 ○ローコスト ○小型で多軸構成が可能 ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○ナノメートルの高分解能動作 ○ミリ秒高速応答 ○ローコスト ○小型で多軸構成 ○透過窓（φ15）付き ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○高い変位分解能 ○一体ヒンジによる優れた直進性 ○小型・長ストローク ○摩擦のない動作を実現しており真直性に特化 ○ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○ミリ秒高速ステップ応答 ○高安定な位置決め ○各種対物レンズねじに対応 ○長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
○ナノメートル位置分解能 ○弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作 ○高速応答・高剛性を重視 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○ナノメートルの高分解能動作 ○3軸ロングストローク ○ローコスト ○XY軸、XYZ軸タイプを取り揃え ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○薄型：6mm ○透過窓：□15mm ○各種顕微鏡 ○XY高速スキャニング試験装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。変位センサー内蔵タイプはコントローラーと組合せることでの高精度なコントロールが可能です。
○粗動モードストローク 8mm（X軸）・3mm（Z軸） ○小型軽量 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
【仕様】 ○本体重量(g)：270 ○寸法(mm)：80×60×33 ○ケーブル長(mm)：700 ○保持力(N)：4 ○コネクタ：真空対応 19pin ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○θy・θzの2軸駆動 ○高速応答 ○高精度位置分解能 ○レーザーシステム ○スキャニング（走査）装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】 ○2軸振れ角3mrad ○ミリ秒高速応答 ○高分解能 ○ピエゾアクチューエータを内蔵 ○θx・θy の2 軸駆動 ○光学ミラーなどの精密角度制御に最適 ○ご用途に合わせたカスタマイズ等にも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。 長期間にわたりメンテナンス不要。 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
変位拡大機構を内蔵しています。
【特長】 ○ミリ秒高速ステップ応答 ○高精度位置分解能 ○ピエゾアクチューエータを内蔵 ○窓口径は4インチ相当 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】 ○ミリ秒高速応答 ○高精度位置分解能 ○ピエゾアクチューエータを内蔵 ○窓口径は6インチ相当 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
精密加工機のバイト精密位置決め
○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○変位クローズド制御可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○耐油構造 ○高速応答 ○高精度位置分解能 ○ピエゾアクチューエータを内蔵 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決めが可能です。
【特長】 ○高速応答 ○高精度位置分解能 ○積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケースに内蔵 ○低コスト ○短納期 ○形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
サブナノメートルオーダーの高分解能動作とミリ秒高速応答性が特徴
予圧機構により引張力も発生できる。
1軸・2軸・3軸ピエゾステージ
ステージ移動中ほとんどブレずに光学部品等の位置調整が行えます。
【使用環境】 ○0～80° ○85％RH 以下（結露なきこと） ○直射日光の当たらない環境 ○腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 ○精度を保つため測定時には常温、一定環境で使用のこと ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
きわめて高分解能、非接触での変位測定。 高速応答、周波数特性切替え可能。 装置組込に最適。 オプション 縦置きスタンド
・DC～1MHｚまでの広帯域特性 •USBインターフェースを搭載する事で、PCからの制御も可能です
精密ポテンショメータを採用。デジタルパネルメータを見ながら任意の値に設定できます。
用途・予算に応じて、入力系統やチャンネル数、出力電圧などを選択することが可能です。 出力電圧は5種類のタイプから選択可能。 JISラック搭載可能（標準装備） オプション：チャンネル数の増設可能。
•ローコストながら高性能。 •大容量のピエゾアクチュエータを高速駆動可能。 •安定な外部制御可変電源としても利用可能。 •OEM専用M-2501と同等のアンプが搭載されているので、M-2501採用の予備実験に最適です。
○出力ON/OFF時、緩やかに所要の電圧まで出力 →ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護 ○クローズド制御可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
静電容量センサー、ひずみゲージセンサーに対応 低ノイズ 4.5桁デジタル表示器付（変位、電圧を切替え可） 本体のダイヤルでオフセット電圧の微調可能 高速駆動可能(平均電流500mA) 出力ON/OFF時、緩やかに所要の電圧まで出力します。これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。
静電容量センサー、ひずみゲージセンサーに対応 低ノイズ 5桁デジタル表示器付（変位、電圧を切替え可） 本体のレバーでオフセット電圧の微調可能 パネル面でセンサーゲイン、積分字定数、フィルタの調整可能 USBインターフェースを追加可能（オプション）
静電容量センサー、ひずみゲージセンサーに対応 ローコスト 低ノイズ 装置組込み可能 USBインターフェースを追加可能（オプション）
○電源：AC100V 50Hz／60Hzインレット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】 ○充実した機能 ○超安価 ○ＤＣ１２Ｖ駆動 ○2つのタイプ →直流電源駆動型：M-2501-1 →高出力型：M-2503 ○ケース単位の販売 ○オプションが充実 →チャンネル数、形状、その他特別なオプションに対応 ○使用温度範囲：-10度から+50度 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
大容量のピエゾアクチュエーターを高速で駆動するのに適しています
放熱用のFANを使用していないため非常に静かです。
出力電圧0～150Vです。 驚きの低価格！ [専用ACアダプタ 別売］
各種保護回路を内蔵。 周波数特性 ～100KHz ピーク電流±15A により高速パルス駆動にも対応。
検査、搬送、位置決め工程などの自動化に。提案例の紹介資料進呈
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