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当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。
機種（2501-1/2502-1/2503)から ご要望にあう機種を選択することができ、低速（数10Hz以下）のステージ駆動から、高速大電流駆動まで、ほとんどのご要望にお応えできると存じます。チャンネル数、形状、その他特別なオプションにお応えできます。変位計を併用して、位置のフィードバックをかけるオプションも用意しております。
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 0～+1000V オープンループ制御
大容量のピエゾアクチュエーターを高速駆動可能 チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 ±300V
超小型ピエゾドライバ オープンループ制御
ピエゾドライバ オープンループ制御 チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -15V～150V
オープンループ制御 チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 ±150V
小型で縦置きタイプ。狭い卓上でも設置可能です。 （M-2647後継機）
IoTデバイス開発・運用の課題を解決。各ポイント解説資料を進呈
