【仕様】 ■筺体：ステンレス製（SUS430） ■吹出風量：吹出口に於いて、0.35m/sec.20％ ■寸法：1180W×575L×230Hmm ■電源入力：AC200V 3φ 60W ■ファイナルフィルタ：HEAPA・ULPA・ケミカルフィルタ対応可 ■送付機：低騒音タイプ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 環境対策・リサイクル
• クリーンルーム
• 空気清浄機

【仕様】 ■外形寸法：650×650×650 ■吹出し口寸法：575×575 ■筐体材質：アルミ・メラミン焼付塗装仕上げ ■ファイナルフィルタ：HEPA 型式 AL-610×610×69 ■プレフィルタ：ナイロン不織布（325×325×10） ■性能 　・捕集効率：0.3μmに於いて99.97%以上 　・風量：8m3/分（9m3/分）50Hz（60Hz） 　・騒音：59db以下 　・電源：AC100V 1φ 50/60Hz（入力コード5m付） 　・消費電力：82VA/106VA 　・重量：16kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 環境対策・リサイクル
• 空気清浄機
• クリーンルーム

【CS型　ろ材仕様】 ■CS-C ■CS-A ■CS-K ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 環境対策・リサイクル
• その他 分析・検査機器
• クリーンルーム

【掲載製品】 ■連続環境測定機器 　・TG-510（H2S計） ■CS型ケミカルフィルタ ■MTCS型ケミカルフィルタ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 環境対策・リサイクル
• クリーンルーム
• その他 計測・測定機器

【仕様】 ■寸法：850Wｘ1,000Dｘ2,700H ■ジェット風速：25m/sec ±20％ ■エアー吹出し：ジェットノズル（8箇所） ■本体：鋼板製焼付塗装仕上 マンセル7.5Y9/1（フッ素樹脂焼付け塗装） ■周囲：帯電防止ビニールカーテン ■使用電源：3φ　200V　0.75KW（50/60HZ） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他 品質管理・衛生対策
• クリーンルーム

〜装置近くのクリーンルームと用力室間の壁（扉）にドッキングしてください〜 〜簡単にエアーシャワーの設置ができます〜 〜不要になったら撤去も簡単〜 ◆製品特徴◆ ・キャスター付き ・支柱をダクトとして採用 ・省スペース設計 ・狭い場所もＯＫ ・低価格 ・用力室側は三方向通行も可能（オプション） ・ 簡易型でもジェット風速、風量は劣りません

• その他環境機器

◆製品特徴◆ ・清浄度の要求される設備、環境に取付ける事により、クラス１００のクリーンエアーを 　供給することが出来ます ・電源入力はＡＣ１００Ｖと扱いやすく、汎用性も高く、コストパフォーマンスにも優れています ◆詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい◆

• ガス回収/処理装置

空気中の酸・アルカリ・有機物成分を除去するケミカルフィルター 地球磁場が変動することにより影響を受ける設備を守る、磁気シールドクリーンルーム。 ３００φウエーハの運搬ボックスの開閉装置ＦＯＳＢオープナーでは世界１の実績を持っております。

• その他加工機械

◆製品特徴◆ 　・通気性に優れたフィルタが圧力損失を極めて低く抑える 　・イオン交換樹脂が酸、アルカリガスを逃がさない 　・フィルタが今までにない長寿命 　・粒状活性炭が高沸点有機ガスを吸着 　・サイジング加工が容易なメディアなので、ユーザーに合わせた自由な設計が可能 　・酸、アルカリ、有機ガス除去フィルタを積層させて、わずかなスペースで各種有害ガスを 　　一度にキャッチできます

• ガス回収/処理装置

◆製品特長◆ ・クリーンルームと磁気シールド工事の一貫施工により、 　高性能な磁気シールドクリーンルームを　提供 ・空調システムのユニット化及び磁気シールドパネルの組立方式により、 　工事期間を従来の１／２に短縮 ・クリーンルームの再熱制御システムの開発により、精密な温度制御を実現すると共に 　空調ランニングコストを低減します ◆空調、磁気シールド、ケミカルフィルターと複数の要素を全て自社製品で施工できる為、 　納期・コスト面でお客様に満足を提供できます◆

• その他環境機器

◆製品特徴◆ ・保管庫、局所クリーン、クリーンブース、クリーンベンチ、クリーンルームまで 　用途に合わせた空調システムを提供 ・エアー循環式、エアーワンパス式、省エネ式等用途に合わせて設計 ・ケミカルフィルターの搭載も可能 ・省エネ対応 ≪製品例≫ ・サーマルクリーンブース 　クリーンブース内の作業者に快適な環境を整える 　循環方式の場合クリーンブース内の湿度を下げない方式を採用可能 ・低温度サーマルチャンバー 　湿気に影響される製品の保管、低温度下での作業が要求される設備に低湿度エアーを供給 ・スポットサーマルチャンバー 　装置内の制御精度を要求される個所に、湿度コントロールされたクリーンエアーを供給 ・サーマルクリーンチャンバー 　温度変化による伸縮の影響を受けるｎμの位置精度を必要とする設備、 　レーザーを使用する微細測定機器などの設備を収納し、設置場所の環境変動による影響を 　受けないようエアーを循環させ温度コントロールします

• 食品貯蔵保管装置・設備

〜シリコンウエーハ表面の自然酸化膜を抑制する窒素置換型ストッカー〜 ◆製品特長◆ ・少量の窒素で確実な窒素置換が可能 ・省エネ対応 ・窒素置換スピードが従来品と比べて速い ・酸素濃度分布の均一化（各室±１０％以内のバラツキ） ・ノンシール工法による有機ガス汚染防止 ・各室独特のパーシャル収納で大気との遮断をはかる

• 食品貯蔵保管装置・設備

◆製品特長◆ 〜多目的（クリーンルーム用・装置用）ならびに超廉価のクリーンユニット〜 ・軽量で取扱い簡単 ・従来のＵＬＰＡフィルタにプレフィルタ及びファンを内蔵し、入力のみで簡易に 　クリーンエアーが得られる

• ガス回収/処理装置
• ファンフィルタユニット