クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。 アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。 ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。 完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただけます。 サイズも厚みと幅で4種類御用意しております。御用途に合わせてお選びください。

• スパッタリング装置
• アルミニウム
• その他半導体製造装置

【特長】 ○6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能 ○6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単 ○シンプル・コンパクトはデザイン ○2台分の真空計の入力が可能 ○インターフェイス：USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択可能 ○シャッター →自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bit →アナログ出力が標準装備 ○標準6MHzの水晶振動子に対応し ○Webで使用可能なユニット ○周波数のレンジ：2-6MHz →周波数の制度は0.1Hz ○Rapid SE software と LabVIEW libraries に対応 ○膜圧：0-9999000A まで設定が可能 →分解能：0.1A ○成膜時間：0-9999A/sまで設定が可能 →分解能：0.1A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 蒸着装置
• コントローラ

【特長】 ●多くの国々で高い評価を受けている英国　UHV-Design社は、超高真空対応の試料搬送機構 ●15年以上の実績と設計から製作までを自社で行う徹底した品質管理 ●試料搬送機構PPシリーズは豊富なラインナップをご用意 御見積りなど、お気軽にお問い合わせ下さい！ ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 搬送・ハンドリングロボット

【特長】 ●サンプルの搬送から受け渡しまでを1台で可能にした画期的なサンプル搬送機構！ ●微妙なサンプル移動調整が可能となり、搬送中にサンプルの落下が起きにくい！ ●強力な伝達トルクによる作業性、マグネットを外す事なく250℃でベーキング可能な超高真空対応！ ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 搬送・ハンドリングロボット

【特徴】 ◯Ｏリングタイプで高真空領域対応 ◯パイトンＯリングを使用することにより、ベーキングも可能 ◯耐熱温度は150℃ ◯ステンレスボディーのため、シール部分の傷の心配がない ◯手動・圧空タイプをラインナップ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• バルブ
• 管継手
• 真空機器

【特長】 ●クルーシブルー容量が5ccの中間温度用セルとして、広く使用 ●クルーシブの材料は主にPBN、AI203ですが、他の材料のご要望にも対応可能 ●手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作 ◎｢カタログをダウンロード｣から仕様等の詳細がご覧いただけます。 　ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 蒸着装置

【特徴】 ◯フルソフトウェア動作 ◯２段の差動排気 ◯酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスに対しても使用可能 ◯超高真空下でイオン銃の操作が可能 ◯ウィンマスフィルターの装着が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

【特徴】 ◯取付フランジは外径70mmで、容易に装着が可能 ◯真空内のソース長は標準の63mmのほか、要望対応も可能 ◯酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入も可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

米国航空宇宙局（NASA）や多くの企業で永年使用され、信頼性の高いリークシーラントVACSEALを真空の常備薬として、研究所・実験室・工場にいかがでしょうか？ ■特長■ ●主成分はシリコン樹脂です。 ●使用温度範囲は-200℃〜450℃です。 ●ほとんどの固体に対して接着可能です。 ●液体窒素に対して安定しています。 ●高真空・超高真空など真空環境下での使用が可能です。 ●有機溶媒で除去できます。 ●硬化時間は250℃で15分、200℃で30分、室温で5〜6日です。 ●内部容量は3オンス（85g）です。

• 接着剤
• 化学薬品

米国SPI社製『Silver Paste Plus』は、銀粒子の濃度が高く、均質で、粘性のある特徴を持っています。 【特徴】 ●銀の含有率が72％と高く、優れた導電性を示しています。 ●液の蒸発が少なく、長期にわたって安定した使用が出来ます。 ●試料の接着を用意に除去できるSilver Paste Plus専用シンナーが準備されています。

• 接着剤

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• その他計測・記録・測定器

◆MagiDrive回転導入機は、回転を真空システムへ転送することができます。 ◆それらの高い流出電磁継手は、非常に強健な設計(UHV環境と完全に互換性をもつ)に帰着する鳴き声あるいは動的なシールの必要を削除します

• 油圧機器
• 動力伝達機器

薄膜蒸着装置、真空処理装置などで、窓ガラスが汚れてしまい窓ごと交換していませんか？ 真空封止用窓ガラスの前にカバーガラスを設けることで、カバーガラスのみを洗浄、もしくは交換することができます。 カバーガラスはウスイ材料を使用していますので、安価で交換が可能です。

• その他

このクイックCFコンポーネントは、従来ボルトで締め付けていた CFフランジ（コンフラットフランジ）をチェーンクランプのみで 取り付けを可能にした、画期的な製品です。 CF34〜CF152までサイズを取り揃えており、今までご使用の 銅ガスケットが使えます。 【特長】 ●取り付け時間の短縮により、放射線管理区域での作業効率のUP. ●チェーンタイプなので、片締めの心配が無く安全に使用可能（有毒ガスを使用する装置など） ●トルク管理で誰でも正確な作業が可能（大学の研究室の新人さんでも取り付けOK) ●常時在庫を持っているので、即納品が可能 ●超高真空対応 ※詳細はカタログダウンロード、またはお問い合わせ下さい。

• バルブ
• 管継手
• 配管材

表面分析、精密加工などの装置に付いているターボ分子ポンプの振動を10：1と軽減させることのできる『バイブレーション　アイソレーター』を是非、お使いください。 【特長】 ●超高真空対応です。 ●耐熱温度は250℃です。 ●振動を10：1と軽減できます。 ●ＣＦフランジ、ＩＳＯフランジ対応です。 ●コンパクト設計で取付も簡単です。 ●成形ベローズを使用し、有効内径を最大まで広げました。 ※詳細はお問合せ、又はカタログダウンロード下さい。

• 管継手
• 配管材
• 真空機器

外圧を伴う真空配管や、大口径のフランジを接続させるにはチェーンクランプが不可欠です。 VACOM社製チェーンクランプはフランジサイズ、アプリケーションやフランジ材質に応じて選定できます。 【特徴】 ●組み付け／取り外し時の作業が簡単です。また、材質、用途に応じてクランプを選定できます。 ●一定のトルク値により、フランジ同士をしっかりと締め付けます。真空漏れの心配もありません。 ●個々のチェーンボディを重厚にし、真空内の圧力だけでなく、外部からの圧力にも耐えられる構造です。 ●KF16からKF100まで、汎用性の高いサイズを取り揃えました。

• バイス・クランプ