【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です！
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。 また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能 ○6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単 ○シンプル・コンパクトはデザイン ○2台分の真空計の入力が可能 ○インターフェイス：USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択可能 ○シャッター →自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bit →アナログ出力が標準装備 ○標準6MHzの水晶振動子に対応し ○Webで使用可能なユニット ○周波数のレンジ：2-6MHz →周波数の制度は0.1Hz ○Rapid SE software と LabVIEW libraries に対応 ○膜圧：0-9999000A まで設定が可能 →分解能：0.1A ○成膜時間：0-9999A/sまで設定が可能 →分解能：0.1A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○蒸着用成膜コントローラーとして。 詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
テクノポートは海外真空メーカーの日本総代理店として、真空部品及び真空コンポーネント製品を10年以上に渡り多くの国内ユーザ様へご提供してまいりました。 また、これらの販売実績に加えて海外の優れた製品を国内真空メーカにご紹介することにより、業界の発展にも寄与したものと自負しております。 これからも新製品をはじめ、お客様や市場のニーズに応じた製品の開拓や販売に注力し、一層皆様のお役に立てるよう日々努力してまいります。
