ミツル光学研究所の製品・サービス一覧

SiCやGaNなどのパワー半導体開発において、搬送テストや条件出しに使用できるダミーウェハを製作します。 難削材（SiC、サファイア、セラミックス等）の加工実績も豊富。 ▼こんなお悩みありませんか？ 次世代パワー半導体のプロセス開発において、以下のような課題はありませんか？ ・テスト用に**SEMI規格（Vノッチ・オリフラ付）**のダミーウェハが必要だが、小ロットで作れない。 ・高価なSiC基板の代替として、耐熱性のある石英やガラスで同形状のものを作りたい。 ・装置に合わせた特殊な厚みやザグリ加工が必要だが、対応できる業者がいない。 ミツル光学研究所の「試作対応力」と「難削材加工技術」がその課題を解決します。 【特長1】石英からSiC、サファイアまで。「難削材」の加工に対応 【特長2】SEMI規格準拠の形状加工と「特殊加工」の融合 【特長3】「ご要望をカタチにします」。試作1枚から迅速対応

• その他半導体

■こんなお悩みありませんか？ FOWLPやPLPなどの先端プロセス開発において、以下のような課題に直面していませんか？ ・ガラスキャリア（支持基板）のTTV（厚みバラつき）が大きく、露光装置のフォーカス（DOF）が合わない。 ・基板の微細なうねりや反りが原因で、デボンディング（剥離）時にウェハ割れが起きる。 ・サプライヤーの公差が甘く、受入検査でスペックアウトが多発している。 ミツル光学研究所の「超高精度ガラスキャリア」がその課題を解決します。 【特長1】TTV 1μm以下を保証。露光マージンを確保する「超高平坦加工」 【特長2】反りと表面粗さを制御し、剥離プロセスを最適化 【特長3】AFM・干渉計による「全数データ保証体制」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• ガラス

株式会社ミツル光学研究所では、お客様のニーズに合わせた『LCDガラス基板加工』を 行っております。 各ガラスメーカーより仕入れた材料を、ニーズに合わせ切断、面取り、研磨等を施し、 お客様から指定された梱包形態に合わせ、全国各地のご指定場所へ輸送いたします。 面取り加工についてはガラス強度を上げるためRコーナーカット、R面取りの形状にも 対応しております。 【特長】 ■切断のみであれば1500×1500サイズまで対応可能 ■カラーフィルターの切断、成膜済み基板の切断にも対応 ■大型NC機によるガラスの再面取りやリサイズにも対応 ■最終出荷時に出荷ロット数に合わせた抜取検査を実施 ■光学顕微鏡、SEM-EDX等の測定機器あり ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 基板加工機
• その他加工機械

株式会社ミツル光学研究所では、お客様のニーズに合わせた『光学用ガラス加工』を 行っております。 各ガラスメーカーより仕入れた材料を、ご要望に合わせ切断、面取り、研磨等を施し、 お客様から指定された梱包形態に合わせ、全国各地のご指定場所へ輸送いたします。 様々な板厚の製品がある光学分野では、板厚の公差も様々。 ある一定の材料からお客様のニーズに合わせた素材を作るために材料を削りだします。 【特長】 ■超音波洗浄機を使用して洗浄 ■表面粗さや、平行度、平坦度、面精度、板厚等ご要望に応じて研磨加工 ■解析装置付干渉計、光学顕微鏡等を用いて検査 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

株式会社ミツル光学研究所では、「ITO膜面研磨」や「ファイナル研磨」等の ガラス『特殊加工』を行っております。 「ITO膜面研磨」は有機EL用途等、膜表面の粗さを均一化する為、Å単位の研磨をします。 他にも、スマートフォン等に見られる異形加工が可能な「特殊外形加工」や、 大型特殊加工機により短時間でガラス基板を薄くする「大型基板研削」等もございます。 【特長】 ≪ファイナル研磨≫ ■超微細な欠点をも除去 ■外観上無欠点の滑らかな表面に ≪液晶パネル研磨≫　 ■エッチングにおいて発生したキズ等でのNG基板を研磨・再生 ■外周面取りにより切断面から発生するワレ防止等の製品強化 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

ミツル光学研究所ではレジストや粘着材、フィルム、薬液等を評価 試験するテストピースとしてご使用頂ける『テスト用ガラス』を 取り扱っています。 液晶ディスプレイで使用されるものと同じ材質を、ご要望のサイズで 作成することが可能です。 液晶ディスプレイや光学部品の製造で培った加工技術を活かした 高品位ガラスをご用意いたします。 【仕様】 ■ガラスサイズ ・730×920mm～10×10mm ・円形状：φ450mm～φ10mm ■板厚：0.3t・0.4t・0.5t・0.7t・1.1t等 ■外形公差　±0.2mm ■面取形状：C面取り・R面取り ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガラス
• 加工受託

ミツル光学研究所ではTTVが1μmまで対応した『ガラスウエハー』を 取扱っています。 インターポーザー等の構造体や、バック・グラインド加工サポーター、 センサー形成基板の用途に最適。 石英やソーダライムガラス、無アルカリガラス等の硝材各種に対応しています。 【仕様】 ■対応サイズ：2inch, 4inch, 6inch, 8inch, 12inch, 最大φ500 ■ウエハー厚：0.3mm～15mm ■TTV（Total Thickness Variation ） ・ウエハー全体の板厚差：0.5μm以内 ■外周仕上：C面取り・R面取り・鏡面仕上げも可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ガラス
• 加工受託