◆装置ラインナップ 1.VHR-100N 発生量（稼働範囲）：100Nm3/hr（40～100） 製品純度　　　　　：99～99.999％以上、露点-60℃以下 2.VHR-200N 発生量（稼働範囲）：200Nm3/hr（80～200） 製品純度　　　　　：99～99.999％以上、露点-60℃以下 3.VHR-300N 発生量（稼働範囲）：300Nm3/hr（120～300） 製品純度　　　　　：99～99.999％以上、露点-60℃以下 4.VHR-400N 発生量（稼働範囲）：400Nm3/hr（160～400） 製品純度　　　　　：99～99.999％以上、露点-60℃以下 ◆ユーティリティ 天然ガス：13A,LNG　　圧力 0.03MPa～0.99MPa 上水　　：飲料水程度　圧力 0.2MPa以上 電力　　：AC200/400 V（50/60 Hz） 冷却水　：5 ～ 32℃　　圧力 0.2～0.3MPa 計装空気：露点－20℃　圧力 0.5 ～ 0.7 MPa 窒素　　：圧力 0.7MPaG以上

◆超高純度水素ガス規格 ・99.9999％（6N）　　　　　・99.99999％（7N） 純度 ：≧99.9999 vol.％　　純度 ：≧99.99999 vol.％ N2 ：≦0.5 vol.ppm　　　N2 ：≦0.05 vol.ppm O2 ：≦0.1 vol.ppm　　　O2 ：≦0.01 vol.ppm CO ：≦0.1 vol.ppm　　　CO ：≦0.01 vol.ppm CO2 ：≦0.1 vol.ppm　　　CO2 ：≦0.01 vol.ppm CH4 ：≦0.1 vol.ppm　　　CH4 ：≦0.01 vol.ppm H2O 　 ：≦-80 ℃　　　　　 H2O 　 ：≦-80 ℃ 充填圧力：14.7 MPa　　　　　充填圧力：14.7 MPa ※高純度水素ガス（5N：99.999％）も取り扱っております。 ※エア・ウォーター・グループの物流ネットワークを用い、全国配送承ります。

【液化ガスローリーラインナップ】 ガス種　　　　純度 液化酸素　　　99.8％ 液化窒素　　　99.999％ 液化アルゴン　99.999％ ※液化炭酸ガス等も取り扱っておりますので、是非ご問い合わせ下さい。 【ガス発生装置ラインナップ】 名称　　　製造ガス種　　発生量（Nm3/h）　　　純度（％） 1. V1　　　窒素ガス　　　2,400 ～ 30,000　　99.99 ～ 99.9999 2. V1X　　 窒素ガス　　　150 ～ 2,350　　　99.99 ～ 99.9999 3. V2　　　酸素ガス　　　300 ～　　　　　　　90 ～ 99.8 4. V3　　　窒素ガス　　　300 ～　　　　　　99.99 ～ 99.9999 　　　　　 酸素ガス　　　300 ～　　　　　　　90 ～ 99.8 5. VHR　　 水素ガス　　　200 ～ 360　　　　　99 ～ 99.999 6. 高純度一酸化炭素発生装置　別途ご問い合わせ下さい 7. CO2回収装置　　　　　　　別途ご問い合わせ下さい ※PSA式酸素・窒素ガス発生装置についても、製造販売を行っております。