◆マイクロマシン、デバイスの構造は高性能化、高機能化のために、マイクロからナノの領域へ突入してきています。 ◆この微細化に伴い構造物は脆くなり、製造工程における洗浄・乾燥で生じる僅かな外力（毛細管力・表面張力）で構造が変形する問題が発生しています。 ◆変形原因である毛細管力・表面張力は液体と気体のような異相間で発生する力であり、同一相では発生しません。 ◆超臨界洗浄・乾燥装置は、毛細管力・表面張力を発生しないシステムにより、微細構造物を変形させずに洗浄・乾燥を行うことができます。

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